Ang mga sumusunod na kondisyon ay kinakailangan upang mag-apoy sa hollow cathode arc light:
- Ang isang guwang na baril na cathode na gawa sa tantalum tube ay naka-install sa pader ng coating chamber at maaaring gamitin upang maglabas ng mainit na daloy ng elektron. Ang panloob na diameter ng flat tube ay φ 6~ φ 15mm, na may kapal ng pader na 0.8-2mm.
- Ang power supply ay binubuo ng isang arc starting power supply at isang arc na nagpapanatili ng power supply sa parallel. Ang boltahe ng arc striking power supply ay 800-1000V, at ang arc striking current ay 30-50A; Ang boltahe ng arko ay 40-70V, at ang kasalukuyang arc ay 80-300A.
Ang proseso ng paglabas ng hollow cathode arc ay sumusunod sa proseso ng pag-convert mula sa abnormal na glow discharge sa arc discharge sa "volt ampere characteristic curve". Una, ang isang power supply ay kinakailangan upang magbigay ng isang 800V panimulang boltahe upang makabuo ng glow discharge sa tantalum tube. Ang mga high-density na argon ions sa loob ng tantalum tube ay nagbobomba at nagpapainit sa tubo sa temperatura kung saan ang mga mainit na electron ay ibinubuga, na nagreresulta sa isang malaking halaga ng plasma electron flow at isang biglaang pagtaas sa kasalukuyang ng hollow cathode arc. Pagkatapos, kailangan din ng mataas na kasalukuyang power supply para mapanatili ang arc discharge. Ang proseso ng pag-convert mula sa glow discharge sa arc discharge ay awtomatiko, kaya kinakailangan na i-configure ang isang power supply na maaaring mag-output ng parehong mataas na boltahe at mataas na kasalukuyang.
Kung ang dalawang kinakailangang ito ay puro sa isang pinagmumulan ng kuryente, ang pangalawang output na dulo ng power transformer ay dapat na sugatan ng napakakapal na mga wire para sa maraming pagliko upang makapag-output ng mataas na boltahe at mataas na kasalukuyang, na magiging isang malaking volume na pinagmumulan ng kuryente. Pagkatapos ng mga taon ng pagpapabuti, posibleng i-parallelize ang isang maliit na arc na nagsisimula sa power supply sa isang maintenance arc power supply. Gumagamit ang arc starting power supply ng manipis na mga wire upang i-wind ang maraming liko, na maaaring mag-output ng mataas na boltahe na 800V upang mag-apoy ng tantalum tubes at makabuo ng glow discharge; Ang arc power supply ay maaaring mag-output ng sampu-sampung volts at daan-daang amperes ng kasalukuyang sa pamamagitan ng paikot-ikot na isang makapal na wire na may mas kaunting mga pagliko upang mapanatili ang katatagan ng hollow cathode arc discharge. Dahil sa magkatulad na koneksyon ng dalawang power supply sa tantalum tubes, sa panahon ng proseso ng pag-convert mula sa abnormal na glow discharge sa arc discharge, ang dalawang power supply ay awtomatikong magkokonekta at lilipat mula sa mataas na boltahe at mababang kasalukuyang sa mababang boltahe at mataas na kasalukuyang.
- Mabilis na ayusin ang antas ng vacuum. Ang antas ng vacuum para sa paglabas ng glow sa mga tantalum tube ay humigit-kumulang 100Pa, at ang idinepositong istraktura ng pelikula sa ilalim ng mababang kondisyon ng vacuum ay hindi maaaring hindi magaspang. Samakatuwid, pagkatapos ng pag-aapoy ng arc discharge, kinakailangan na agad na bawasan ang dami ng daloy ng hangin at mabilis na ayusin ang antas ng vacuum sa 8×10-1~2Pa upang makakuha ng magandang paunang istraktura ng pelikula.
- Ang workpiece turntable ay naka-install sa paligid ng coating chamber, kung saan ang workpiece ay konektado sa negatibong poste ng bias power supply at ang vacuum chamber ay konektado sa positive pole. Dahil sa mataas na kasalukuyang density ng hollow cathode arc, ang bias na boltahe ng ion coated workpiece ay hindi kailangang umabot sa 1000V, karaniwan ay 50-200V.
5. Magtakda ng nakatutok na electromagnetic coil sa paligid ng Gan collapse, at ang electromagnetic field na nabuo sa pamamagitan ng paglalapat ng current sa coil ay maaaring ituon ang electron beam sa gitna ng metal ingot, na nagpapataas ng power density ng electron flow.
Oras ng post: Hul-20-2023