Добродошли у Гуангдонг Зенхуа Тецхнологи Цо., Лтд.
један_банер

Услови за јонско премазивање шупље катоде

Извор чланка: Женхуа усисивач
Прочитано: 10
Објављено: 23.07.2020.

За паљење лучне лампе са шупљом катодом потребни су следећи услови:

 微信图片_20230720164214

  1. Шупљи катодни топ направљен од танталумске цеви је постављен на зид коморе за премазивање и може се користити за емитовање врућег електронског тока. Унутрашњи пречник равне цеви је φ 6~ φ 15 мм, са дебљином зида од 0,8-2 мм.

  1. Напајање се састоји од напајања за паљење лука и напајања за одржавање лука, паралелно повезаних. Напон напајања за паљење лука је 800-1000V, а струја паљења лука је 30-50A; Напон лука је 40-70V, а струја лука је 80-300A.

Процес лучног пражњења шупље катоде прати процес претварања из абнормалног жарног пражњења у лучно пражњење у „волт-амперској карактеристичној кривој“. Прво, потребно је напајање које обезбеђује почетни напон од 800 V за генерисање жарног пражњења у танталној цеви. Јони аргона високе густине унутар танталне цеви бомбардују и загревају цев до температуре где се емитују врући електрони, што резултира великом количином протока плазма електрона и наглим повећањем струје шупљег катодног лука. Затим, потребно је и напајање велике струје да би се одржало лучно пражњење. Процес претварања из жарног пражњења у лучно пражњење је аутоматски, тако да је потребно конфигурисати напајање које може да емитује и висок напон и велику струју.

Ако су ова два захтева концентрисана на један извор напајања, секундарни излазни крај трансформатора снаге мора бити намотан веома дебелим жицама за много намотаја како би се произвео високи напон и велика струја, што ће бити извор напајања велике запремине. Након година усавршавања, могуће је паралелно повезати мали извор напајања за паљење лука са извором напајања за одржавање лука. Напајање за паљење лука користи танке жице за намотавање више намотаја, што може да произведе високи напон од 800 V за паљење танталових цеви и генерисање жарног пражњења; Напајање лука може да произведе десетине волти и стотине ампера струје намотавањем дебеле жице са мање намотаја како би се одржала стабилност лучног пражњења шупље катоде. Због паралелног повезивања два извора напајања на танталовим цевима, током процеса претварања из абнормалног жарног пражњења у лучно пражњење, два извора напајања ће се аутоматски повезати и пребацити са високог напона и мале струје на низак напон и велику струју.

  1. Брзо подесите ниво вакуума. Ниво вакуума за жарно пражњење у танталским цевима је око 100 Па, а структура наталоженог филма под тако ниским условима вакуума је неизбежно груба. Стога је, након паљења лучног пражњења, потребно одмах смањити количину протока ваздуха и брзо подесити ниво вакуума на 8×10⁻¹~² Па да би се добила фина почетна структура филма.

  1. Обртни сто за обраду предмета је постављен око коморе за премазивање, при чему је предмет повезан са негативним полом напајања преднапона, а вакуумска комора са позитивним полом. Због велике густине струје шупљег катодног лука, напон преднапона предмета са јонским премазом не мора да достигне 1000 V, обично 50-200 V.

5. Поставите фокусирајући електромагнетни калем око Гановог колапса, а електромагнетно поље генерисано применом струје на калем може фокусирати електронски сноп у центар металног ингота, повећавајући густину снаге електронског тока.


Време објаве: 20. јул 2023.