பிசிபி உற்பத்தி அதிக அடர்த்தி, நுட்பமான வரி இடைவெளி, அதிக அடுக்கு எண்ணிக்கை மற்றும் கடுமையான துளை-தரத் தரநிலைகளை நோக்கி நகர்வதால், உற்பத்தி அளவு, பரிமாணத் துல்லியம் மற்றும் உற்பத்திச் செலவு ஆகியவற்றைப் பாதிக்கும் மிக முக்கியமான செயல்முறைகளில் ஒன்றாக நுண்-துளையிடல் மாறியுள்ளது. அதிவேக பிசிபி துளையிடலில், கூர்மையான வெட்டும் விளிம்புகள், நிலையான சில்லு வெளியேற்றம் மற்றும் சீரான துளைச் சுவர் தரம் ஆகியவற்றைத் தக்கவைத்துக் கொண்டே, செப்புத் தகடு, கண்ணாடியிழை, ரெசின் அமைப்புகள் மற்றும் அதிக உராய்வுத்தன்மை கொண்ட நிரப்புப் பொருட்களை வெட்டுவதற்கு நுண்-துளையிடும் கருவிகள் தேவைப்படுகின்றன. அதிக அடர்த்தி கொண்ட பிசிபி உருவாக்கத்தில், துளையிடும் வேகம் மற்றும் அடுக்கு எண்ணிக்கை தொடர்ந்து அதிகரிக்கும்போது, ரெசின் ஒட்டுதல், விரைவான விளிம்புத் தேய்மானம், துளை உருக்குலைவு மற்றும் அடிக்கடி கருவியை மாற்றுதல் ஆகியவற்றுடன் துளையிடும் கருவியின் செயலிழப்பு நெருக்கமாக இணைக்கப்பட்டுள்ளது என்று தொழில்துறை அறிக்கைகள் குறிப்பிட்டுள்ளன.
இந்தக் காரணத்திற்காக,PCB மைக்ரோ-டிரில் பூச்சுஇது இனி ஒரு எளிய “தேய்மான-எதிர்ப்புப் பூச்சு” செயல்முறை அல்ல. இது, வெற்றிடப் பூச்சுக் கருவிகளிடமிருந்து மிக உயர்ந்த செயல்திறனைக் கோரும் ஒரு துல்லியமான மேற்பரப்புப் பொறியியல் தீர்வாக மாறி வருகிறது. இந்தப் பூச்சானது கடினத்தன்மையை மேம்படுத்த வேண்டும், உராய்வைக் குறைக்க வேண்டும், பிசின் ஒட்டுதலைத் தடுக்க வேண்டும், விளிம்புத் தக்கவைப்பை அதிகரிக்க வேண்டும், மேலும் நுண்-அளவு கார்பைடு துரப்பணங்களின் அசல் வடிவவியலைப் பராமரிக்க வேண்டும். இது, படல அமைப்பு கட்டுப்பாடு, பிளாஸ்மா நிலைத்தன்மை, துகள் அடக்கம், வெப்பநிலை மேலாண்மை மற்றும் தொகுதி நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றின் மீது புதிய தேவைகளை விதிக்கிறது.
முதல் தேவை, மிக மெல்லிய மற்றும் மிகவும் சீரான பூச்சுக் கட்டுப்பாடாகும். PCB நுண்துளைப்பான்கள் மிகச் சிறிய விட்டங்கள், கூர்மையான வெட்டு விளிம்புகள் மற்றும் சிக்கலான பள்ள வடிவவியல்களைக் கொண்டுள்ளன. அதிகப்படியான பூச்சுத் தடிமன் வெட்டு விளிம்பை வட்டமாக்கலாம், சில்லு அகற்றுதலைப் பாதிக்கலாம் அல்லது வடிவமைக்கப்பட்ட வெட்டு இடைவெளியை மாற்றலாம். எனவே, பூச்சு உபகரணமானது, வெட்டு விளிம்பு, பள்ள மேற்பரப்பு மற்றும் துரப்பண முனை ஆகியவற்றில் நல்ல பூச்சுப் பரவலை உறுதிசெய்யும் அதே வேளையில், மைக்ரான் அல்லது துணை-மைக்ரான் அளவில் கூட அடர்த்தியான, தொடர்ச்சியான மற்றும் சீரான படலங்களைப் படியவைக்கும் திறன் கொண்டதாக இருக்க வேண்டும். ta-C, DLC, AlTiN, AlCrN, TiAlSiN அல்லது பல அடுக்கு கடினப் பூச்சுகள் போன்ற பூச்சுகளுக்கு, கடினத்தன்மை, ஒட்டுதல் மற்றும் விளிம்புக் கூர்மை ஆகியவற்றைச் சமநிலைப்படுத்த, உபகரணமானது படிவு விகிதம், அயனி ஆற்றல் மற்றும் படலத் தடிமன் ஆகியவற்றைத் துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்த வேண்டும்.
இரண்டாவது தேவை, குறைந்த துகள் படிவுத் திறன் ஆகும். பாரம்பரிய கேத்தோடிக் ஆர்க் படிவு முறையானது அதிக அயனியாக்க விகிதத்தையும் வலுவான படல ஒட்டுதலையும் வழங்குகிறது, ஆனால் பெரிய துகள்கள் நுண் கருவிகளுக்கு ஒரு முக்கியமான குறைபாட்டு மூலமாக மாறக்கூடும். PCB நுண் துளைப்பான்களைப் பொறுத்தவரை, வெட்டும் முனையில் உள்ள சிறிய துகள்கள் கூட உள்ளூர் அழுத்தக் குவிப்பு, நிலையற்ற துளையிடல், துளைச் சுவரில் கீறல்கள் அல்லது முன்கூட்டியே பூச்சுத் தோல்வி போன்றவற்றை ஏற்படுத்தக்கூடும். இதனால்தான் காந்த வடிகட்டப்பட்ட ஆர்க் தொழில்நுட்பம், வடிகட்டப்பட்ட கேத்தோடிக் வெற்றிட ஆர்க் அமைப்புகள் மற்றும் மேம்படுத்தப்பட்ட பிளாஸ்மா வடிகட்டுதல் கட்டமைப்புகள் பெருகிய முறையில் முக்கியத்துவம் பெறுகின்றன. காந்த வடிகட்டலானது பெரிய துகள்களைக் குறைத்து, பூச்சின் மென்மையை மேம்படுத்தும். இது நுண் துளைப்பான்களில் பயன்படுத்தப்படும் DLC மற்றும் ta-C மீக்கடினப் பூச்சுகளுக்கு மிகவும் மதிப்புமிக்கதாகும்.
மூன்றாவது தேவை, வெப்பச் சேதம் இல்லாமல் வலுவான ஒட்டுதல் ஆகும். PCB நுண்துளைப்பான்கள் பொதுவாக சிமென்டட் கார்பைடால் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் அவற்றின் வெட்டும் செயல்திறன், துல்லியமாக அரைக்கப்பட்ட விளிம்பு வடிவவியலைப் பெரிதும் சார்ந்துள்ளது. பூச்சு வெப்பநிலை மிக அதிகமாக இருந்தால், அடிமூலக்கூறு, பற்றவைக்கப்பட்ட கட்டமைப்பு அல்லது விளிம்புத் துல்லியம் பாதிக்கப்படலாம். எனவே, நவீன நுண்துளைப்பான் பூச்சு உபகரணங்களுக்கு நிலையான குறைந்த வெப்பநிலைப் படிவு, உயர் செயல்திறன் அயனிச் சுத்திகரிப்பு மற்றும் நம்பகமான இடை அடுக்கு வடிவமைப்பு தேவைப்படுகிறது. அயனி மூல அரிப்பு, சார்பு-உதவிப் படிவு, Cr அல்லது உலோக இடைநிலை அடுக்குகள் மற்றும் தரப்படுத்தப்பட்ட இடை அடுக்குகள் போன்ற தொழில்நுட்பங்கள், பூச்சுக்கும் கார்பைடு அடிமூலக்கூறுக்கும் இடையிலான பிணைப்பு வலிமையை மேம்படுத்த உதவுகின்றன. சில வடிகட்டப்பட்ட ta-C பூச்சு செயல்முறைகளை 100 °C-க்குக் கீழே படியவைக்க முடியும், இது நுண்-அளவு கார்பைடு துளைப்பான்களின் வடிவவியலைப் பாதுகாக்க உதவுகிறது.
நான்காவது தேவை, குறைந்த உராய்வுடன் கூடிய அதிக கடினத்தன்மை ஆகும். PCB துளையிடுதலில், பூச்சானது கண்ணாடியிழை, தாமிரம், ரெசின் மற்றும் செராமிக் நிரப்பிகளால் ஏற்படும் சிராய்ப்புத் தேய்மானத்தை எதிர்க்க வேண்டும், அதே நேரத்தில் உராய்வு வெப்பம் மற்றும் ரெசின் ஒட்டுதலையும் குறைக்க வேண்டும். கடினமாக மட்டும் இருந்து, சொரசொரப்பாக இருக்கும் ஒரு படலம், வெட்டு எதிர்ப்பை அதிகரித்து, சில்லு அடைப்பை விரைவுபடுத்தக்கூடும். வழுவழுப்பாக இருந்து, ஆனால் சுமை தாங்கும் திறன் இல்லாத ஒரு படலம், அதிவேகத் துளையிடுதலின் கீழ் விரைவாகச் செயலிழக்கக்கூடும். எனவே, உபகரணமானது அடர்த்தியான நுண் கட்டமைப்பு, ta-C அல்லது DLC அமைப்புகளுக்கான உயர் sp³ உள்ளடக்கம், குறைந்த உராய்வுக் குணகம் மற்றும் சிறந்த தேய்மான எதிர்ப்புத்திறன் கொண்ட பூச்சுகளை உருவாக்கும் திறன் கொண்டதாக இருக்க வேண்டும். PCB துரப்பணங்களுக்கான வைரப் படலங்கள் மீதான ஆராய்ச்சி, அலுமினா செராமிக் நிரப்பிகளைக் கொண்ட சிராய்ப்புத் தன்மை வாய்ந்த PCB பொருட்களை இயந்திரமயமாக்கும்போது, மேம்பட்ட பல அடுக்கு வைரக் கட்டமைப்புகள் துரப்பணத்தின் ஆயுளையும் துளையின் தரத்தையும் மேம்படுத்த முடியும் என்பதைக் காட்டியுள்ளது.
ஐந்தாவது தேவை, பெருமளவு உற்பத்திக்கான சிறந்த பூச்சு மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மையாகும். PCB மைக்ரோ-டிரில்கள் பொதுவாகப் பெரிய தொகுதிகளாகப் பூசப்படுகின்றன, மேலும் ஒவ்வொரு டிரில்லும் சீரான பூச்சுத் தடிமன், நிறம், கடினத்தன்மை, ஒட்டுதல் மற்றும் உராய்வியல் செயல்திறனைப் பராமரிக்க வேண்டும். பொருத்தும் கருவியின் நிலை, பிளாஸ்மா அடர்த்தி, இலக்கு அரிப்பு நிலை, வாயு ஓட்டப் பரவல் அல்லது சார்பு மின்னழுத்தம் ஆகியவற்றில் ஏற்படும் எந்தவொரு வேறுபாடும் டிரில்களுக்கு இடையே செயல்திறன் மாறுபாட்டிற்கு வழிவகுக்கும். எனவே, PCB மைக்ரோ-டிரில்களுக்கான பூச்சு அமைப்புகள் நிலையான வெற்றிட உந்திச் செயல்திறன், துல்லியமான நிறை ஓட்டக் கட்டுப்பாடு, சீரான பிளாஸ்மா பரவல், நம்பகமான சுழற்சி/சுற்றும் பொருத்தும் கருவிகள் மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய செய்முறைக் கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். கருவி உற்பத்தியாளர்களுக்கு, பூச்சு உபகரணங்களின் உண்மையான மதிப்பு என்பது ஒரு நல்ல மாதிரி முடிவை அடைவது மட்டுமல்ல, தொடர்ச்சியான உற்பத்தித் தொகுதிகள் முழுவதும் நிலையான செயல்திறனைப் பராமரிப்பதும் ஆகும்.
ஆறாவது தேவை என்பது சிறிய துல்லியக் கருவிகளுக்கான பிரத்யேகமான பொருத்துதல் மற்றும் சுமையேற்றும் வடிவமைப்பு ஆகும். பெரிய அச்சுகள் அல்லது வழக்கமான வெட்டுக் கருவிகளுடன் ஒப்பிடும்போது, PCB நுண்துளைப்பான்கள் மிகவும் சிறியவை, எளிதில் உடையக்கூடியவை மற்றும் இறுக்கும் துல்லியத்திற்கு அதிக உணர்திறன் கொண்டவை. பொருத்துதல், தடுப்பு விளைவுகள், சீரற்ற பூச்சு மற்றும் இயந்திர சேதத்தைத் தவிர்த்து, அதிக சுமையேற்றும் திறனை உறுதி செய்ய வேண்டும். துரப்பண முனை மற்றும் பள்ளப் பகுதியில் சீரான பூச்சைப் பெறுவதற்கு, பல-அச்சு சுழற்சி, அடர்த்தியான சுமையேற்றும் அமைப்பு, துல்லியமான கருவி நிலைப்படுத்தல் மற்றும் உகந்த பிளாஸ்மா வெளிப்பாடு ஆகியவை அவசியமானவை. அதிக உற்பத்தித் திறனை நாடும் உற்பத்தியாளர்களுக்கு, பூச்சு உபகரணமானது வெறுமனே சுமையேற்றும் அளவை அதிகரிப்பதற்குப் பதிலாக, தொகுதித் திறனையும் பூச்சுச் சீரான தன்மையையும் சமநிலைப்படுத்த வேண்டும்.
மேலும், PCB நுண்துளை பூச்சு உபகரணங்கள் பல-செயல்முறை ஒருங்கிணைப்பை ஆதரிக்க வேண்டும். ஒரு போட்டித்தன்மை வாய்ந்த பூச்சு அமைப்பு ஒரே ஒரு படல வகைக்கு மட்டும் கட்டுப்பட்டிருக்கக் கூடாது. அது அயனி சுத்திகரிப்பு, இடைநிலை அடுக்கு படிதல், கடினப் பூச்சு படிதல், கார்பன் அடிப்படையிலான பூச்சு படிதல் மற்றும் பல அடுக்கு அல்லது கலவைப் பூச்சு வடிவமைப்பு ஆகியவற்றை ஆதரிக்கக் கூடியதாக இருக்க வேண்டும். உதாரணமாக, வெவ்வேறு PCB பொருட்கள், துளையிடும் வேகங்கள், துளை விட்டங்கள் மற்றும் வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப ta-C, DLC, AlTiN, AlCrN, TiAlSiN, CrN மற்றும் கலப்பின கடினப் பூச்சுகளைத் தேர்ந்தெடுக்கலாம். உபகரணத்தின் நெகிழ்வுத்தன்மை, மாறிவரும் PCB பொருட்கள் மற்றும் துளையிடும் நிலைமைகளுக்கு ஏற்ப ஒரு பூச்சு வழங்குநரால் செயல்பட முடியுமா என்பதை நேரடியாகத் தீர்மானிக்கிறது.
PCB உற்பத்தியின் கண்ணோட்டத்தில், மைக்ரோ-டிரில் பூச்சின் இறுதி நோக்கம், ஒரு துளைக்கான செலவைக் குறைப்பது, கருவியின் ஆயுளை நீட்டிப்பது, துளைச் சுவரின் தரத்தை மேம்படுத்துவது, பிசிறுகள் மற்றும் ஆணி-தலை குறைபாடுகளைக் குறைப்பது, மற்றும் துளையிடும் செயல்திறனை நிலைப்படுத்துவது ஆகும். PCB பலகைகள் மேலும் சிக்கலானதாக மாறுவதாலும், மூலப்பொருட்களை இயந்திர வேலைப்பாடு செய்வது கடினமாகி வருவதாலும், பூச்சுக் கருவிகள் வழக்கமான கடினப் பூச்சு அமைப்புகளிலிருந்து, உயர்-துல்லியமான, குறைந்த-துகள், குறைந்த-வெப்பநிலை மற்றும் அதிக மீள்செயல்திறன் கொண்ட மேற்பரப்புப் பொறியியல் தளங்களாகப் பரிணமிக்க வேண்டும்.
எதிர்காலத்தில், PCB நுண்துளைப் பூச்சின் போட்டித்திறன், பூச்சின் கடினத்தன்மையை மட்டும் சார்ந்திருக்காது. அது வெற்றிடப் பூச்சு உபகரணத்தின் விரிவான திறனைச் சார்ந்திருக்கும்: பிளாஸ்மா கட்டுப்பாடு, துகள் வடிகட்டுதல், வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை, ஒட்டுதல் பொறியியல், பொருத்துதல் வடிவமைப்பு, செயல்முறை மீண்டும் மீண்டும் நிகழ்தன்மை மற்றும் பெருமளவு உற்பத்தி நம்பகத்தன்மை. வெற்றிடப் பூச்சு உபகரண உற்பத்தியாளர்களுக்கு, இது ஒரு தொழில்நுட்பச் சவாலாகவும் சந்தை வாய்ப்பாகவும் உள்ளது. PCB நுண்துளைகளுக்கு நிலையான, உயர் செயல்திறன் கொண்ட மற்றும் பயன்பாட்டை மையமாகக் கொண்ட பூச்சுத் தீர்வுகளை யார் வழங்குகிறார்களோ, அவர்கள் அடுத்த தலைமுறை உயர்தர PCB உற்பத்தியில் ஒரு வலுவான நிலையைப் பெறுவார்கள்.
-இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு உபகரண உற்பத்தியாளர்ஜென்ஹுவா வெற்றிடம்
பதிவிட்ட நேரம்: மே-06-2026