ໃນຂະແໜງເຕັກໂນໂລຊີການວາງຟິມບາງ, ການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນຮູບຊົງກະບອກໄດ້ກາຍເປັນວິທີການທີ່ມີປະສິດທິພາບ ແລະ ຫຼາກຫຼາຍ. ເຕັກໂນໂລຊີທີ່ມີນະວັດຕະກໍານີ້ຊ່ວຍໃຫ້ນັກຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ຜູ້ຊ່ຽວຊານດ້ານອຸດສາຫະກໍາມີວິທີການວາງຟິມບາງໆດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍໍາ ແລະ ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີທີ່ໂດດເດັ່ນ. ການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນຮູບຊົງກະບອກຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຫຼາຍອຸດສາຫະກໍາ ແລະ ກໍາລັງປະຕິວັດຂະບວນການວາງຟິມບາງ.
ການສະເປຣດເຕີຣິງແມກນີຕຣອນຮູບຊົງກະບອກ, ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າການເຄືອບສະເປຣດເຕີຣິງແມກນີຕຣອນຮູບຊົງກະບອກ, ເປັນເທັກໂນໂລຢີການວາງໄອນ້ຳທາງກາຍະພາບທີ່ໃຊ້ແຄໂທດແມກນີຕຣອນຮູບຊົງກະບອກ. ຫຼັກການເຮັດວຽກຂອງມັນກ່ຽວຂ້ອງກັບການສ້າງພລາສມາທີ່ໄອອອນຖືກເລັ່ງໄປສູ່ວັດສະດຸເປົ້າໝາຍ ແລະ ຂັບໄລ່ອະຕອມຂອງມັນອອກ. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, ອະຕອມເຫຼົ່ານີ້ຈະຖືກວາງໄວ້ເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນເພື່ອສ້າງເປັນຟິມບາງໆ.
ໜຶ່ງໃນຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼັກຂອງການສີດແມກນີຕຣອນຮູບຊົງກະບອກແມ່ນຄວາມສາມາດໃນການບັນລຸອັດຕາການຕົກຕະກອນສູງໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຄຸນນະພາບຂອງຟິມທີ່ດີເລີດ. ບໍ່ເຫມືອນກັບເຕັກນິກການສີດແບບດັ້ງເດີມ, ເຊິ່ງມັກຈະເຮັດໃຫ້ຄຸນນະພາບຂອງຟິມຫຼຸດລົງໃນອັດຕາການຕົກຕະກອນທີ່ສູງຂຶ້ນ, ການສີດແມກນີຕຣອນຮູບຊົງກະບອກຮັບປະກັນວ່າຄວາມສົມບູນແລະສ່ວນປະກອບຂອງຟິມຍັງຄົງຢູ່ຕະຫຼອດຂະບວນການສີດ.
ນອກຈາກນັ້ນ, ການອອກແບບຮູບຊົງກະບອກຂອງແຄໂທດແມກນີຕຣອນຊ່ວຍໃຫ້ມີການແຈກຢາຍພລາສມາ ແລະ ສະໜາມແມ່ເຫຼັກທີ່ເປັນເອກະພາບຫຼາຍຂຶ້ນ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງເສີມຂະຫຍາຍຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງຟິມ. ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີນີ້ແມ່ນສຳຄັນຫຼາຍສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ຕ້ອງການຄຸນສົມບັດຂອງຟິມທີ່ສອດຄ່ອງກັນທົ່ວພື້ນຜິວຂອງຊັ້ນວາງທັງໝົດ. ອຸດສາຫະກຳເຊັ່ນ: ທັດສະນະ, ເອເລັກໂຕຣນິກ ແລະ ພະລັງງານແສງຕາເວັນໄດ້ຮັບຜົນປະໂຫຍດຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຈາກຄວາມສາມາດທີ່ກ້າວໜ້າຂອງການສະເປຣດເຕີແມກນີຕຣອນຮູບຊົງກະບອກ.
ການນໍາໃຊ້ການສະເປເຕີ້ແມກນີຕຣອນຮູບຊົງກະບອກຂະຫຍາຍໄປໄກກວ່າການນໍາໃຊ້ແບບດັ້ງເດີມ. ນັກຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ວິສະວະກອນກໍາລັງຄົ້ນຫາວິທີການໃໝ່ໆຢູ່ເລື້ອຍໆເພື່ອນໍາໃຊ້ເຕັກໂນໂລຢີນີ້ໃນຂົງເຂດທີ່ທັນສະໄໝເຊັ່ນ: ເຕັກໂນໂລຊີນາໂນ ແລະ ຊີວະແພດ. ຄວາມສາມາດໃນການຄວບຄຸມຕົວກໍານົດການການຕົກຕະກອນໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນ, ເຊັ່ນ: ສ່ວນປະກອບຂອງອາຍແກັສ, ຄວາມດັນ, ແລະ ພະລັງງານ, ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດສ້າງຟິມທີ່ກໍາຫນົດເອງດ້ວຍຄຸນສົມບັດທີ່ເໝາະສົມກັບການນໍາໃຊ້ສະເພາະ.
ການນຳສະເໜີອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາຊ່ວຍຂະຫຍາຍຄວາມສາມາດຂອງການສະເປຣດແມກນີຕຣອນຮູບຊົງກະບອກຕື່ມອີກ. ໂດຍການນຳສະເໜີອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາເຊັ່ນ: ໄນໂຕຣເຈນ ຫຼື ອົກຊີເຈນ, ວັດສະດຸປະສົມສາມາດວາງໄວ້ ຫຼື ວັດສະດຸປະສົມຟິມບາງໆທີ່ມີຄຸນສົມບັດພິເສດສາມາດຜະລິດໄດ້. ສິ່ງນີ້ເປີດຊ່ອງທາງໃໝ່ໃນການຄົ້ນຫາວັດສະດຸທີ່ກ້າວໜ້າດ້ວຍໜ້າທີ່ທີ່ດີຂຶ້ນ, ເຊັ່ນ: ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ທີ່ດີຂຶ້ນ, ຄວາມແຂງທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ ຫຼື ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ດີກວ່າ.
ນອກຈາກນັ້ນ, ຂະບວນການສະເປຣດເຕີຣິງແມກນີຕຣອນຮູບຊົງກະບອກສາມາດຂະຫຍາຍໄດ້ງ່າຍ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມກັບການນຳໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກຳຂະໜາດໃຫຍ່. ຄວາມສາມາດໃນການຂະຫຍາຍນີ້, ບວກກັບປະສິດທິພາບ ແລະ ຄວາມຄ່ອງແຄ້ວຂອງມັນ, ໄດ້ນຳໄປສູ່ການນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຢີນີ້ເພີ່ມຂຶ້ນໂດຍອຸດສາຫະກຳທີ່ຕ້ອງການໃຫ້ຟິມບາງໆຖືກວາງໄວ້ໃນຂະບວນການຜະລິດ.
ເຊັ່ນດຽວກັນກັບເຕັກໂນໂລຊີທີ່ກ້າວໜ້າອື່ນໆ, ຄວາມພະຍາຍາມໃນການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຍັງສືບຕໍ່ເສີມຂະຫຍາຍຄວາມສາມາດຂອງການໃຊ້ magnetron sputtering ຮູບຊົງກະບອກ. ນັກຄົ້ນຄວ້າກຳລັງເຮັດວຽກເພື່ອປັບປຸງຕົວກໍານົດການຂອງຂະບວນການ, ເພີ່ມປະສິດທິພາບວັດສະດຸເປົ້າໝາຍ ແລະ ຄົ້ນຫາການອອກແບບ cathode ທາງເລືອກເພື່ອປັບປຸງປະສິດທິພາບການວາງຊັ້ນ ແລະ ປະສິດທິພາບໂດຍລວມຂອງເຕັກໂນໂລຊີ.
- ບົດຄວາມນີ້ເຜີຍແຜ່ໂດຍຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua
ເວລາໂພສ: ຕຸລາ-26-2023