Ninu imọ-ẹrọ ohun elo ati imọ-ẹrọ, aaye ti awọn aṣọ ibora tinrin ṣe ipa pataki ninu awọn ile-iṣẹ ti o wa lati ẹrọ itanna si iṣelọpọ ilọsiwaju. Lara awọn imọ-ẹrọ oriṣiriṣi ti o wa, itusilẹ eefin ti ara (PVD) ti farahan bi ọna imotuntun ati lilo daradara fun gbigbe awọn fiimu tinrin sori awọn sobusitireti. Nkan yii yoo lọ sinu agbaye ti sputtering PVD, jiroro lori awọn ohun elo rẹ, awọn anfani ati awọn idagbasoke tuntun. PVD sputtering, tun mo bi magnetron sputtering, jẹ ilana ti o gbajumo ni lilo ninu awọn semikondokito ile ise lati beebe tinrin fiimu lori wafers. O kan lilo pilasima lati yọ awọn ọta kuro ninu ohun elo ibi-afẹde kan, eyiti a fi sii sori sobusitireti kan, ti o di fiimu tinrin.
Ilana naa nfunni ni ọpọlọpọ awọn anfani, gẹgẹbi iṣakoso gangan ti sisanra fiimu, adhesion ti o dara julọ, ati agbara lati fi ọpọlọpọ awọn ohun elo pamọ pẹlu awọn irin, awọn oxides, ati awọn nitrides. Awọn ohun elo ti PVD sputtering jẹ jakejado ati orisirisi. Ninu ile-iṣẹ ẹrọ itanna, o jẹ lilo nigbagbogbo lati fi awọn ohun elo imudani silẹ gẹgẹbi aluminiomu ati bàbà, ṣiṣe iṣelọpọ awọn paati kekere ati awọn iyika iṣọpọ. Ni afikun, sputtering PVD ni lilo pupọ ni ile-iṣẹ ti a bo opiti, gẹgẹbi awọn aṣọ atako-apakan lori awọn lẹnsi ati awọn digi lati jẹki iṣẹ gbigbe ina. Awọn ilọsiwaju aipẹ ni imọ-ẹrọ sputtering PVD n jẹ ki o jẹ olokiki siwaju ati siwaju sii. Idagbasoke pataki kan ni iṣafihan ifasilẹ sputtering, eyiti o le fi awọn fiimu tinrin ti awọn agbo ogun pamọ pẹlu awọn ohun-ini imudara. Nipa iṣafihan awọn gaasi ifaseyin sinu iyẹwu igbale lakoko ifisilẹ, awọn aṣelọpọ le ṣakoso akopọ ati stoichiometry ti awọn fiimu ti a fi silẹ, pese iṣẹ ilọsiwaju ati iṣẹ ṣiṣe.
Ni afikun, awọn imotuntun ibi-afẹde ti faagun awọn agbara ti PVD sputtering. Fun apẹẹrẹ, lilo awọn ibi-afẹde akojọpọ ti o ni awọn ohun elo lọpọlọpọ le ṣafipamọ awọn fiimu tinrin amọja pupọ pẹlu awọn ohun-ini alailẹgbẹ. Eyi ṣii ilẹkun si idagbasoke awọn ohun elo tuntun fun ẹrọ itanna to ti ni ilọsiwaju, ibi ipamọ agbara ati awọn ẹrọ biomedical. Ni akojọpọ, sputtering PVD jẹ ilana ti a bo fiimu tinrin ti o lagbara pẹlu ọpọlọpọ awọn ohun elo ati awọn ilọsiwaju aipẹ. Pẹlu iṣakoso kongẹ lori ifisilẹ fiimu tinrin ati ibaramu pẹlu ọpọlọpọ awọn ohun elo, o ti di pataki ni awọn ile-iṣẹ bii ẹrọ itanna ati awọn opiti. Iwadi ti nlọ lọwọ ati ĭdàsĭlẹ ni aaye ti PVD sputtering ti wa ni o ti ṣe yẹ lati mu awọn agbara rẹ siwaju sii, ṣiṣe awọn ẹda ti awọn ohun elo titun ati titari awọn aala ti ilọsiwaju imọ-ẹrọ.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseZhenhua Vacuum.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-27-2025