Орчин үеийн вакуум бүрхүүлийн үйлдвэрлэлд өндөр ачаалалтай ашиглалтын нөхцөл нь нимгэн хальсан тунадасны тогтвортой байдал, тууштай байдалд ихээхэн бэрхшээл учруулдаг. Өндөр хүчин чадал, том хэмжээтэй суурь, олон давхаргат нарийн төвөгтэй бүрхүүлийн шаардлага нэмэгдэхийн хэрээр вакуум бүрхүүлийн системүүд...PVD, магнетрон цацалт,ALD буюу PECVD нь хальсны жигд байдал, давтагдах чадвар болон тоног төхөөрөмжийн нийт найдвартай байдлыг хангахын тулд процессын параметрүүдийг нарийн хянаж байх ёстой.
Өндөр ачааллын нөхцөл байдал нь вакуум насос, цахилгаан хангамж, тунадасны эх үүсвэрт ихээхэн ачаалал өгдөг. Хэт өндөр вакуум орчныг хадгалах нь чухал бөгөөд учир нь суурь даралтын аливаа өөрчлөлт нь цацалтын хурд, плазмын тогтвортой байдал, хийн фазын харилцан үйлчлэлд шууд нөлөөлж, эцэст нь хальсны нягтрал, хугарлын индекс, наалдацад нөлөөлдөг. Тиймээс турбомолекул болон криоген насос зэрэг дэвшилтэт вакуум шахах системүүд нь өндөр хүчин чадалтай процессын үед их хэмжээний субстратын хэмжээ эсвэл реактив хийн нэвтрэлтээс үүдэлтэй хийн ачааллын хэлбэлзлийг нөхөхийн тулд бодит цагийн хяналт, санал хүсэлтийн хяналттай нэгтгэгдсэн байдаг.
Өндөр ачаалалтай ажиллагааны үед цахилгаан дамжуулах тогтвортой байдал нь мөн адил чухал юм. Соронзон цацалт болон электрон цацрагийн PVD процессууд нь жигд плазм болон тогтвортой байны элэгдлийн хурдыг хадгалахын тулд тогтмол чадлын нягтрал шаарддаг. Хүчдэл эсвэл гүйдлийн хэлбэлзэл нь жигд бус тунадасжилт, нуман хэлбэр, байны хордлогод хүргэж болзошгүй бөгөөд энэ нь хальсны оптик болон механик шинж чанарыг алдагдуулдаг. Эдгээр эрсдлийг бууруулахын тулд өндөр ачаалалтай бүрхүүлийн шугамууд нь нуман илрүүлэх, дарах, импульсийн DC эсвэл RF модуляци, бай болон суурь параметрүүдийг бодит цагийн хяналттай дижитал хяналттай цахилгаан хангамжийг ашигладаг.
Дулааны менежмент нь бас нэг чухал хүчин зүйл юм. Том хэмжээний эсвэл өндөр нягтралтай бүрхүүлийн гүйлт нь бай болон суурь дээр хоёуланд нь ихээхэн хэмжээний дулаан үүсгэдэг бөгөөд энэ нь хальсны стресс, суурь гажуудал, бичил бүтцийн согогийг үүсгэж болзошгүй юм. Бай, суурь баригч болон камерын ханыг идэвхтэй хөргөх нь температурын нарийн профайл болон хяналттай хослуулан энергийн жигд тархалтыг хангаж, үлдэгдэл стрессийг бууруулж, олон гүйлтийн туршид хальсны бичил бүтцийг хадгалдаг.
Үйл явцын автоматжуулалт болон байрандаа оношилгооны системүүд нь тогтвортой ажиллагааг хангах гол түлхүүр юм. Плазмын шинж чанар, тунадасны хурд, зузааны жигд байдлыг бодит цагийн хяналтаар хянах нь системд өндөр ачааллын нөхцлөөс үүдэлтэй хэлбэлзлийг нөхөхийн тулд хийн урсгал, эрчим хүчний модуляци, субстратын эргэлт зэрэг параметрүүдийг динамикаар тохируулах боломжийг олгодог. Ийм хаалттай гогцооны хяналт нь урт үйлдвэрлэлийн мөчлөгийн үед хуримтлагдсан алдаа гарахаас сэргийлж, өндөр чанартай, давтагдах боломжтой бүрхүүлийг баталгаажуулдаг.
Материалын боловсруулалт нь мөн чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Том хэмжээний субстрат эсвэл хүнд бай нь манипулятор болон конвейер дээрх механик ачааллыг нэмэгдүүлдэг тул тунадасны жигд бус байдлаас зайлсхийхийн тулд хөдөлгөөнийг найдвартай хянах, нарийн тохируулга хийх шаардлагатай болдог. Автоматжуулсан ачаалах/буулгах систем болон өндөр нарийвчлалтай робот гарыг нэгтгэх нь хүний оролцоог бууруулж, бохирдлын эрсдэлийг бууруулж, хүнд нөхцөлд үйл явцын тогтвортой байдлыг хадгалдаг.
Дүгнэж хэлэхэд, өндөр ачааллын нөхцөлд вакуум бүрхүүлийн тоног төхөөрөмжийн тогтвортой ажиллагааг хангахын тулд дэвшилтэт вакуум технологи, нарийн эрчим хүчний хяналт, идэвхтэй дулааны удирдлага, бодит цагийн процессын оношлогоо, автоматжуулсан материалын боловсруулалтыг хослуулсан нэгдсэн арга барил шаардлагатай. Эдгээр хүчин зүйлсийг оновчтой болгосноор бүрхүүлийн систем нь хүнд хэцүү үйлдвэрлэлийн орчинд ч гэсэн жигд, өндөр чанартай нимгэн хальс гаргаж, найдвартай байдал, давтагдах чадвар, процессын үр ашгийг хангахын зэрэгцээ өндөр хүчин чадалтай үйлдвэрлэлийг дэмжиж чадна.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгч Жэнхуа тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 3-р сарын 6