Жұқа қабықшалы тұндыру технологиясы саласында цилиндрлік магнетронды бүрку тиімді және жан-жақты әдіске айналды. Бұл инновациялық технология зерттеушілер мен сала мамандарына жұқа қабықшаларды ерекше дәлдікпен және біркелкілікпен бүрку тәсілін ұсынады. Цилиндрлік магнетронды бүрку әртүрлі салаларда кеңінен қолданылады және жұқа қабықшалы тұндыру процесінде төңкеріс жасауда.
Цилиндрлік магнетронды тозаңдату, сондай-ақ цилиндрлік магнетронды тозаңдату жабыны деп те аталады, цилиндрлік магнетронды катодтарды пайдаланатын физикалық бу тұндыру технологиясы. Оның жұмыс принципі иондар нысана материалына қарай үдетіліп, оның атомдарын шығаратын плазманы жасауды қамтиды. Содан кейін бұл атомдар жұқа қабықша түзу үшін субстратқа тұндырылады.
Цилиндрлік магнетронды шашыратудың негізгі артықшылықтарының бірі - пленка сапасын сақтай отырып, жоғары тұндыру жылдамдығына қол жеткізу мүмкіндігі. Жоғары тұндыру жылдамдығында пленка сапасының төмендеуіне әкелетін дәстүрлі шашырату әдістерінен айырмашылығы, цилиндрлік магнетронды шашырату тұндыру процесінде пленка тұтастығы мен құрамының сақталуын қамтамасыз етеді.
Сонымен қатар, магнетронды катодтың цилиндрлік дизайны плазма мен магнит өрісінің біркелкі таралуына мүмкіндік береді, осылайша пленканың біркелкілігін арттырады. Бұл біркелкілік бүкіл субстрат бетінде пленканың біркелкі қасиеттерін қажет ететін қолданбалар үшін өте маңызды. Оптика, электроника және күн энергиясы сияқты салалар цилиндрлік магнетронды тозаңдатудың озық мүмкіндіктерінен үлкен пайда көрді.
Цилиндрлік магнетронды тозаңдатуды қолдану дәстүрлі қолданбалардан тысқары дамиды. Зерттеушілер мен инженерлер бұл технологияны нанотехнология және биомедицина сияқты озық салаларда пайдаланудың жаңа жолдарын үнемі зерттеп келеді. Газ құрамы, қысым және қуат сияқты тұндыру параметрлерін дәл басқару мүмкіндігі нақты қолданбаларға қолайлы арнайы қасиеттері бар арнайы пленкалар жасауға мүмкіндік береді.
Реактивті газдардың енгізілуі цилиндрлік магнетронды тозаңдатудың мүмкіндіктерін одан әрі кеңейтеді. Азот немесе оттегі сияқты реактивті газдарды енгізу арқылы композиттерді тұндыруға немесе бірегей қасиеттері бар жұқа қабықшалы композиттерді алуға болады. Бұл тозуға төзімділіктің жоғарылауы, қаттылықтың жоғарылауы немесе коррозияға төзімділіктің жоғарылауы сияқты жақсартылған функционалдығы бар озық материалдарды зерттеуге жаңа жолдар ашады.
Сонымен қатар, цилиндрлік магнетронды тозаңдату процесін оңай масштабтауға болады, бұл оны ірі көлемді өнеркәсіптік қолданбаларға жарамды етеді. Бұл масштабталу тиімділігі мен әмбебаптығымен бірге өндіріс процестері кезінде жұқа қабықшаларды тұндыруды қажет ететін салалардың бұл технологияны қолдануының артуына әкелді.
Кез келген озық технологиядағыдай, цилиндрлік магнетронды тозаңдату мүмкіндіктерін арттыру бойынша үздіксіз зерттеулер мен әзірлемелер жалғасуда. Зерттеушілер технологияның тұндыру тиімділігі мен жалпы өнімділігін одан әрі жақсарту үшін процесс параметрлерін нақтылау, нысаналы материалдарды оңтайландыру және балама катод конструкцияларын зерттеу бойынша жұмыс істеуде.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 26 қазан