Inçe film çökdürmek tehnologiýasy pudagynda silindr magnitron tüýdükleri täsirli we köp taraply usula öwrüldi. Bu innowasiýa tehnologiýasy gözlegçilere we pudak hünärmenlerine inçe filmleri ajaýyp takyklyk we birmeňzeşlik bilen goýmagyň ýoluny hödürleýär. Silindr görnüşli magnitronyň dökülmegi dürli pudaklarda giňden ulanylýar we inçe film çökdürmek prosesine öwrülişik edýär.
Silindr magnitron tüýdügi, silindr magnitron tüýdük örtügi diýlip hem atlandyrylýar, silindr magnitron katodlaryny ulanýan fiziki bug çökdürmek tehnologiýasydyr. Işleýiş ýörelgesi, ionlaryň maksatly materiala tarap tizlenýän we atomlaryny kowýan plazmany döretmegi öz içine alýar. Soňra bu atomlar inçe film döretmek üçin substrata goýulýar.
Silindr görnüşli magnitronyň dökülmeginiň esasy artykmaçlyklaryndan biri, filmiň ajaýyp hilini saklamak bilen ýokary depozit derejesine ýetmek ukybydyr. Köplenç ýokary depozit derejesinde filmiň hiliniň peselmegine sebäp bolýan adaty tüýkürmek usullaryndan tapawutlylykda, silindr görnüşli magnitron tüýdük, depozit prosesinde filmiň bitewiligini we düzümini saklamagy üpjün edýär.
Mundan başga-da, magnitron katodyň silindr dizaýny has birmeňzeş plazma we magnit meýdany paýlamaga mümkinçilik berýär we şeýlelik bilen filmiň birmeňzeşligini ýokarlandyrýar. Bu birmeňzeşlik, tutuş substratyň üstünde yzygiderli film aýratynlyklaryny talap edýän programmalar üçin möhümdir. Optika, elektronika we gün energiýasy ýaly pudaklar silindr magnitronyň dökülmeginiň ösen mümkinçiliklerinden ep-esli peýda gördüler.
Silindr magnitron tüýdüginiň ulanylmagy adaty programmalardan has giňdir. Gözlegçiler we inersenerler bu tehnologiýany nanotehnologiýa we biomedisina ýaly öňdebaryjy ugurlarda ulanmagyň täze usullaryny yzygiderli gözleýärler. Gaz düzümi, basyş we güýç ýaly çöketlik parametrlerine takyk gözegçilik etmek ukyby, belli bir programmalar üçin amatly aýratynlyklary bolan ýöriteleşdirilen filmleri döretmäge mümkinçilik berýär.
Reaktiw gazlaryň ornaşdyrylmagy silindr magnitronyň tüýkürmek mümkinçiliklerini hasam giňeldýär. Azot ýa-da kislorod ýaly reaktiw gazlary girizmek bilen, kompozitler goýulyp bilner ýa-da özboluşly aýratynlyklary bolan inçe film kompozitleri öndürilip bilner. Bu, könelişen garşylygy ýokarlandyrmak, gatylygy ýokarlandyrmak ýa-da ýokary poslama garşylyk ýaly ösen funksiýaly ösen materiallary öwrenmek üçin täze ýollary açýar.
Mundan başga-da, silindr görnüşli magnitronyň dökülmegi prosesi aňsatlyk bilen ulaldylyp, uly göwrümli önümçilik üçin amatly bolar. Bu göwrümlilik, netijeliligi we köp taraplylygy bilen utgaşyp, önümçilik döwründe inçe filmleriň goýulmagyny talap edýän pudaklarda bu tehnologiýanyň ornaşmagyna sebäp boldy.
Islendik ösen tehnologiýada bolşy ýaly, dowam etdirilýän gözlegler we ösüş tagallalary silindr magnitronyň tüýkürmek mümkinçiliklerini ýokarlandyrmagy dowam etdirýär. Gözlegçiler tehnologiýanyň çökdüriliş netijeliligini we umumy öndürijiligini hasam gowulandyrmak üçin prosesiň parametrlerini takyklamak, maksatly materiallary optimizirlemek we alternatiw katod dizaýnlaryny öwrenmek üçin işleýärler.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: 26-2023-nji oktýabr