I le saienisi o meafaitino ma inisinia, o le matata o ufiufi ata manifinifi e taua tele i alamanuia e amata mai i mea eletise e oo atu i gaosiga fa'aonaponei. I totonu o tekinolosi eseese o lo'o maua, o le physical vapor deposition (PVD) sputtering ua tula'i mai o se metotia fou ma lelei mo le teuina o ata manifinifi i luga o substrates. O lenei tusiga o le a su'esu'eina ai le lalolagi o le PVD sputtering, talanoaina ai ona fa'aoga, fa'amanuiaga ma atina'e lata mai. O le PVD sputtering, e ta'ua fo'i o le magnetron sputtering, o se metotia e fa'aaogaina lautele i le alamanuia semiconductor e teuina ai ata manifinifi i luga o wafers. E aofia ai le fa'aaogaina o le plasma e aveese ai atoms mai se mea fa'amoemoeina, lea e teuina i luga o se substrate, ma fausia ai se ata manifinifi.
E tele fa'amanuiaga o le faiga, e pei o le puleaina sa'o o le mafiafia o le ata tifaga, le pipii lelei, ma le mafai ona teuina le tele o mea e aofia ai metala, oxides, ma nitrides. E lautele ma eseese fa'aoga o le PVD sputtering. I le pisinisi eletise, e masani ona fa'aaogaina e teu ai mea e fa'aeletoronika e pei o le alumini ma le kopa, e mafai ai ona gaosia ni vaega laiti ma ni matagaluega tu'ufa'atasi. E le gata i lea, o le PVD sputtering e fa'aaogaina lautele i le pisinisi ufiufi opitika, e pei o ufiufi e tete'e i le atagia i tioata ma fa'ata e fa'aleleia atili ai le fa'atinoga o le fesiitaiga o le malamalama. O alualu i luma talu ai nei i tekinolosi PVD sputtering ua fa'ateleina ai lona lauiloa. O se atina'e mata'ina o le fa'alauiloaina lea o le reactive sputtering, lea e mafai ona teuina ai ata manifinifi o mea fa'atasi ai ma meatotino fa'aleleia. I le fa'alauiloaina o kasa reactive i totonu o le potu vacuum i le taimi o le teuina, e mafai e le au gaosi oloa ona pulea le tuufaatasiga ma le stoichiometry o ata tifaga ua teuina, ma maua ai le fa'aleleia atili o le fa'atinoga ma le aoga.
E le gata i lea, o mea fou fa'apitoa ua fa'alauteleina ai le gafatia o le PVD sputtering. Mo se fa'ata'ita'iga, o le fa'aaogaina o mea fa'apitoa e aofia ai mea eseese e mafai ona fa'aputu ai ni ata manifinifi fa'apitoa ma ni meatotino tulaga ese. O lenei mea e tatala ai le faitoto'a i le atina'eina o mea fou mo mea fa'aeletoronika fa'aonaponei, teuina o le malosi ma masini fa'afoma'i. I se aotelega, o le PVD sputtering o se metotia malosi o le ufiufiina o ata manifinifi ma le tele o fa'aoga ma alualu i luma talu ai nei. Faatasi ai ma le pulea lelei o le teuina o ata manifinifi ma le fetaui ma mea eseese, ua avea ma mea taua i alamanuia e pei o mea fa'aeletoronika ma mea faitino. O su'esu'ega faifai pea ma mea fou i le matata o le PVD sputtering ua fa'amoemoeina e fa'aleleia atili ai ona gafatia, ma mafai ai ona fatuina ni mea fou ma tuleia tuaoi o le alualu i luma o tekinolosi.
–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumZhenhua Vacuum.
Taimi na lafoina ai: Me-27-2025
