Hauv kev tsim cov txheej txheem nqus tsev niaj hnub no, cov xwm txheej ua haujlwm siab ua rau muaj kev cov nyom loj rau kev ruaj khov thiab kev sib xws ntawm cov zaj duab xis nyias. Raws li qhov xav tau rau kev xa khoom siab, qhov loj ntawm cov khoom siv loj, thiab ntau txheej txheej txheej ntau ntxiv, cov txheej txheem nqus tsev - txawm tiasPVD, magnetron sputtering,ALD, lossis PECVD—yuav tsum tswj hwm qhov tseeb ntawm cov txheej txheem kom ntseeg tau tias cov yeeb yaj kiab sib xws, rov ua dua tshiab, thiab kev ntseeg tau ntawm cov khoom siv.
Cov xwm txheej siab ua rau muaj kev ntxhov siab ntau rau cov twj tso kua mis, cov khoom siv fais fab, thiab cov chaw tso dej. Kev tswj hwm qhov chaw nqus tsev siab heev yog qhov tseem ceeb, vim tias txhua qhov kev hloov pauv ntawm lub hauv paus siab tuaj yeem cuam tshuam ncaj qha rau cov nqi sputter, plasma stability, thiab cov roj-theem sib cuam tshuam, thaum kawg cuam tshuam rau cov zaj duab xis ntom ntom, refractive index, thiab adhesion. Yog li ntawd, cov tshuab nqus tsev siab heev, suav nrog cov twj turbomolecular thiab cryogenic, yog li ntawd tau koom ua ke nrog kev saib xyuas tiag tiag thiab kev tswj hwm rov qab los them rau cov kev hloov pauv ntawm cov roj uas tshwm sim los ntawm cov ntim loj ntawm cov khoom siv lossis cov roj reactive thaum lub sijhawm ua haujlwm siab.
Kev ruaj khov ntawm kev xa hluav taws xob kuj tseem ceeb heev nyob rau hauv kev ua haujlwm siab. Cov txheej txheem Magnetron sputtering thiab electron beam PVD xav tau qhov ceev ntawm lub zog kom ruaj khov kom tswj tau cov plasma sib xws thiab cov nqi tawg ntawm lub hom phiaj ruaj khov. Kev hloov pauv ntawm lub zog hluav taws xob lossis tam sim no tuaj yeem ua rau muaj kev tso tawm tsis sib xws, arcing, thiab lom lub hom phiaj, uas ua rau cov khoom siv kho qhov muag thiab kho tshuab puas tsuaj. Txhawm rau txo cov kev pheej hmoo no, cov kab txheej txheej siab siv cov khoom siv hluav taws xob tswj hwm digital nrog kev kuaj pom thiab kev tshem tawm arc, pulsed DC lossis RF modulation, thiab kev saib xyuas lub sijhawm tiag tiag ntawm cov yam ntxwv ntawm lub hom phiaj thiab cov khoom siv substrate.
Kev tswj cua sov yog lwm yam tseem ceeb heev. Kev khiav txheej loj lossis siab ua rau muaj cua sov ntau rau ob qho tib si lub hom phiaj thiab cov substrates, uas tuaj yeem ua rau muaj kev ntxhov siab ntawm zaj duab xis, kev sib txhuam ntawm cov substrate, thiab cov teeb meem me me. Kev txias ntawm cov hom phiaj, cov tuav substrate, thiab cov phab ntsa chamber, ua ke nrog kev ntsuas kub thiab kev saib xyuas, ua kom muaj kev faib hluav taws xob sib npaug, txo cov kev ntxhov siab seem, thiab tswj cov zaj duab xis microstructure uas rov ua dua tau ntau zaus.
Kev siv tshuab ua haujlwm thiab cov txheej txheem kuaj mob hauv qhov chaw yog qhov tseem ceeb rau kev ua haujlwm ruaj khov. Kev saib xyuas lub sijhawm tiag tiag ntawm cov yam ntxwv ntawm cov ntshav, cov nqi tso tawm, thiab qhov tuab sib xws tso cai rau lub kaw lus hloov kho cov kev teeb tsa, suav nrog cov pa roj ntws, kev hloov pauv hluav taws xob, thiab kev tig ntawm cov khoom siv, los them rau cov kev hloov pauv uas tshwm sim los ntawm cov xwm txheej siab. Kev tswj hwm lub voj voog kaw no tiv thaiv cov kev ua yuam kev ntau dhau ntawm cov voj voog tsim khoom ntev thiab ua kom muaj cov txheej txheem zoo, rov ua dua.
Kev tuav cov khoom siv kuj tseem ceeb heev. Cov khoom loj lossis cov hom phiaj hnyav ua rau lub nra hnyav ntawm cov manipulators thiab conveyors nce ntxiv, ua rau muaj kev tswj hwm kev txav mus los zoo thiab kev sib dhos kom raug kom tsis txhob muaj kev sib npaug. Kev sib xyaw ua ke ntawm cov tshuab thauj khoom / tshem tawm tsis siv neeg thiab cov caj npab robotic siab ua rau txo cov kev cuam tshuam ntawm tib neeg, txo qis kev pheej hmoo ntawm kev ua qias tuaj, thiab tswj cov txheej txheem sib xws hauv qab cov xwm txheej ua haujlwm nyuaj.
Xaus lus, kev tswj hwm kev ua haujlwm ruaj khov ntawm cov khoom siv nqus tsev nyob rau hauv cov xwm txheej siab xav tau kev sib koom ua ke, kev sib txuas ua ke ntawm cov thev naus laus zis nqus tsev siab heev, kev tswj hwm lub zog meej, kev tswj hwm thermal nquag, kev kuaj mob tiag tiag, thiab kev tswj hwm cov khoom siv tsis siv neeg. Los ntawm kev ua kom zoo dua cov yam no, cov txheej txheem txheej txheem tuaj yeem xa cov yeeb yaj kiab nyias nyias zoo ib yam, txawm tias nyob rau hauv qhov chaw tsim khoom nyuaj, txhawb nqa kev tsim khoom siab thaum ua kom ntseeg tau tias muaj kev ntseeg siab, rov ua dua tshiab, thiab ua haujlwm tau zoo.
- Tsab xov xwm no tau luam tawm los ntawmChaw tsim khoom siv nqus tsev txheej Zhenhua Nqus Tsev
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Peb Hlis-06-2026