In tiknoolajiyada casriga ah ee dahaarka faakuumka, waxqabadka indhaha ee filimada khafiifka ah waxaa si toos ah ugu xiran halabuurka iyo tayada walxaha bartilmaameedka ah ee loo isticmaalo hababka dhigista. Hadday tahay PVD, magnetron sputtering, ama nidaamyada ALD iyo PECVD ee horumarsan, bartilmaameedku wuxuu u adeegaa sidii isha aasaasiga ah ee walxaha ugu dambeyntii sameeya lakabka shaqada ee substrate-ka. Halabuurka asaasiga ah, daahirnimadiisa, iyo qaab-dhismeedka yar-yar waxay saameyn go'aan leh ku leeyihiin tusmada refractive, isku-dhafka baabi'inta, iyo dhaqanka guud ee muuqaalka filimka la dhigay.
Kala duwanaanshaha halabuurka bartilmaameedka ayaa si toos ah u saameeya stoichiometry iyo cufnaanta filimka khafiifka ah, kaas oo isna go'aamiya joogtada indhaha iyo xasilloonida waxqabadka. Tusaale ahaan, dahaarka dielectric ee loogu talagalay codsiyada ka hortagga milicsiga ama milicsiga sare, xakamaynta saxda ah ee saamiga oksaydhka birta - sida TiO₂, SiO₂, ama Al₂O₃ - waa lama huraan. Xitaa leexashada yar yar ee ku jirta heerka oksijiinta ama saamiga kaashka ee bartilmaameedka waxay horseedi kartaa isbeddelo ku yimaada tusmada milicsiga, nuugista indhaha oo kordha, ama is-waafajinta xariiqda muuqaalka, taas oo wax u dhimaysa hufnaanta qalabka ee nidaamyada indhaha.
Sidoo kale, filimada khafiifka ah ee birta ah, halabuurka bartilmaameedku wuxuu go'aamiyaa cufnaanta elektarooniga xorta ah, dhaqanka dusha sare ee plasmon, iyo milicsiga guud ahaan muuqaalka muuqda iyo kan infrared-ka. Bartilmaameedyada naxaasta, lacagta, ama aluminiumka ee saafiga ah waxay hubiyaan dhigista isku midka ah waxayna yareeyaan xarumaha kala firdhisan ee burburin kara isku-dhafka indhaha. Bartilmaameedyada la dahaadhay ama la dahaadhay waxaa badanaa loo farsameeyay si loo xoojiyo sifooyinka filimka gaarka ah, sida iska caabbinta daxalka, adkaanta farsamada, ama nuugista indhaha ee la hagaajin karo, laakiin waxay u baahan yihiin xakameyn bir ah oo sax ah si looga fogaado soo bandhigida cillado waxyeeleeya waxqabadka indhaha.
Intaa waxaa dheer, astaamaha qaab-dhismeedka yar-yar ee bartilmaameedka - cabbirka hadhuudhka, daloolada, iyo jihada kiristaalka - waxay saameyn karaan qaab-dhismeedka iyo cufnaanta baakadka ee filimka la dhigay. Tusaale ahaan, xoqidda magnetron, qaab-dhismeedka yar-yar ee bartilmaameedka wuxuu saameeyaa wax-soo-saarka tufka, qaybinta xagasha ee noocyada la soo saaray, iyo cadaadiska filimka, kuwaas oo dhammaantood gacan ka geysta isku-midnimada indhaha iyo cimri dhererka.
Si loo gaaro filimaan khafiif ah oo waxqabad sare leh, waa muhiim in la isku daro naqshadda bartilmaameedka iyo xuduudaha habka. Doorashada farsamada dhigista, heerkulka substrate-ka, awoodda xoqidda, iyo deegaanka faakuumka waa in la hagaajiyaa iyadoo lala kaashanayo halabuurka bartilmaameedka si loo xakameeyo stoichiometry-ga filimka, cufnaanta, iyo sameynta cilladaha. Xalalka dahaarka faakuumka ee horumarsan waxay ka faa'iidaystaan nidaamyada kormeerka iyo jawaab celinta goobta si ay si firfircoon ugu hagaajiyaan xaaladaha dhigista, iyagoo hubinaya in sifooyinka indhaha ee filimku ay si dhow ula jaanqaadaan qeexitaannada naqshadeynta.
Marka la soo koobo, walaxda bartilmaameedka ah ma aha oo kaliya isha atomyada ku jira dahaarka faakuumka - waa go'aamiye aasaasi ah oo ku saabsan sifooyinka indhaha ee filimka khafiifka ah. Xakamaynta taxaddar leh ee ku saabsan halabuurka kiimikada, daahirnimada, iyo qaab-dhismeedka yar-yar ayaa lagama maarmaan u ah helitaanka tusmooyinka saxda ah ee refractive, daacadnimada muuqaalka, iyo xasilloonida muddada-dheer ee dahaarka dielectric iyo birta labadaba. Marka tiknoolajiyada dahaarka faakuumka ay u soo baxaan saxnaanta sare iyo qaab-dhismeedka lakabka badan ee adag, doorka walxaha bartilmaameedka ayaa noqda mid aad muhiim u ah, taasoo saldhig u ah waxqabadka qaybaha indhaha ee nidaamyada bandhigga, fotonikyada, dareemayaasha, iyo aaladaha tamarta.
Maqaalkan waxaa daabacaySoo saaraha qalabka dahaarka faakuumkaFaakiyuum Zhenhua
Waqtiga boostada: Maarso-03-2026