PVD Sputtering: Ọganihu na Teknụzụ Mkpuchi Ihe Nkiri Dị Mfe

N'ihe gbasara sayensị na injinia ihe, ngalaba mkpuchi ihe nkiri dị gịrịgịrị na-arụ ọrụ dị mkpa n'ụlọ ọrụ dị iche iche site na ngwa eletrọnịkị ruo na mmepụta dị elu. N'ime teknụzụ dị iche iche dị, nsị anwụrụ ọkụ anụ ahụ (PVD) apụtala dị ka ụzọ ọhụrụ na nke dị irè maka itinye ihe nkiri dị gịrịgịrị na ihe ndị e ji eme ihe. Isiokwu a ga-enyocha ụwa nke nsị PVD, na-atụle ngwa ya, uru ya na mmepe kachasị ọhụrụ. Ntụpụ PVD, nke a makwaara dị ka magnetron sputtering, bụ usoro a na-ejikarị eme ihe n'ụlọ ọrụ semiconductor iji tinye ihe nkiri dị gịrịgịrị na wafers. Ọ gụnyere iji plasma wepụ atọm site na ihe a na-elekwasị anya, nke a na-etinye na ihe e ji eme ihe, na-emepụta ihe nkiri dị gịrịgịrị.

Usoro a na-enye ọtụtụ uru, dịka njikwa ziri ezi nke ọkpụrụkpụ ihe nkiri, njikọta dị mma, na ikike itinye ọtụtụ ihe dị iche iche gụnyere ọla, oxides, na nitrides. Ngwa nke PVD sputtering dị ọtụtụ ma dị iche iche. N'ụlọ ọrụ eletrọniki, a na-ejikarị ya etinye ihe ndị na-eduzi ihe dị ka aluminom na ọla kọpa, na-eme ka mmepụta nke obere ihe na sekit agbakwunyere. Na mgbakwunye, a na-ejikarị PVD sputtering eme ihe n'ụlọ ọrụ mkpuchi anya, dị ka mkpuchi mgbochi-reflective na lenses na enyo iji melite arụmọrụ nnyefe ìhè. Ọganihu ndị na-adịbeghị anya na teknụzụ sputtering PVD na-eme ka ọ dịkwuo ewu ewu. Mmepe pụtara ìhè bụ mmalite nke sputtering reactive, nke nwere ike itinye ihe nkiri dị gịrịgịrị nke ihe mejupụtara nwere ihe onwunwe emelitere. Site n'itinye gas reactive n'ime ụlọ vacuum n'oge a na-etinye ya, ndị nrụpụta nwere ike ijikwa nhazi na stoichiometry nke ihe nkiri echekwara, na-enye arụmọrụ na ọrụ ka mma.

Ọzọkwa, ihe ọhụrụ ndị a na-eme atụmatụ emeela ka ikike nke PVD sputtering dịkwuo elu. Dịka ọmụmaatụ, iji ihe ndị mejupụtara ihe dị iche iche nwere ọtụtụ ihe nwere ike itinye ihe nkiri dị gịrịgịrị pụrụ iche nwere ihe pụrụ iche. Nke a na-emepe ụzọ maka mmepe nke ihe ọhụrụ maka eletrọnịkị dị elu, nchekwa ike na ngwaọrụ biomedical. Na nchịkọta, PVD sputtering bụ usoro mkpuchi ihe nkiri dị gịrịgịrị dị ike nke nwere ọtụtụ ngwa na ọganihu ndị na-adịbeghị anya. Site na njikwa ziri ezi na ntinye ihe nkiri dị gịrịgịrị na ndakọrịta na ihe dị iche iche, ọ aghọọla ihe dị mkpa na ụlọ ọrụ dịka eletrọnịkị na optics. A na-atụ anya na nnyocha na ihe ọhụrụ na-aga n'ihu n'ọhịa nke PVD sputtering ga-eme ka ikike ya dịkwuo mma, na-eme ka e mepụta ihe ọhụrụ ma na-akwali ókè nke ọganihu teknụzụ.

–E bipụtara akụkọ a site n'aka onyeigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchiZhenhua Vacuum.