Joogteynta Hawlgalka Xasilloon ee Qalabka Dahaarka Faakuumka ee Xaaladaha Culayska Badan

Soo saarista dahaarka faakuumka casriga ah, xaaladaha hawlgalka ee culayska badan leh waxay keenaan caqabado muhiim ah oo ku wajahan xasilloonida iyo joogteynta kaydka filimka khafiifka ah. Marka baahida loo qabo wax-soo-saar sare, cabbirrada substrate-ka waaweyn, iyo dahaarka adag ee lakabka badan leh ay kordhaan, nidaamyada dahaarka faakuumka - ha ahaatoPVD, xoqidda magnetron,ALD, ama PECVD—waa inay ilaaliyaan xakamaynta saxda ah ee xuduudaha habka si loo hubiyo isku mid ahaanshaha filimka, soo saarista, iyo isku halaynta guud ee qalabka.

Xaaladaha culayska badan waxay culeys weyn saaraan bamka faakuumka, sahayda korontada, iyo ilaha kaydinta. Ilaalinta jawi faakuumka aad u sarreeya waa muhiim, maadaama isbeddel kasta oo ku yimaada cadaadiska salka uu si toos ah u saameyn karo heerarka faakuumka, xasilloonida balaasmaha, iyo isdhexgalka wejiga gaaska, ugu dambeyntiina wuxuu saameeyaa cufnaanta filimka, tusmada refractive, iyo dhegdheg. Nidaamyada bamka faakuumka ee horumarsan, oo ay ku jiraan bamka turbomolecular iyo cryogenic, sidaas darteed waxaa lagu dhex daray kormeerka waqtiga-dhabta ah iyo xakamaynta jawaab celinta si loo magdhabo isbeddellada culayska gaaska ee ay keento mugga substrate-ka weyn ama soo bandhigida gaaska falcelinta leh inta lagu jiro hababka wax soo saarka sare leh.

Xasiloonida keenista korontada si isku mid ah ayay muhiim ugu tahay hawlgalka culayska badan. Hababka faafinta magnetron iyo shucaaca elektarooniga PVD waxay u baahan yihiin cufnaan awood oo joogto ah si loo ilaaliyo heerarka nabaad-guurka bartilmaameedka ee siman iyo kuwa deggan. Isbeddellada danabka ama hadda waxay horseedi karaan dhigista aan isku mid ahayn, qaloocinta, iyo sunta bartilmaameedka, taas oo wax u dhimaysa sifooyinka indhaha iyo farsamada ee filimka. Si loo yareeyo khatarahaas, khadadka dahaarka culayska badan waxay adeegsadaan sahay koronto oo si dijitaal ah loo xakameeyey oo leh ogaanshaha qaansada iyo xakamaynta qaansada, isbeddelka DC ama RF ee garaaca wadnaha, iyo la socodka waqtiga-dhabta ah ee xuduudaha bartilmaameedka iyo substrate-ka.

Maareynta kulaylka waa arrin kale oo muhiim ah. Dahaarka baaxadda weyn ama cufnaanta sare leh wuxuu dhaliyaa kulayl muhiim ah labada bartilmaameed iyo substrate-ka, taas oo keeni karta cadaadis filim, qalloocinta substrate-ka, iyo cilladaha qaab-dhismeedka yar yar. Qaboojinta firfircoon ee bartilmaameedyada, hayayaasha substrate-ka, iyo derbiyada qolka, oo ay weheliso qaabaynta heerkulka saxda ah iyo la socodka, waxay hubisaa qaybinta tamarta isku midka ah, waxay yareysaa walbahaarka harsan, waxayna ilaalisaa qaab-dhismeedka yar ee filimka ee dib loo soo saari karo inta lagu jiro marxalado badan.

Nidaamyada ogaanshaha ee otomaatiga ah iyo kuwa goobta ku jira ayaa udub dhexaad u ah joogtaynta hawlgalka xasilloon. La socodka waqtiga-dhabta ah ee astaamaha balaasmaha, heerarka dhigista, iyo isku-midnimada dhumucda waxay u oggolaanaysaa nidaamku inuu si firfircoon u hagaajiyo xuduudaha, oo ay ku jiraan socodka gaaska, isbeddelka awoodda, iyo wareegga substrate-ka, si loo magdhabo kala duwanaanshaha ay keento xaaladaha culayska badan. Xakamaynta noocan oo kale ah ee wareegga xiran waxay ka hortagtaa khaladaadka isugeynta ah ee wareegyada wax soo saarka ee dheer waxayna hubisaa dahaarka tayada sare leh oo la soo celin karo.

Maareynta walxaha sidoo kale waxay door muhiim ah ka ciyaartaa. Dufcadaha waaweyn ee substrate-ka ama bartilmaameedyada culus waxay kordhiyaan culeyska farsamada ee maareeyayaasha iyo gudbiyeyaasha, taasoo u baahan xakamaynta dhaqdhaqaaqa oo adag iyo isku-dubarid sax ah si looga fogaado isku-midnimada dhigista. Isku-darka nidaamyada culeyska/soo-dejinta otomaatiga ah iyo gacmaha robot-ka ee saxsan ayaa yareeya faragelinta aadanaha, waxay yareysaa khatarta wasakhowga, waxayna ilaalisaa isku-dheellitirka habka xaaladaha hawlgalka ee adag.

Gunaanadkii, ilaalinta hawlgalka xasilloon ee qalabka dahaarka faakuumka ee xaaladaha culayska badan leh waxay u baahan tahay hab isku dhafan, oo isku daraya tignoolajiyada faakuumka ee horumarsan, xakamaynta awoodda saxda ah, maaraynta kulaylka firfircoon, ogaanshaha habka waqtiga-dhabta ah, iyo maaraynta walxaha otomaatiga ah. Iyadoo la hagaajinayo arrimahan, nidaamyada dahaarka waxay keeni karaan filimaan khafiif ah oo tayo sare leh oo isku mid ah xitaa jawiyada wax soo saarka ee adag, iyagoo taageeraya wax soo saarka wax soo saarka sare leh iyadoo la hubinayo isku halaynta, dib-u-soo-saarka, iyo hufnaanta habka.

-Maqaalkan waxaa daabacaySoo saaraha qalabka dahaarka faakuumka Faakiyuum Zhenhua