Kaayaan pikeun palapis ion katoda kerung

Kaayaan di handap ieu diperlukeun pikeun ngahurungkeun lampu busur katoda kerung:

1. A gun katoda kerung dijieunna tina tube tantalum dipasang dina témbok chamber palapis sarta bisa dipaké pikeun emit aliran éléktron panas. Diaméter jero tabung datar nyaéta φ 6 ~ φ 15mm, kalayan ketebalan témbok 0.8-2mm.

1. Catu daya diwangun ku catu daya arc ngamimitian sareng arc ngajaga catu daya paralel. Tegangan arc ngahalangan catu daya nyaéta 800-1000V, jeung arc ngahalangan ayeuna 30-50A; Tegangan arc nyaéta 40-70V, sareng arus busur nyaéta 80-300A.

Prosés ngurangan busur katoda kerung nuturkeun prosés ngarobah tina ngurangan glow abnormal kana ngurangan busur dina "kurva karakteristik volt ampere". Anu mimiti, catu daya diperyogikeun pikeun nyayogikeun tegangan awal 800V pikeun ngahasilkeun pelepasan cahaya dina tabung tantalum. Ion argon dénsitas luhur di jero tabung tantalum ngabombardir sareng panas tabung ka suhu dimana éléktron panas dipancarkeun, nyababkeun aliran éléktron plasma anu ageung sareng paningkatan ngadadak dina arus busur katoda kerung. Saterusna, catu daya arus tinggi ogé diperlukeun pikeun ngajaga ngurangan arc. Prosés ngarobah tina glow discharge ka arc discharge otomatis, jadi perlu pikeun ngonpigurasikeun catu daya nu bisa kaluaran duanana tegangan tinggi na arus tinggi.

Lamun dua sarat ieu ngumpul dina sumber kakuatan tunggal, tungtung kaluaran sekundér tina trafo kakuatan kudu tatu jeung kawat pisan kandel pikeun loba robah warna ka warna dina urutan kaluaran tegangan tinggi na arus tinggi, nu bakal jadi sumber kakuatan volume badag. Sanggeus taun perbaikan, kasebut nyaéta dimungkinkeun pikeun parallelize a arc leutik dimimitian catu daya jeung catu daya arc pangropéa. The arc dimimitian catu daya ngagunakeun kawat ipis angin sababaraha robah warna ka warna, nu bisa kaluaran tegangan luhur 800V mun ngahurungkeun tabung tantalum sarta ngahasilkeun ngurangan glow; Catu daya busur tiasa kaluaran puluhan volt sareng ratusan ampere arus ku cara ngagulung kawat kandel kalayan sakedik péngkolan pikeun ngajaga stabilitas pelepasan busur katoda kerung. Alatan sambungan paralel dua catu daya dina tabung tantalum, salila prosés ngarobah tina ngurangan glow abnormal mun arc ngurangan, dua catu daya otomatis bakal nyambung jeung pindah ti tegangan tinggi na low ayeuna kana tegangan lemah sareng arus tinggi.

1. Saluyukeun tingkat vakum gancang. Tingkat vakum pikeun ngurangan glow dina tabung tantalum nyaeta sabudeureun 100Pa, sarta struktur pilem disimpen dina kaayaan vakum low misalna téh inevitably kasar. Ku alatan éta, sanggeus igniting nu ngurangan arc, perlu geuwat ngurangan jumlah aliran hawa tur gancang ngaluyukeun tingkat vakum ka 8 × 10-1 ~ 2Pa pikeun ménta struktur pilem awal rupa.

1. Turntable workpiece dipasang di sabudeureun chamber palapis, jeung workpiece disambungkeun ka kutub négatip tina catu daya bias jeung chamber vakum disambungkeun ka kutub positif. Kusabab dénsitas arus tinggi tina busur katoda kerung, tegangan bias tina workpiece coated ion henteu kedah ngahontal 1000V, biasana 50-200V.

5. Nyetél coil éléktromagnétik fokus sabudeureun Gan runtuhna, sarta médan éléktromagnétik dihasilkeun ku nerapkeun arus ka coil nu bisa museurkeun beam éléktron di puseur ingot logam, ngaronjatkeun dénsitas kakuatan aliran éléktron.