Sayniska agabka iyo injineernimada, qaybta dahaarka filimada khafiifka ah waxay door muhiim ah ka ciyaartaa warshadaha laga bilaabo elektaroonigga ilaa wax soo saarka sare. Tiknoolajiyada kala duwan ee la heli karo, dahaarka uumiga jirka (PVD) ayaa soo baxday hab cusub oo hufan oo lagu shubo filimada khafiifka ah ee substrate-ka. Maqaalkani wuxuu si qoto dheer u eegi doonaa adduunka dahaarka PVD, isagoo ka hadlaya codsiyadiisa, faa'iidooyinkiisa iyo horumarkii ugu dambeeyay. Dahaarka PVD, oo sidoo kale loo yaqaan dahaarka magnetron, waa farsamo si weyn loogu isticmaalo warshadaha semiconductor-ka si loogu shubo filimada khafiifka ah wafers-ka. Waxay ku lug leedahay isticmaalka plasma si looga saaro atamka walxaha bartilmaameedka ah, kaas oo markaa lagu shubo substrate, isagoo samaynaya filim khafiif ah.
Hawshu waxay bixisaa faa'iidooyin badan, sida xakamaynta saxda ah ee dhumucda filimka, isku dhejinta aadka u fiican, iyo awoodda lagu shubo agab kala duwan oo ay ku jiraan biraha, oksaydhyada, iyo nitrides. Codsiyada PVD sputtering waa kuwo ballaaran oo kala duwan. Warshadaha elektaroonigga ah, waxaa badanaa loo isticmaalaa in lagu shubo agabka gudbiya sida aluminium iyo naxaasta, taasoo suurtogalinaysa soo saarista qaybo yaryar iyo wareegyo isku dhafan. Intaa waxaa dheer, sputtering PVD waxaa si weyn loogu isticmaalaa warshadaha dahaarka indhaha, sida dahaarka ka hortagga milicsiga ee muraayadaha iyo muraayadaha si loo xoojiyo waxqabadka gudbinta iftiinka. Horumarka dhawaanahan ee tignoolajiyada sputtering PVD ayaa ka dhigaya mid aad u caan ah. Horumar la taaban karo waa soo bandhigida sputtering reactive, kaas oo dhigi kara filimaan khafiif ah oo iskudhisyo leh sifooyin la xoojiyay. Iyagoo gaasaska reactive-ka ku soo gelinaya qolka faaruqa inta lagu jiro dhigista, soosaarayaashu waxay xakameyn karaan halabuurka iyo stoichiometry ee filimada la dhigay, iyagoo bixinaya waxqabad iyo shaqo wanaagsan.
Intaa waxaa dheer, hal-abuurka bartilmaameedka ayaa ballaariyay awoodaha xoqidda PVD. Tusaale ahaan, isticmaalka bartilmaameedyada isku dhafan oo ka kooban agabyo badan ayaa dhigi kara filimaan khafiif ah oo aad u takhasus leh oo leh astaamo gaar ah. Tani waxay albaabka u fureysaa horumarinta agabyo cusub oo loogu talagalay elektaroonigga horumarsan, kaydinta tamarta iyo aaladaha bayoolajiga. Marka la soo koobo, xoqidda PVD waa farsamo dahaadh filim khafiif ah oo xoog leh oo leh codsiyo badan iyo horumarro dhawaan la sameeyay. Iyada oo si sax ah loo xakameeyo kaydinta filimka khafiifka ah iyo iswaafajinta agabyo kala duwan, waxay noqotay qayb muhiim ah oo ka mid ah warshadaha sida elektaroonigga iyo indhaha. Cilmi-baarista iyo hal-abuurka socda ee ku saabsan xoqidda PVD ayaa la filayaa inay sii xoojiso awooddeeda, taasoo suurtogalinaysa abuurista agab cusub oo riixaysa xuduudaha horumarka tignoolajiyada.
– Maqaalkan waxaa soo saaray ’’Qoraalkan waxaa soo saaray ’’soo saaraha mashiinka dahaadhka faakuumkaFaakiyuum Zhenhua ah.
Waqtiga boostada: Maajo-27-2025