İçi boş katot ark ışığının tutuşması için aşağıdaki koşulların sağlanması gerekir:
- Kaplama odası duvarına tantal tüpten yapılmış içi boş katot tabancası yerleştirilir ve sıcak elektron akışı yaymak için kullanılabilir. Düz tüpün iç çapı φ 6~ φ 15mm'dir ve duvar kalınlığı 0,8-2mm'dir.
- Güç kaynağı, paralel bir ark başlatma güç kaynağı ve bir ark sürdürme güç kaynağından oluşur. Ark ateşleme güç kaynağının voltajı 800-1000V ve ark ateşleme akımı 30-50A'dır; Ark voltajı 40-70V ve ark akımı 80-300A'dır.
İçi boş katot ark deşarj işlemi, "volt amper karakteristik eğrisi"nde anormal kızdırma deşarjından ark deşarjına dönüştürme sürecini takip eder. İlk olarak, tantal tüpte kızdırma deşarjı oluşturmak için 800 V'luk bir başlangıç voltajı sağlamak için bir güç kaynağı gerekir. Tantal tüp içindeki yüksek yoğunluklu argon iyonları, tüpü sıcak elektronların yayıldığı sıcaklığa kadar bombalar ve ısıtır, bunun sonucunda büyük miktarda plazma elektron akışı ve içi boş katot ark akımında ani bir artış olur. Ardından, ark deşarjını sürdürmek için yüksek akımlı bir güç kaynağına da ihtiyaç vardır. Kızdırma deşarjından ark deşarjına dönüştürme işlemi otomatiktir, bu nedenle hem yüksek voltaj hem de yüksek akım çıkışı sağlayabilen bir güç kaynağı yapılandırmak gerekir.
Bu iki gereksinim tek bir güç kaynağına yoğunlaşırsa, güç transformatörünün sekonder çıkış ucu, yüksek voltaj ve yüksek akım çıkışı sağlamak için çok sayıda tur boyunca çok kalın tellerle sarılmalıdır; bu da büyük hacimli bir güç kaynağı olacaktır. Yıllar süren geliştirmelerden sonra, küçük bir ark başlatma güç kaynağını bir bakım ark güç kaynağıyla paralel hale getirmek mümkündür. Ark başlatma güç kaynağı, tantal tüpleri tutuşturmak ve kızdırma deşarjı oluşturmak için 800 V'luk yüksek bir voltaj çıkışı sağlayabilen çok sayıda tur sarmak için ince teller kullanır; Ark güç kaynağı, içi boş katot ark deşarjının kararlılığını korumak için daha az turlu kalın bir teli sararak onlarca volt ve yüzlerce amper akım çıkışı sağlayabilir. Tantal tüpler üzerindeki iki güç kaynağının paralel bağlanması nedeniyle, anormal kızdırma deşarjından ark deşarjına dönüştürme işlemi sırasında, iki güç kaynağı otomatik olarak bağlanacak ve yüksek voltaj ve düşük akımdan düşük voltaj ve yüksek akıma geçecektir.
- Vakum seviyesini hızla ayarlayın. Tantal tüplerdeki kızdırma deşarjı için vakum seviyesi yaklaşık 100Pa'dır ve bu kadar düşük vakum koşulları altında biriktirilen film yapısı kaçınılmaz olarak kaba olur. Bu nedenle, ark deşarjını ateşledikten sonra, hava akış miktarını hemen azaltmak ve ince bir ilk film yapısı elde etmek için vakum seviyesini hızla 8×10-1~2Pa'ya ayarlamak gerekir.
- İş parçası döner tablası, iş parçası önyargı güç kaynağının negatif kutbuna ve vakum odası pozitif kutbuna bağlı olacak şekilde kaplama odasının etrafına monte edilir. İçi boş katot arkının yüksek akım yoğunluğu nedeniyle, iyon kaplamalı iş parçasının önyargı voltajının 1000 V'a, genellikle 50-200 V'a ulaşması gerekmez.
5. Gan çöküşü etrafına bir odaklama elektromanyetik bobini yerleştirin ve bobine akım uygulanarak oluşturulan elektromanyetik alan, elektron ışınını metal külçenin merkezine odaklayarak elektron akışının güç yoğunluğunu artırabilir.
Gönderi zamanı: 20-Tem-2023