Dhinaca tiknoolajiyada dhigista filimada khafiifka ah, xoqidda magnetron-ka ee silindariga ah ayaa noqotay hab wax ku ool ah oo kala duwan. Tiknoolajiyaddan cusub waxay siisaa cilmi-baarayaasha iyo xirfadlayaasha warshadaha hab ay ku kaydiyaan filimada khafiifka ah oo leh saxnaan iyo isku midnimo heer sare ah. Buufinta magnetron-ka silindariga ah ayaa si weyn loogu isticmaalaa warshado kala duwan waxayna kacaan ku samaynaysaa habka dhigista filimada khafiifka ah.
Buufinta magnetron-ka ee silindrical ah, oo sidoo kale loo yaqaan dahaarka silindrical magnetron sputtering, waa tignoolajiyada kaydinta uumiga jirka oo adeegsata cathodes-ka silindrical magnetron. Mabda'eeda shaqadu waxay ku lug leedahay abuurista balaasma kaas oo aayoonku ay u socdaan walxaha bartilmaameedka ah oo ay ka saaraan atomyada. Atomyadan ayaa markaa lagu shubaa substrate si ay u sameeyaan filim khafiif ah.
Mid ka mid ah faa'iidooyinka ugu muhiimsan ee magnetron-ka silindariga ah waa awoodda lagu gaaro heerarka kaydinta sare iyadoo la ilaalinayo tayada filimka oo aad u fiican. Si ka duwan farsamooyinka sputtering-ka dhaqameed, kuwaas oo inta badan keena hoos u dhaca tayada filimka heerarka kaydinta sare, sputtering-ka magnetron-ka silindariga ah wuxuu hubiyaa in sharafta filimka iyo halabuurka la ilaaliyo inta lagu jiro habka kaydinta.
Intaa waxaa dheer, naqshadaynta dhululubada ee katoodka magnetron waxay u oggolaanaysaa qaybinta balaasmaha iyo goobta birlabta oo isku mid ah, taasoo kor u qaadaysa isku-midnimada filimka. Isku-midnimadani waa mid muhiim u ah codsiyada u baahan sifooyin filim oo joogto ah oo ku baahsan dusha sare ee substrate-ka oo dhan. Warshadaha sida indhaha, elektaroonigga iyo tamarta qorraxda ayaa si weyn uga faa'iidaystay awoodaha horumarsan ee faafinta magnetron-ka dhululubada ah.
Isticmaalka magnetron-ka dhululubada ah wuxuu ka baxsan yahay codsiyada dhaqameed. Cilmi-baarayaasha iyo injineeradu waxay si joogto ah u sahamiyaan siyaabo cusub oo ay uga faa'iidaystaan tiknoolajiyaddan meelaha casriga ah sida nanotechnology iyo bayomedicine. Awoodda si sax ah loogu xakameyn karo xuduudaha dhigista, sida halabuurka gaaska, cadaadiska, iyo awoodda, waxay u oggolaanaysaa abuurista filimaan la habeeyey oo leh sifooyin gaar ah oo ku habboon codsiyada gaarka ah.
Soo bandhigidda gaasaska falgalka ah waxay sii ballaarinaysaa awoodaha kala-baxa magnetron-ka ee dhululubada ah. Iyadoo la soo bandhigayo gaasaska falgalka ah sida nitrogen ama oksijiin, isku-darka waa la dhigi karaa ama isku-darka filim khafiif ah oo leh astaamo gaar ah ayaa la soo saari karaa. Tani waxay furaysaa waddooyin cusub oo lagu sahaminayo agab horumarsan oo leh shaqo la xoojiyay, sida iska caabbinta xirashada oo la hagaajiyay, adkaanta oo kordhay ama iska caabbinta daxalka oo sareysa.
Intaa waxaa dheer, habka wareegga magnetron-ka si fudud ayaa loo ballaarin karaa, taasoo ka dhigaysa mid ku habboon codsiyada warshadaha ee baaxadda weyn. Cabbiraaddan, oo ay weheliso waxtarkeeda iyo kala duwanaanshaheeda, waxay keentay kor u kaca qaadashada tiknoolajiyadan warshadaha u baahan filimada khafiifka ah in la dhigo inta lagu jiro hababka wax soo saarka.
Sida tiknoolajiyad kasta oo horumarsan, dadaallada cilmi-baarista iyo horumarinta ee socda ayaa sii wada inay kor u qaadaan awoodaha nuugista magnetron-ka ee dhululubada ah. Cilmi-baarayaashu waxay ka shaqeynayaan sidii loo hagaajin lahaa xuduudaha habka, loo hagaajin lahaa agabka bartilmaameedka ah iyo sidii loo sahamin lahaa naqshadaha kale ee cathode si loo sii wanaajiyo hufnaanta dhigista tignoolajiyada iyo waxqabadka guud.
– Maqaalkan waxaa soo saaray ’’Qoraalkan waxaa soo saaray ’’soo saaraha mashiinka dahaadhka faakuumkaGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Oktoobar-26-2023