Ҳангоме ки истеҳсоли PCB ба зичии баландтар, фосилаи дақиқтари хатҳо, шумораи қабатҳои баландтар ва стандартҳои сифати сӯрохиҳои серталабтар ҳаракат мекунад, пармакунии хурд ба яке аз равандҳои муҳимтарин табдил ёфтааст, ки ба ҳосилнокӣ, дақиқии андозагирӣ ва арзиши истеҳсолот таъсир мерасонад. Дар пармакунии PCB-и баландсуръат, пармакунии хурд барои буридани фолгаи мис, нахи шишагӣ, системаҳои қатрон ва маводҳои пуркунандаи абразивии афзоянда зарур аст ва ҳамзамон кунҷҳои тези буриш, ихроҷи устувори чипҳо ва сифати устувори девори сӯрохиро нигоҳ медорад. Гузоришҳои соҳавӣ қайд кардаанд, ки дар истеҳсоли PCB-и зичии баланд, нокомии пармакунӣ бо часпиши қатрон, фарсудашавии зуди канорҳо, деформатсияи сӯрохҳо ва ивазкунии зуд-зуди асбобҳо, махсусан бо афзоиши суръати пармакунӣ ва шумораи қабатҳо, зич алоқаманд аст.
Ба ин иллат,Пӯшиши микро-пармакунии PCBдигар раванди оддии "қабати фарсудашаванда" нест. Он ба як роҳи ҳалли дақиқи муҳандисии сатҳ табдил меёбад, ки аз таҷҳизоти рӯйпӯшкунии вакуумӣ иҷрои хеле баландтарро талаб мекунад. Рӯйпӯш бояд сахтиро беҳтар кунад, соишро кам кунад, часпиши қатрони ҷамъшударо пахш кунад, нигоҳдории канорҳоро беҳтар созад ва геометрияи аслии пармаҳои карбидии хурдро нигоҳ дорад. Ин талаботҳои навро ба назорати сохтори плёнка, устувории плазма, пахшкунии зарраҳо, идоракунии ҳарорат ва мувофиқати партия мегузорад.
Талаботи аввал назорати ултра тунук ва хеле якхелаи рӯйпӯшкунӣ мебошад. Микропармаҳои PCB диаметрҳои хеле хурд, кунҷҳои тези буриш ва геометрияҳои мураккаби флейта доранд. Ғафсии аз ҳад зиёди рӯйпӯшкунӣ метавонад кунҷи буришро гирд оварад, ба тоза кардани пораҳо таъсир расонад ё фосилаи тарҳрезишудаи буришро тағйир диҳад. Аз ин рӯ, таҷҳизоти рӯйпӯшкунӣ бояд қодир бошад, ки плёнкаҳои зич, пайваста ва якхеларо дар миқёси микрон ё ҳатто субмикрон ҷойгир кунад ва дар айни замон фарогирии хубро дар кунҷи буриш, сатҳи флейта ва нӯги парма таъмин намояд. Барои рӯйпӯшҳо ба монанди ta-C, DLC, AlTiN, AlCrN, TiAlSiN ё рӯйпӯшҳои сахти бисёрқабата, таҷҳизот бояд суръати ҷойгиршавӣ, энергияи ион ва ғафсии плёнкаро дақиқ назорат кунад, то сахтӣ, часпидан ва тезии кунҷро мувозинат кунад.
Талаботи дуюм қобилияти ҷойгиркунии зарраҳои кам мебошад. Ҷойгиркунии анъанавии камони катодӣ суръати баланди ионизатсия ва часпиши қавии плёнкаро таъмин мекунад, аммо макрозарраҳо метавонанд ба манбаи муҳими нуқсонҳо барои асбобҳои микро табдил ёбанд. Барои микропармаҳои PCB, ҳатто зарраҳои хурд дар канори буриш метавонанд боиси консентратсияи фишори маҳаллӣ, пармакунии ноустувор, харошидани девори сӯрохҳо ё вайроншавии бармаҳали рӯйпӯш шаванд. Аз ин рӯ, технологияи камони магнитии филтршуда, системаҳои камони вакуумии катодии филтршуда ва сохторҳои филтркунии плазмавии оптимизатсияшуда торафт муҳимтар мешаванд. Филтратсияи магнитӣ метавонад зарраҳои калонро кам кунад ва ҳамвории рӯйпӯшро беҳтар созад, ки ин махсусан барои рӯйпӯшҳои DLC ва ta-C, ки дар микропармаҳо истифода мешаванд, арзишманд аст.
Талаботи сеюм часпакии мустаҳкам бе осеби гармӣ мебошад. Микропармаҳои PCB одатан аз карбиди сементӣ сохта мешаванд ва самаранокии буриши онҳо аз геометрияи дақиқи канор вобаста аст. Агар ҳарорати рӯйпӯш хеле баланд бошад, ба субстрат, сохтори кафшершуда ё дақиқии канор таъсир расонида метавонад. Аз ин рӯ, таҷҳизоти муосири рӯйпӯшкунии микропарма ба таҳшиншавии устувори ҳарорати паст, тозакунии ионии баландсифат ва тарҳрезии боэътимоди қабатҳои байниқабатӣ ниёз доранд. Технологияҳо ба монанди кандакории манбаи ион, таҳшиншавии бо ёрии ғаразнок, қабатҳои гузариши Cr ё металлӣ ва қабатҳои байниқабатӣ ба беҳтар шудани мустаҳкамии пайванд байни рӯйпӯш ва субстрати карбид мусоидат мекунанд. Баъзе равандҳои рӯйпӯшкунии филтршудаи ta-C метавонанд дар ҳарорати аз 100 °C пасттар таҳшин карда шаванд, ки ба нигоҳ доштани геометрияи пармаҳои карбидии хурд мусоидат мекунад.
Талаботи чорум сахтии баланд дар якҷоягӣ бо соиши паст аст. Дар пармакунии PCB, рӯйпӯш бояд ба фарсудашавии абразивӣ аз нахи шишагӣ, мис, қатрон ва пуркунандаҳои сафолӣ муқовимат кунад ва дар айни замон гармии соиш ва часпиши қатронро кам кунад. Плёнкае, ки танҳо сахт, вале ноҳамвор аст, метавонад муқовимати буришро афзоиш диҳад ва бандшавии чипҳоро суръат бахшад. Плёнкае, ки ҳамвор аст, аммо қобилияти борбардорӣ надорад, метавонад ҳангоми пармакунии суръати баланд зуд вайрон шавад. Аз ин рӯ, таҷҳизот бояд қодир бошад, ки рӯйпӯшҳоро бо микросохтори зич, миқдори баланди sp³ барои системаҳои ta-C ё DLC, коэффитсиенти пасти соиш ва муқовимати аълои фарсудашавӣ истеҳсол кунад. Таҳқиқот дар бораи плёнкаҳои алмосӣ барои пармакунии PCB нишон доданд, ки сохторҳои пешрафтаи алмосии бисёрқабата метавонанд мӯҳлати парма ва сифати сӯрохиро ҳангоми коркарди маводҳои абразивии PCB, ки пуркунандаҳои сафолии алюминий доранд, беҳтар кунанд.
Талаботи панҷум такроршавандагии аълои рӯйпӯшкунӣ барои истеҳсоли оммавӣ мебошад. Пармаҳои хурди PCB одатан дар партияҳои калон рӯйпӯш карда мешаванд ва ҳар як парма бояд ғафсии плёнка, ранг, сахтӣ, часпидан ва кори трибологии доимиро нигоҳ дорад. Ҳар гуна тафовут дар мавқеи асбоб, зичии плазма, ҳолати эрозияи ҳадаф, тақсимоти ҷараёни газ ё шиддати таассуб метавонад боиси тағирёбии кор байни пармаҳо гардад. Аз ин рӯ, системаҳои рӯйпӯшкунӣ барои пармаҳои хурди PCB бояд дорои кори устувори насоскунии вакуумӣ, назорати дақиқи ҷараёни масса, тақсимоти якхелаи плазма, асбобҳои боэътимоди гардиш/гардиш ва назорати такроршавандаи дорухат бошанд. Барои истеҳсолкунандагони асбобҳо, арзиши воқеии таҷҳизоти рӯйпӯшкунӣ на танҳо ба даст овардани натиҷаи хуби намуна, балки нигоҳ доштани кори устувор дар партияҳои истеҳсолии пайваста мебошад.
Талаботи шашум тарҳрезии махсуси асбобҳо ва боркунӣ барои асбобҳои хурди дақиқ мебошад. Дар муқоиса бо қолабҳои калон ё асбобҳои стандартии буриш, микропармаҳои PCB хеле хурдтар, нозуктар ва ба дақиқии фишурдан ҳассостаранд. Асбоб бояд қобилияти баланди боркуниро таъмин кунад ва дар айни замон аз таъсири муҳофизатӣ, рӯйпӯшкунии нобаробар ва осеби механикӣ пешгирӣ кунад. Барои ба даст овардани рӯйпӯшкунии якхела дар нӯги парма ва майдони флейта гардиши бисёрмеҳвар, тартиби боркунии зич, ҷойгиркунии дақиқи асбобҳо ва таъсири оптималии плазма зарур аст. Барои истеҳсолкунандагоне, ки ба иқтидори баланди гузаронандагӣ машғуланд, таҷҳизоти рӯйпӯшкунӣ бояд иқтидори партияро бо якхелагии плёнка мувозинат кунад, на танҳо миқдори боркуниро зиёд кунад.
Илова бар ин, таҷҳизоти пӯшонидани микропармакунии PCB бояд ҳамгироии бисёрҷараёнро дастгирӣ кунад. Системаи пӯшонидани рақобатпазир набояд ба як намуди плёнка маҳдуд шавад. Он бояд қодир бошад, ки тозакунии ионҳо, ҷойгиркунии қабати гузариш, ҷойгиркунии пӯшиши сахт, ҷойгиркунии пӯшиши карбон ва тарҳрезии рӯйпӯши бисёрқабата ё композитиро дастгирӣ кунад. Масалан, ta-C, DLC, AlTiN, AlCrN, TiAlSiN, CrN ва рӯйпӯшҳои сахти гибридӣ метавонанд мувофиқи маводҳои гуногуни PCB, суръати пармакунӣ, диаметри сӯрох ва талаботи муштариён интихоб карда шаванд. Чандирии таҷҳизот мустақиман муайян мекунад, ки оё таъминкунандаи рӯйпӯш метавонад ба тағйирёбии маводҳои PCB ва шароити пармакунӣ вокуниш нишон диҳад.
Аз нуқтаи назари истеҳсоли PCB, ҳадафи ниҳоии пӯшонидани микропарма кам кардани хароҷот барои як сӯрох, дароз кардани мӯҳлати хизмати асбобҳо, беҳтар кардани сифати девори сӯрох, кам кардани сӯрохҳо ва нуқсонҳои сарпӯши мех ва устувор кардани кори пармакунӣ мебошад. Азбаски тахтаҳои PCB мураккабтар мешаванд ва коркарди маводҳо душвортар мешавад, таҷҳизоти пӯшондан бояд аз системаҳои анъанавии пӯшонидани сахт ба платформаҳои муҳандисии сатҳи баландсифат, камзарраҳо, пастҳарорат ва хеле такроршаванда табдил ёбанд.
Дар оянда, рақобатпазирии пӯшиши микропармавии PCB на танҳо аз сахтии пӯшиш вобаста хоҳад буд. Он аз имконоти ҳамаҷонибаи таҷҳизоти пӯшиши вакуумӣ вобаста хоҳад буд: назорати плазма, филтратсияи зарраҳо, устувории ҳарорат, муҳандисии часпидан, тарҳрезии асбобҳо, такрорпазирии раванд ва эътимоднокии истеҳсоли оммавӣ. Барои истеҳсолкунандагони таҷҳизоти пӯшиши вакуумӣ, ин ҳам як мушкили техникӣ ва ҳам як имконияти бозор аст. Ҳар касе, ки метавонад барои микропармаҳои PCB роҳҳои ҳалли пӯшиши устувор, баландсифат ва ба барнома нигаронидашуда пешниҳод кунад, мавқеи қавитарро дар насли ояндаи истеҳсоли PCB-и баландсифат ба даст меорад.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи таҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣЧангкашаки Zhenhua
Вақти нашр: 06-майи соли 2026