I. Gambaran Umum
Perangkat pelapis optik planar besar adalah perangkat untuk melapisi permukaan elemen optik planar dengan lapisan tipis secara seragam. Lapisan ini sering digunakan untuk meningkatkan kinerja komponen optik, seperti refleksi, transmisi, anti-refleksi, filter, cermin, dan fungsi lainnya. Peralatan ini terutama digunakan dalam industri optik, laser, tampilan, komunikasi, kedirgantaraan, dan industri lainnya.
Kedua, prinsip dasar pelapisan optik.
Pelapisan optik adalah teknik yang mengubah sifat optik suatu elemen optik (seperti lensa, filter, prisma, serat optik, layar, dll.) dengan cara mengendapkan satu atau lebih lapisan material (biasanya logam, keramik, atau oksida) pada permukaannya. Lapisan film ini dapat berupa film reflektif, film transmisi, film anti-refleksi, dan lain sebagainya. Metode pelapisan yang umum digunakan adalah deposisi uap fisik (PVD), deposisi uap kimia (CVD), deposisi sputtering, pelapisan evaporasi, dan lain-lain.
Ketiga, komposisi peralatan
Peralatan pelapisan optik planar berukuran besar biasanya mencakup bagian-bagian utama berikut:
Ruang pelapisan: Ini adalah bagian inti dari proses pelapisan dan biasanya berupa ruang vakum. Pelapisan dilakukan dengan mengontrol vakum dan atmosfer. Untuk meningkatkan kualitas pelapisan dan mengontrol ketebalan lapisan, diperlukan pengendalian lingkungan ruang pelapisan secara tepat.
Sumber penguapan atau sumber percikan:
Sumber penguapan: Material yang akan diendapkan dipanaskan hingga menjadi uap, biasanya dengan penguapan berkas elektron atau penguapan termal, lalu diendapkan ke elemen optik dalam ruang hampa.
Sumber sputtering: Dengan menumbukkan target dengan ion berenergi tinggi, atom atau molekul target akan terlempar keluar, yang kemudian akan mengendap pada permukaan optik untuk membentuk lapisan film.
Sistem putar: Elemen optik perlu diputar selama proses pelapisan untuk memastikan lapisan film terdistribusi secara merata di permukaannya. Sistem putar memastikan ketebalan film yang konsisten selama proses pelapisan.
Sistem vakum: Sistem vakum digunakan untuk menyediakan lingkungan bertekanan rendah, biasanya melalui sistem pompa untuk menyedot udara dari ruang pelapisan, memastikan bahwa proses pelapisan tidak terganggu oleh kotoran di udara, sehingga menghasilkan lapisan film berkualitas tinggi.
Sistem pengukuran dan kontrol: termasuk sensor untuk memantau ketebalan film (seperti sensor QCM), kontrol suhu, pengaturan daya, dll., untuk mengontrol proses pelapisan secara presisi.
Sistem pendinginan: Panas yang dihasilkan selama proses pelapisan dapat memengaruhi kualitas film dan integritas elemen optik, sehingga diperlukan sistem pendinginan yang efisien untuk menjaga lingkungan suhu yang stabil.
4. Bidang aplikasi
Pembuatan komponen optik: Peralatan pelapisan banyak digunakan dalam produksi komponen optik seperti lensa optik, mikroskop, teleskop, dan lensa kamera. Melalui berbagai jenis pelapisan, elemen optik dapat dioptimalkan untuk anti-refleksi, anti-pantulan, pantulan spekular, penyaringan, dll., untuk meningkatkan kualitas gambar, kecerahan, dan kontras.
Teknologi tampilan: Dalam proses produksi layar kristal cair (LCD), dioda pemancar cahaya organik (OLED), dan layar lainnya, teknologi pelapisan digunakan untuk meningkatkan efek tampilan, meningkatkan warna, kontras, dan kemampuan anti-refleksi.
Peralatan laser: Dalam proses pembuatan laser dan komponen optik laser (seperti lensa laser, cermin, dll.), teknologi pelapisan digunakan untuk menyesuaikan karakteristik refleksi dan transmisi laser guna memastikan keluaran energi dan kualitas transmisi laser.
Fotovoltaik surya: Dalam produksi panel surya, lapisan optik digunakan untuk meningkatkan efisiensi konversi fotolistrik. Misalnya, melapisi permukaan material fotovoltaik dengan lapisan film anti-refleksi dapat mengurangi kehilangan cahaya, sehingga meningkatkan kinerja sel surya.
Dirgantara: Di bidang dirgantara, lensa optik, sensor optik, teleskop, dan peralatan lainnya perlu dilapisi untuk meningkatkan ketahanan terhadap radiasi, ketahanan terhadap suhu tinggi, dan efek anti-refleksi guna memastikan pengoperasian normal peralatan di lingkungan yang keras.
Sensor dan instrumen: Digunakan untuk instrumen presisi, sensor inframerah, sensor optik, dan pembuatan peralatan lainnya, pelapisan dapat meningkatkan kinerjanya. Misalnya, sensor inframerah seringkali membutuhkan lapisan film khusus agar dapat secara efektif menyaring dan meneruskan panjang gelombang cahaya tertentu.
V. Tantangan teknologi dan tren perkembangan
Pengendalian mutu film: Pada peralatan pelapisan optik planar berukuran besar, memastikan keseragaman dan konsistensi film merupakan masalah teknis. Fluktuasi suhu kecil, perubahan komposisi gas, atau fluktuasi tekanan selama proses pelapisan dapat memengaruhi kualitas film.
Teknologi pelapisan multi-lapisan: Komponen optik berkinerja tinggi seringkali membutuhkan sistem film multi-lapisan, dan peralatan pelapisan harus mampu mengontrol secara tepat ketebalan dan komposisi material setiap film untuk mencapai efek optik yang diinginkan.
Cerdas dan otomatis: Dengan kemajuan teknologi, peralatan pelapisan di masa depan akan lebih cerdas dan otomatis, mampu memantau dan menyesuaikan berbagai parameter dalam proses pelapisan secara real time, meningkatkan efisiensi produksi dan kualitas produk.
Perlindungan lingkungan dan penghematan energi: Dengan persyaratan peraturan lingkungan yang ketat, peralatan pelapisan optik perlu mengurangi konsumsi energi dan mengurangi emisi zat berbahaya. Pada saat yang sama, pengembangan bahan dan proses pelapisan yang lebih ramah lingkungan juga merupakan arah penting dari penelitian saat ini.
Peralatan pelapisan optik sputtering magnetron kontinu SOM2550
Keunggulan peralatan:
Tingkat otomatisasi tinggi, kapasitas pemuatan besar, kinerja film yang sangat baik.
Transmisi cahaya tampak mencapai 99%
Kekerasan superkeras AR +AF hingga 9H
Aplikasi: Terutama memproduksi AR/NCVM+DLC+AF, serta kaca spion pintar, kaca penutup layar/layar sentuh mobil, AR ultra-keras kamera, IR-CUT dan filter lainnya, pengenalan wajah dan produk lainnya.
–Artikel ini dirilis olehprodusen mesin pelapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktu posting: 24 Januari 2025