RZW300

Thiết bị phủ cuộn thử nghiệm áp dụng công nghệ phủ kết hợp phun magnetron và hồ quang catốt, đáp ứng yêu cầu về độ chặt của màng và tốc độ ion hóa cao. Thiết bị có cấu trúc thẳng đứng và hệ thống quấn phôi được lắp thẳng đứng trong buồng chân không. Thiết kế cửa nhiều buồng, catốt được lắp trên cửa bên, có thể lắp sáu bộ nguồn catốt hoặc nguồn ion và có thể bảo dưỡng hoặc thay thế mục tiêu khi mở cửa. Thiết bị có thể tiến hành xử lý bề mặt phôi và phủ nhiều lớp cùng một lúc để thực hiện lắng đọng màng nhiều lớp. Thích hợp cho nhiều loại vật liệu phủ kim loại hoặc hợp chất.
Thiết bị có đặc điểm là ngoại hình đẹp, kết cấu nhỏ gọn, diện tích sàn nhỏ, mức độ tự động hóa cao, vận hành đơn giản và linh hoạt, hiệu suất ổn định và dễ bảo trì. Nó đặc biệt thích hợp để sử dụng trong phòng thí nghiệm và trường cao đẳng. Khách hàng có thể lựa chọn theo nhu cầu khác nhau của mình.