I. Gambaran Keseluruhan
Peranti salutan optik planar yang besar ialah peranti untuk memendapkan filem nipis secara seragam pada permukaan elemen optik planar. Filem ini sering digunakan untuk meningkatkan prestasi komponen optik, seperti pantulan, penghantaran, anti-pantulan, anti-pantulan, penapis, cermin dan fungsi lain. Peralatan ini digunakan terutamanya dalam industri optik, laser, paparan, komunikasi, aeroangkasa dan lain-lain.
Kedua, prinsip asas salutan optik
Salutan optik ialah teknik yang mengubah sifat optik elemen optik (seperti kanta, penapis, prisma, gentian optik, paparan, dll.) dengan memendapkan satu atau lebih lapisan bahan (biasanya logam, seramik atau oksida) pada permukaannya. Lapisan filem ini boleh jadi filem pantulan, filem penghantaran, filem anti-pantulan, dsb. Kaedah salutan yang biasa ialah pemendapan wap fizikal (PVD), pemendapan wap kimia (CVD), pemendapan percikan, salutan penyejatan dan sebagainya.
Ketiga, komposisi peralatan
Peralatan salutan optik planar besar biasanya merangkumi bahagian utama berikut:
Ruang salutan: Ini adalah bahagian teras proses salutan dan biasanya merupakan ruang vakum. Salutan dilakukan dengan mengawal vakum dan atmosfera. Untuk meningkatkan kualiti salutan dan mengawal ketebalan filem, adalah perlu untuk mengawal persekitaran ruang salutan dengan tepat.
Sumber penyejatan atau sumber percikan:
Sumber penyejatan: Bahan yang hendak dimendapkan dipanaskan kepada keadaan wap, biasanya melalui penyejatan pancaran elektron atau penyejatan haba, dan kemudian dimendapkan ke atas elemen optik dalam vakum.
Sumber percikan: Dengan memberi ion bertenaga tinggi kepada sasaran, atom atau molekul sasaran akan terpercik keluar, yang akhirnya termendap pada permukaan optik untuk membentuk filem.
Sistem berputar: Elemen optik perlu diputar semasa proses salutan untuk memastikan filem diagihkan secara sekata pada permukaannya. Sistem berputar memastikan ketebalan filem yang konsisten sepanjang proses salutan.
Sistem vakum: Sistem vakum digunakan untuk menyediakan persekitaran tekanan rendah, biasanya melalui sistem pam untuk mengosongkan ruang salutan, memastikan proses salutan tidak terganggu oleh bendasing di udara, menghasilkan filem berkualiti tinggi.
Sistem pengukuran dan kawalan: termasuk sensor untuk memantau ketebalan filem (seperti sensor QCM), kawalan suhu, pengawalaturan kuasa, dsb., untuk mengawal proses salutan dengan tepat.
Sistem penyejukan: Haba yang dihasilkan semasa proses salutan boleh menjejaskan kualiti filem dan integriti elemen optik, jadi sistem penyejukan yang cekap diperlukan untuk mengekalkan persekitaran suhu yang stabil.
4. Medan permohonan
Pembuatan komponen optik: Peralatan salutan digunakan secara meluas dalam penghasilan komponen optik seperti kanta optik, mikroskop, teleskop dan kanta kamera. Melalui pelbagai jenis salutan, elemen optik boleh dioptimumkan untuk anti-pantulan, anti-pantulan, pantulan spekular, penapisan dan sebagainya, untuk meningkatkan kualiti imej, kecerahan dan kontras.
Teknologi paparan: Dalam proses pengeluaran paparan kristal cecair (LCD), diod pemancar cahaya organik (OLED) dan paparan lain, teknologi salutan digunakan untuk meningkatkan kesan paparan, meningkatkan keupayaan warna, kontras dan anti-pantulan.
Peralatan laser: Dalam proses pembuatan laser dan komponen optik laser (seperti kanta laser, cermin, dll.), teknologi salutan digunakan untuk melaraskan ciri pantulan dan penghantaran laser bagi memastikan output tenaga dan kualiti penghantaran laser.
Fotovoltaik solar: Dalam penghasilan panel solar, salutan optik digunakan untuk meningkatkan kecekapan penukaran fotoelektrik. Contohnya, menyalut lapisan filem anti-pantulan pada permukaan bahan fotovoltaik dapat mengurangkan kehilangan cahaya, sekali gus meningkatkan prestasi sel solar.
Aeroangkasa: Dalam bidang aeroangkasa, kanta optik, sensor optik, teleskop dan peralatan lain perlu disalut untuk meningkatkan rintangan sinaran, rintangan suhu tinggi dan kesan anti-pantulan bagi memastikan operasi normal peralatan dalam persekitaran yang keras.
Sensor dan instrumen: Digunakan untuk instrumen ketepatan, sensor inframerah, sensor optik dan pembuatan peralatan lain, salutan boleh meningkatkan prestasinya. Contohnya, sensor inframerah selalunya memerlukan salutan filem tertentu agar dapat menapis dan melalui panjang gelombang cahaya tertentu dengan berkesan.
V. Cabaran teknologi dan trend pembangunan
Kawalan kualiti filem: Dalam peralatan salutan optik planar yang besar, memastikan keseragaman dan konsistensi filem merupakan masalah teknikal. Perubahan suhu yang kecil, perubahan komposisi gas atau turun naik tekanan semasa proses salutan boleh menjejaskan kualiti filem.
Teknologi salutan berbilang lapisan: Komponen optik berprestasi tinggi selalunya memerlukan sistem filem berbilang lapisan, dan peralatan salutan mesti dapat mengawal ketebalan dan komposisi bahan setiap filem dengan tepat untuk mencapai kesan optik yang diingini.
Pintar dan automasi: Dengan kemajuan teknologi, peralatan salutan masa hadapan akan menjadi lebih pintar dan automatik, dapat memantau dan melaraskan pelbagai parameter dalam proses salutan dalam masa nyata, meningkatkan kecekapan pengeluaran dan kualiti produk.
Perlindungan alam sekitar dan penjimatan tenaga: Dengan keperluan peraturan alam sekitar yang ketat, peralatan salutan optik perlu mengurangkan penggunaan tenaga dan mengurangkan pelepasan bahan berbahaya. Pada masa yang sama, pembangunan bahan dan proses salutan yang lebih mesra alam juga merupakan hala tuju penting penyelidikan semasa.
Peralatan salutan optik percikan magnetron berterusan SOM2550
Kelebihan peralatan:
Tahap automasi yang tinggi, kapasiti muatan yang besar, prestasi filem yang sangat baik
Kebolehterimaan cahaya yang boleh dilihat adalah sehingga 99%
Kekerasan AR +AF Superhard sehingga 9H
Aplikasi: Terutamanya menghasilkan AR/NCVM+DLC+AF, serta cermin pandang belakang pintar, kaca penutup paparan/skrin sentuh kereta, AR ultra keras kamera, IR-CUT dan penapis lain, pengecaman wajah dan produk lain.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: 24 Jan-2025