การแนะนำและการประยุกต์ใช้อุปกรณ์เคลือบออปติกระนาบขนาดใหญ่

ฉัน. ภาพรวม
อุปกรณ์เคลือบออปติกระนาบขนาดใหญ่เป็นอุปกรณ์สำหรับเคลือบฟิล์มบางๆ อย่างสม่ำเสมอบนพื้นผิวขององค์ประกอบออปติกระนาบ ฟิล์มเหล่านี้มักใช้เพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพของส่วนประกอบออปติก เช่น การสะท้อน การส่งผ่าน การป้องกันแสงสะท้อน การป้องกันแสงสะท้อน ตัวกรอง กระจก และฟังก์ชันอื่นๆ อุปกรณ์นี้ใช้เป็นหลักในอุตสาหกรรมออปติก เลเซอร์ จอแสดงผล การสื่อสาร การบินและอวกาศ และอื่นๆ
ประการที่สอง หลักการพื้นฐานของการเคลือบออปติคอล
การเคลือบด้วยแสงเป็นเทคนิคที่เปลี่ยนแปลงคุณสมบัติทางแสงขององค์ประกอบแสง (เช่น เลนส์ ฟิลเตอร์ ปริซึม ใยแก้วนำแสง จอแสดงผล เป็นต้น) โดยการเคลือบวัสดุหนึ่งชั้นหรือมากกว่านั้น (โดยปกติจะเป็นโลหะ เซรามิก หรือออกไซด์) บนพื้นผิวขององค์ประกอบดังกล่าว ชั้นฟิล์มเหล่านี้อาจเป็นฟิล์มสะท้อนแสง ฟิล์มส่งผ่าน ฟิล์มป้องกันแสงสะท้อน เป็นต้น วิธีการเคลือบทั่วไป ได้แก่ การเคลือบด้วยไอทางกายภาพ (PVD) การเคลือบด้วยไอทางเคมี (CVD) การเคลือบด้วยการสปัตเตอร์ การเคลือบด้วยการระเหย เป็นต้น
สาม การจัดองค์ประกอบของอุปกรณ์
อุปกรณ์เคลือบออปติกแบบระนาบขนาดใหญ่โดยปกติประกอบด้วยชิ้นส่วนหลักดังต่อไปนี้:
ห้องเคลือบ: นี่คือส่วนหลักของกระบวนการเคลือบและโดยปกติแล้วจะเป็นห้องสูญญากาศ การเคลือบจะดำเนินการโดยการควบคุมสูญญากาศและบรรยากาศ เพื่อปรับปรุงคุณภาพการเคลือบและควบคุมความหนาของฟิล์ม จำเป็นต้องควบคุมสภาพแวดล้อมของห้องเคลือบอย่างแม่นยำ
แหล่งกำเนิดการระเหยหรือการสปัตเตอร์:
แหล่งกำเนิดการระเหย: วัสดุที่ต้องการสะสมจะได้รับความร้อนจนกลายเป็นไอ โดยทั่วไปจะใช้การระเหยของลำแสงอิเล็กตรอนหรือการระเหยด้วยความร้อน จากนั้นจึงสะสมลงบนองค์ประกอบออปติคัลในสุญญากาศ
แหล่งกำเนิดการสปัตเตอร์: โดยการกระทบเป้าหมายด้วยไอออนพลังงานสูง อะตอมหรือโมเลกุลของเป้าหมายจะถูกสปัตเตอร์ออกมา และในที่สุดจะถูกสะสมบนพื้นผิวออปติคัลเพื่อสร้างฟิล์ม
ระบบหมุน: จำเป็นต้องหมุนองค์ประกอบออปติกระหว่างกระบวนการเคลือบเพื่อให้แน่ใจว่าฟิล์มกระจายตัวอย่างสม่ำเสมอบนพื้นผิว ระบบหมุนช่วยให้ฟิล์มมีความหนาสม่ำเสมอตลอดกระบวนการเคลือบ
ระบบสุญญากาศ: ระบบสุญญากาศใช้เพื่อสร้างสภาพแวดล้อมที่มีแรงดันต่ำ โดยปกติจะใช้ระบบปั๊มเพื่อดูดสูญญากาศเข้าไปในห้องเคลือบ ช่วยให้มั่นใจว่ากระบวนการเคลือบจะไม่ถูกรบกวนจากสิ่งสกปรกในอากาศ ส่งผลให้ได้ฟิล์มคุณภาพสูง
ระบบการวัดและการควบคุม: ได้แก่ เซ็นเซอร์สำหรับตรวจสอบความหนาของฟิล์ม (เช่น เซ็นเซอร์ QCM) การควบคุมอุณหภูมิ การควบคุมกำลังไฟ ฯลฯ เพื่อควบคุมกระบวนการเคลือบอย่างแม่นยำ
ระบบทำความเย็น: ความร้อนที่เกิดขึ้นในระหว่างกระบวนการเคลือบอาจส่งผลต่อคุณภาพของฟิล์มและความสมบูรณ์ขององค์ประกอบออปติคัล ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีระบบทำความเย็นที่มีประสิทธิภาพเพื่อรักษาสภาพแวดล้อมอุณหภูมิที่คงที่
4. สาขาการใช้งาน
การผลิตส่วนประกอบออปติก: อุปกรณ์เคลือบผิวใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตส่วนประกอบออปติก เช่น เลนส์ออปติก กล้องจุลทรรศน์ กล้องโทรทรรศน์ และเลนส์กล้อง โดยผ่านการเคลือบประเภทต่างๆ ส่วนประกอบออปติกสามารถปรับให้เหมาะสมเพื่อป้องกันการสะท้อน ป้องกันการสะท้อน การสะท้อนแสงแบบกระจาย การกรองแสง ฯลฯ เพื่อปรับปรุงคุณภาพของภาพ ความสว่าง และความคมชัด
เทคโนโลยีการแสดงผล: ในกระบวนการผลิตจอแสดงผลคริสตัลเหลว (LCD) ไดโอดเปล่งแสงอินทรีย์ (OLED) และจอแสดงผลอื่นๆ จะใช้เทคโนโลยีการเคลือบเพื่อปรับปรุงเอฟเฟกต์การแสดงผล เพิ่มสี ความคมชัด และความสามารถในการป้องกันแสงสะท้อน
อุปกรณ์เลเซอร์: ในกระบวนการผลิตเลเซอร์และส่วนประกอบออปติกเลเซอร์ (เช่น เลนส์เลเซอร์ กระจก ฯลฯ) จะใช้เทคโนโลยีการเคลือบเพื่อปรับคุณลักษณะการสะท้อนและการส่งผ่านของเลเซอร์เพื่อให้แน่ใจว่าเลเซอร์จะมีพลังงานส่งออกและมีคุณภาพการส่งผ่านที่ดี
โซลาร์เซลล์แบบโฟโตวอลตาอิค: ในการผลิตแผงโซลาร์เซลล์ จะใช้การเคลือบด้วยแสงเพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพการแปลงไฟฟ้าจากแสง ตัวอย่างเช่น การเคลือบชั้นฟิล์มป้องกันแสงสะท้อนบนพื้นผิวของวัสดุโซลาร์เซลล์สามารถลดการสูญเสียแสงได้ จึงทำให้ประสิทธิภาพของเซลล์แสงอาทิตย์ดีขึ้น
การบินและอวกาศ: ในสาขาการบินและอวกาศ เลนส์ออปติก เซนเซอร์ออปติก กล้องโทรทรรศน์ และอุปกรณ์อื่นๆ จำเป็นต้องได้รับการเคลือบเพื่อเพิ่มความต้านทานการแผ่รังสี ความต้านทานต่ออุณหภูมิสูง และประสิทธิภาพป้องกันแสงสะท้อน เพื่อให้มั่นใจถึงการทำงานปกติของอุปกรณ์ในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
เซ็นเซอร์และเครื่องมือ: ใช้สำหรับเครื่องมือความแม่นยำ เซ็นเซอร์อินฟราเรด เซ็นเซอร์ออปติก และอุปกรณ์อื่นๆ การเคลือบอาจช่วยเพิ่มประสิทธิภาพได้ ตัวอย่างเช่น เซ็นเซอร์อินฟราเรดมักต้องการการเคลือบฟิล์มเฉพาะเพื่อให้สามารถกรองและผ่านความยาวคลื่นแสงเฉพาะได้อย่างมีประสิทธิภาพ
5. ความท้าทายทางเทคโนโลยีและแนวโน้มการพัฒนา
การควบคุมคุณภาพฟิล์ม: ในอุปกรณ์เคลือบออปติกแบบระนาบขนาดใหญ่ การรับประกันความสม่ำเสมอและความสม่ำเสมอของฟิล์มถือเป็นปัญหาทางเทคนิค ความผันผวนของอุณหภูมิเพียงเล็กน้อย การเปลี่ยนแปลงองค์ประกอบของก๊าซ หรือความผันผวนของแรงดันระหว่างกระบวนการเคลือบอาจส่งผลต่อคุณภาพของฟิล์มได้
เทคโนโลยีการเคลือบหลายชั้น: ส่วนประกอบออปติกประสิทธิภาพสูงมักต้องใช้ระบบฟิล์มหลายชั้น และอุปกรณ์เคลือบจะต้องสามารถควบคุมความหนาและองค์ประกอบวัสดุของฟิล์มแต่ละฟิล์มได้อย่างแม่นยำเพื่อให้ได้เอฟเฟกต์ออปติกที่ต้องการ
ความชาญฉลาดและอัตโนมัติ: ด้วยความก้าวหน้าของเทคโนโลยี อุปกรณ์เคลือบในอนาคตจะมีความชาญฉลาดและอัตโนมัติมากขึ้น สามารถตรวจสอบและปรับพารามิเตอร์ต่างๆ ในกระบวนการเคลือบได้แบบเรียลไทม์ ปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิตและคุณภาพของผลิตภัณฑ์
การปกป้องสิ่งแวดล้อมและการประหยัดพลังงาน: ด้วยข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อมที่เข้มงวด อุปกรณ์เคลือบออปติกจำเป็นต้องลดการใช้พลังงานและลดการปล่อยสารอันตราย ในเวลาเดียวกัน การพัฒนาวัสดุและกระบวนการเคลือบที่เป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อมมากขึ้นยังเป็นแนวทางสำคัญของการวิจัยในปัจจุบันอีกด้วย
อุปกรณ์เคลือบออปติกแบบสปัตเตอร์แมกนีตรอนต่อเนื่อง SOM2550
ข้อดีของอุปกรณ์:
ระดับความอัตโนมัติสูง ความจุในการโหลดขนาดใหญ่ ประสิทธิภาพฟิล์มดีเยี่ยม
ค่าการส่งผ่านแสงที่มองเห็นได้สูงถึง 99%
ความแข็งระดับ Superhard AR +AF สูงถึง 9H
การประยุกต์ใช้: ผลิต AR/NCVM+DLC+AF เป็นหลัก เช่นเดียวกับกระจกมองหลังอัจฉริยะ กระจกหน้าจอรถยนต์/หน้าจอสัมผัส AR ฮาร์ดกล้อง IR-CUT และฟิลเตอร์อื่น ๆ การจดจำใบหน้าและผลิตภัณฑ์อื่น ๆ

–บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตเครื่องเคลือบสูญญากาศกว่างตงเจิ้นหัว