زامانىۋى ۋاكۇئۇم قاپلاش ئىشلەپچىقىرىشتا، يۇقىرى يۈكلۈك ئىشلىتىش شارائىتى نېپىز پەردە چۆكمىسىنىڭ مۇقىملىقى ۋە مۇقىملىقىغا زور خىرىسلارنى ئېلىپ كېلىدۇ. يۇقىرى ئۆتكۈزۈشچانلىقى، چوڭ ئاساسىي قاتلام چوڭلۇقى ۋە كۆپ قەۋەتلىك مۇرەككەپ قاپلاشلارغا بولغان ئېھتىياج ئاشقانسېرى، ۋاكۇئۇم قاپلاش سىستېمىسى ...PVD، ماگنىترون پۈركۈش,ALD، ياكى PECVD — پىلاستىنكىنىڭ بىردەكلىكى، قايتا ئىشلەشچانلىقى ۋە ئومۇمىي ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىشەنچلىكلىكىگە كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن جەريان پارامېتىرلىرىنى ئېنىق كونترول قىلىشى كېرەك.
يۇقىرى يۈك شارائىتى ۋاكۇئۇم پومپىلىرى، توك بىلەن تەمىنلەش ئۈسكۈنىلىرى ۋە چۆكمە مەنبەلىرىگە زور بېسىم ئېلىپ كېلىدۇ. ئىنتايىن يۇقىرى ۋاكۇئۇم مۇھىتىنى ساقلاش ناھايىتى مۇھىم، چۈنكى ئاساسىي بېسىمدىكى ھەر قانداق ئۆزگىرىش بىۋاسىتە چاچراش سۈرئىتى، پلازما مۇقىملىقى ۋە گاز باسقۇچىنىڭ ئۆز-ئارا تەسىرىگە تەسىر كۆرسىتىپ، ئاخىرىدا پىلاستىنكا زىچلىقى، سىنىش كۆرسەتكۈچى ۋە يېپىشقاقلىققا تەسىر كۆرسىتىدۇ. شۇڭا، تۇربومولېكۇلا ۋە توڭلىتىش پومپىلىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالغان ئىلغار ۋاكۇئۇم پومپا سىستېمىلىرى، چوڭ ئاساسىي سۇبسترات مىقدارى ياكى يۇقىرى ئىشلەپچىقىرىش جەريانى جەريانىدا رېئاكتىپ گازنىڭ كىرىشى سەۋەبىدىن كېلىپ چىققان گاز يۈكىنىڭ ئۆزگىرىشىنى تولۇقلاش ئۈچۈن، ھەقىقىي ۋاقىتلىق نازارەت قىلىش ۋە ئىنكاس كونترول قىلىش بىلەن بىرلەشتۈرۈلگەن.
يۇقىرى يۈكلۈك مەشغۇلات جەريانىدا توك يەتكۈزۈش مۇقىملىقى ئوخشاشلا مۇھىم. ماگنىترونلۇق پۈركۈش ۋە ئېلېكترون نۇرى PVD جەريانلىرى بىردەك پلازما ۋە نىشاننىڭ ئېروزىيە سۈرئىتىنى مۇقىم ساقلاش ئۈچۈن مۇقىم توك زىچلىقىنى تەلەپ قىلىدۇ. توك بېسىمى ياكى توك تەۋرىنىشى تەكشى بولمىغان چۆكمە، ياي شەكىللىنىشى ۋە نىشان زەھەرلىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، پىلاستىنكىنىڭ ئوپتىكىلىق ۋە مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەتلىرىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ. بۇ خەتەرلەرنى پەسەيتىش ئۈچۈن، يۇقىرى يۈكلۈك قاپلاش لىنىيىلىرى ياي بايقاش ۋە باستۇرۇش، ئىمپۇلسلۇق DC ياكى RF مودۇلياتسىيەسى ۋە نىشان ۋە ئاساسىي قاتلام پارامېتىرلىرىنى ھەقىقىي ۋاقىتلىق نازارەت قىلىش قاتارلىق رەقەملىك كونترول قىلىنىدىغان توك بىلەن تەمىنلەش ئۈسكۈنىلىرىنى ئىشلىتىدۇ.
ئىسسىقلىق باشقۇرۇش يەنە بىر مۇھىم ئامىل. چوڭ كۆلەملىك ياكى يۇقىرى زىچلىقتىكى قاپلاش يوللىرى نىشان ۋە ئاساسىي تاختىلاردا زور مىقداردا ئىسسىقلىق ھاسىل قىلىدۇ، بۇ پىلاستىنكا بېسىمى، ئاساسىي تاختىنىڭ بۇرمىلىنىشى ۋە مىكرو قۇرۇلمىلىق كەمتۈكلۈكلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. نىشان، ئاساسىي تاختىنىڭ تۇتقۇچى ۋە كامېرا تاملىرىنى ئاكتىپ سوۋۇتۇش، ئېنىق تېمپېراتۇرا پروفىلى ۋە نازارەت قىلىش بىلەن بىرلەشتۈرۈلۈپ، ئېنېرگىيەنىڭ بىردەك تەقسىملىنىشىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ، قالغان بېسىمنى ئازايتىدۇ ۋە كۆپ يوللاردا قايتا ھاسىل بولىدىغان پىلاستىنكا مىكرو قۇرۇلمىسىنى ساقلايدۇ.
جەرياننى ئاپتوماتلاشتۇرۇش ۋە ئورنىدا دىئاگنوز قويۇش سىستېمىسى مۇقىم ئىشلەشنى ساقلاشتا مۇھىم رول ئوينايدۇ. پلازما خاراكتېرى، چۆكمە سۈرئىتى ۋە قېلىنلىقنىڭ بىردەكلىكىنى ھەقىقىي ۋاقىتلىق نازارەت قىلىش سىستېمىنىڭ يۇقىرى يۈك شارائىتى كەلتۈرۈپ چىقارغان ئۆزگىرىشلەرنى تولۇقلاش ئۈچۈن گاز ئېقىمى، توك مودۇلياتسىيەسى ۋە ئاساسىي قاتلامنىڭ ئايلىنىشى قاتارلىق پارامېتىرلارنى دىنامىك تەڭشەشكە يول قويىدۇ. بۇنداق يېپىق دەۋرىيلىك كونترول ئۇزۇن ئىشلەپچىقىرىش دەۋرىيلىكىدە يىغىلىپ قالغان خاتالىقلارنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ ۋە يۇقىرى سۈپەتلىك، تەكرارلىنىدىغان قاپلاشنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.
ماتېرىيال بىر تەرەپ قىلىشمۇ مۇھىم رول ئوينايدۇ. چوڭ تىپتىكى ئاساسىي قاتلاملار ياكى ئېغىر نىشانلار مانىپۇلياتورلار ۋە توشۇغۇچىلارغا مېخانىكىلىق يۈكنى ئاشۇرىدۇ، بۇنىڭ بىلەن ھەرىكەتنى كۈچلۈك كونترول قىلىش ۋە چۆكمە تەكشى بولماسلىقىنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن ئېنىق تەڭشەش تەلەپ قىلىنىدۇ. ئاپتوماتىك يۈكلەش/چۈشۈرۈش سىستېمىسى ۋە يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى روبوت قوللىرىنى بىرلەشتۈرۈش ئىنسانلارنىڭ ئارىلىشىشىنى ئازايتىدۇ، بۇلغىنىش خەۋپىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ ۋە قاتتىق مەشغۇلات شارائىتىدا جەرياننىڭ مۇقىملىقىنى ساقلايدۇ.
خۇلاسە قىلىپ ئېيتقاندا، يۇقىرى يۈك شارائىتىدا ۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ مۇقىم ئىشلىشىنى ساقلاش ئۈچۈن، ئىلغار ۋاكۇئۇم تېخنىكىسى، ئېنىق توك كونترول قىلىش، ئاكتىپ ئىسسىقلىق باشقۇرۇش، ھەقىقىي ۋاقىتلىق جەريان دىئاگنوزى ۋە ئاپتوماتىك ماتېرىيال بىر تەرەپ قىلىش قاتارلىقلارنى بىرلەشتۈرۈپ، بىر گەۋدىلەشكەن ئۇسۇل قوللىنىش كېرەك. بۇ ئامىللارنى ئەلالاشتۇرۇش ئارقىلىق، قاپلاش سىستېمىلىرى قىيىن ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىدىمۇ بىردەك، يۇقىرى سۈپەتلىك نېپىز پەردىلەرنى ئىشلەپچىقىرىپ، يۇقىرى ئىشلەپچىقىرىش ئىقتىدارىنى قوللايدۇ، شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ئىشەنچلىكلىك، قايتا ئىشلەپچىقىرىش ۋە جەريان ئۈنۈمىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.
-بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرى ئىشلەپچىقارغۇچى جېنخۇا چاڭ-توزان سۈمۈرۈش ماشىنىسى
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2026-يىلى 3-ئاينىڭ 6-كۈنى