N'ihe gbasara teknụzụ nchekwa ihe nkiri dị gịrịgịrị, ịkụnye ihe nkiri magnetron cylindrical aghọwo ụzọ dị irè ma dị iche iche. Teknụzụ ọhụrụ a na-enye ndị nchọpụta na ndị ọkachamara n'ihe gbasara ụlọ ọrụ ụzọ isi tinye ihe nkiri dị gịrịgịrị n'ụzọ dị mma na nke dị n'otu. A na-ejikarị ịkụnye ihe nkiri magnetron cylindrical eme ihe n'ọtụtụ ụlọ ọrụ dị iche iche ma na-agbanwe usoro itinye ihe nkiri dị gịrịgịrị.
Ịdọpụ magnetron site na cylindrical, nke a makwaara dị ka mkpuchi magnetron site na cylindrical, bụ teknụzụ itinye anwụrụ ọkụ nke na-eji katodes magnetron site na cylindrical. Ụkpụrụ ọrụ ya gụnyere ịmepụta plasma ebe a na-eme ka ion ndị a na-agba ọsọ gaa na ihe a na-achọ ma na-achụpụ atọm ya. A na-etinye atọm ndị a n'elu ihe e ji ekpuchi ihe iji mepụta ihe nkiri dị gịrịgịrị.
Otu n'ime uru dị na cylindrical magnetron sputtering bụ ikike inweta oke ọnụego nchekwa ebe ọ na-anọgide na-enwe ezigbo mma nke fim. N'adịghị ka usoro sputtering ọdịnala, nke na-ebutekarị mbelata mma nke fim na ọnụego nchekwa dị elu, cylindrical magnetron sputtering na-eme ka a hụ na a na-edobe iguzosi ike n'ezi ihe na nhazi fim ahụ n'oge usoro nchekwa.
Tinyere nke ahụ, nhazi silinda nke magnetron cathode na-enye ohere maka nkesa plasma na magnetik karịa, si otú a na-eme ka otu ihe nkiri ahụ dịkwuo mma. Nha nhata a dị oke mkpa maka ngwa ndị chọrọ ihe nkiri na-agbanwe agbanwe n'elu elu substrate niile. Ụlọ ọrụ dịka optics, eletrọnịkị na ike anyanwụ eritela uru nke ukwuu site na ikike dị elu nke cylindrical magnetron sputtering.
Ojiji nke magnetron cylindrical sputtering gafere ojiji ọdịnala. Ndị nchọpụta na ndị injinia na-enyocha ụzọ ọhụrụ iji jiri teknụzụ a mee ihe n'ọhịa ndị dị elu dịka nanotechnology na biomedicine. Ike ijikwa paramita nkwụnye ego kpọmkwem, dị ka nhazi gas, nrụgide, na ike, na-enye ohere ịmepụta ihe nkiri ahaziri ahazi nwere ihe onwunwe ahaziri ahazi dabara adaba maka ngwa ụfọdụ.
Ntinye nke gas ndị na-emegharị ahụ na-eme ka ikike nke magnetron sputtering dịkwuo elu. Site n'iwebata gas ndị na-emegharị ahụ dị ka nitrogen ma ọ bụ oxygen, enwere ike itinye ihe ndị mejupụtara ya ma ọ bụ mepụta ihe ndị mejupụtara fim dị gịrịgịrị nwere ihe pụrụ iche. Nke a na-emepe ụzọ ọhụrụ iji chọpụta ihe ndị dị elu nwere ọrụ ka mma, dị ka mma iguzogide iyi, mmụba siri ike ma ọ bụ iguzogide nchara dị elu.
Ọzọkwa, usoro ntụgharị magnetron nke silinda nwere ike ịdị mfe, na-eme ka ọ dabara adaba maka nnukwu ngwa ụlọ ọrụ mmepụta ihe. Nhazi a, tinyere arụmọrụ ya na ọtụtụ ihe dị iche iche, emeela ka ụlọ ọrụ ndị chọrọ ka a na-etinye ihe nkiri dị gịrịgịrị n'oge mmepụta ihe na-anabata teknụzụ a nke ukwuu.
Dịka ọ dị na teknụzụ ọ bụla dị elu, mgbalị nyocha na mmepe na-aga n'ihu na-eme ka ikike nke magnetron sputtering dịkwuo mma. Ndị nchọpụta na-arụ ọrụ iji meziwanye paramita usoro, melite ihe ndị a na-elekwasị anya ma nyochaa atụmatụ cathode ọzọ iji melite arụmọrụ nke itinye teknụzụ na arụmọrụ zuru oke.
–E bipụtara akụkọ a site n'aka onyeigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchiGuangdong Zhenhua
Oge ozi: Ọktoba-26-2023