Nínú ìmọ̀ ẹ̀rọ ìpamọ́ fíìmù tín-tín, ìtújáde fíìmù tín-tín tin-tín ti di ọ̀nà tí ó gbéṣẹ́ tí ó sì wúlò fún ọ̀pọ̀ ènìyàn. Ìmọ̀ ẹ̀rọ tuntun yìí fún àwọn olùwádìí àti àwọn ògbóǹkangí ní ọ̀nà láti fi àwọn fíìmù tín-tín síta pẹ̀lú ìpéye àti ìṣọ̀kan tí ó tayọ. A ń lo ìtújáde fíìmù tín-tín tin-tín ní onírúurú ilé iṣẹ́, ó sì ń yí ìlànà ìtújáde fíìmù tín-tín padà.
Ìfọ́mọ́ra magnetron cylindrical, tí a tún mọ̀ sí ìfọ́mọ́ra magnetron cylindrical, jẹ́ ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfipamọ́ èéfín tí ó ń lo àwọn cathodes magnetron cylindrical. Ìlànà iṣẹ́ rẹ̀ ní í ṣe pẹ̀lú ṣíṣẹ̀dá plasma kan níbi tí a ti ń yára sí àwọn ion sí ohun èlò tí a fẹ́ ṣe àfojúsùn kan tí a sì ń lé àwọn átọ̀mù rẹ̀ jáde. Lẹ́yìn náà, a fi àwọn átọ̀mù wọ̀nyí sí orí ohun èlò kan láti ṣẹ̀dá fíìmù tín-ín-rín.
Ọ̀kan lára àwọn àǹfààní pàtàkì ti ìfọ́mọ́ magneticron ni agbára láti ṣe àṣeyọrí àwọn ìwọ̀n ìfọ́mọ́ fíìmù gíga nígbàtí a ń pa dídára fíìmù mọ́. Láìdàbí àwọn ọ̀nà ìfọ́mọ́ fíìmù ìbílẹ̀, èyí tí ó sábà máa ń yọrí sí ìdínkù dídára fíìmù ní àwọn ìwọ̀n ìfọ́mọ́ fíìmù gíga, ìfọ́mọ́ magneticron cylindrical ń rí i dájú pé a ń pa ìwà títọ́ fíìmù mọ́ ní gbogbo ìgbà ìfọ́mọ́ fíìmù náà.
Ní àfikún, ìṣètò sílíńdà ti magnetron cathode yọ̀ǹda fún pípín plasma àti magnetic field field tó dọ́gba, èyí sì ń mú kí fíìmù náà dọ́gba. Ìṣọ̀kan yìí ṣe pàtàkì fún àwọn ohun èlò tó nílò àwọn ohun ìní fíìmù tó dọ́gba lórí gbogbo ojú ilẹ̀. Àwọn ilé iṣẹ́ bíi optics, electronics àti oorun ti jàǹfààní púpọ̀ láti inú àwọn agbára ìdàgbàsókè ti cylindrical magnetron sputtering.
Lilo cylindrical magnetron sputtering gbooro ju awọn ohun elo ibile lọ. Awọn oluwadi ati awọn onimọ-ẹrọ n wa awọn ọna tuntun nigbagbogbo lati lo imọ-ẹrọ yii ni awọn aaye tuntun bii nanotechnology ati biomedicine. Agbara lati ṣakoso awọn paramita ifipamọ gangan, gẹgẹbi akojọpọ gaasi, titẹ, ati agbara, ngbanilaaye lati ṣẹda awọn fiimu ti a ṣe adani pẹlu awọn ohun-ini ti a ṣe adani ti o yẹ fun awọn ohun elo kan pato.
Ìmújáde àwọn gáàsì oníṣeéṣe túbọ̀ ń mú kí agbára ìfọ́nká magnetron tó ń tàn kálẹ̀ pọ̀ sí i. Nípa fífi àwọn gáàsì oníṣeéṣe bíi nitrogen tàbí oxygen sínú rẹ̀, a lè kó àwọn gáàsì oníṣeéṣe sí i tàbí kí a lè ṣe àwọn gáàsì oníṣeéṣe tó ní àwọn ànímọ́ àrà ọ̀tọ̀. Èyí ṣí ọ̀nà tuntun sílẹ̀ láti ṣe àwárí àwọn ohun èlò tó ti pẹ́ tó ní iṣẹ́ tó dára jù, bíi ìfaradà yíyà, líle tó pọ̀ sí i tàbí ìfaradà ìpalára tó ga jù.
Síwájú sí i, a lè mú kí iṣẹ́ ìfọ́mọ́ magnetron tó jẹ́ cylindrical pọ̀ sí i, èyí tó mú kí ó dára fún àwọn ohun èlò tó gbòòrò ní ilé iṣẹ́. Ìwọ̀n yí, pẹ̀lú ìṣiṣẹ́ àti ìlò rẹ̀, ti mú kí àwọn ilé iṣẹ́ tó nílò kí wọ́n máa fi àwọn fíìmù tó rọ̀ díẹ̀ sí i nígbà tí wọ́n bá ń ṣe iṣẹ́ náà, túbọ̀ máa ń gba ìmọ̀ ẹ̀rọ yìí.
Gẹ́gẹ́ bí ó ti rí pẹ̀lú ìmọ̀ ẹ̀rọ tó ti lọ síwájú, ìwádìí àti ìdàgbàsókè tó ń lọ lọ́wọ́ ń tẹ̀síwájú láti mú kí agbára ìfọ́ magnetron tó ń tàn kálẹ̀ pọ̀ sí i. Àwọn olùwádìí ń ṣiṣẹ́ láti tún àwọn ìlànà iṣẹ́ ṣe, láti mú kí àwọn ohun èlò tí a fẹ́ lò dára sí i àti láti ṣe àwárí àwọn àpẹẹrẹ cathode mìíràn láti mú kí iṣẹ́ ìfipamọ́ ẹ̀rọ náà sunwọ̀n sí i àti iṣẹ́ gbogbogbòò.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹ̀wàá-26-2023