Sayniska agabka iyo injineernimada, goobta dahaarka filimada khafiifka ah ayaa door muhiim ah ka ciyaara warshadaha u dhexeeya elektiroonigga ilaa wax soo saarka horumarsan. Tignoolajiyada kala duwan ee la heli karo waxaa ka mid ah, daadinta uumiga jirka (PVD) ayaa u soo baxay qaab cusub oo hufan oo lagu kaydiyo aflaanta khafiifka ah ee substrates. Maqaalkani waxa uu si qoto dheer u dhex mari doonaa aduunka PVD sputtering, ka doodista codsiyadeeda, faa'iidooyinka iyo horumarradii ugu dambeeyay. PVD sputtering, oo sidoo kale loo yaqaan sputtering magnetron, waa farsamo si weyn loogu isticmaalo warshadaha semiconductor in lagu shubo aflaanta khafiif ah maraqa. Waxay ku lug leedahay isticmaalka balasmaha si looga saaro atamka walxaha bartilmaameedka ah, kaas oo markaa lagu dhejiyo substrate, samaynta filim khafiif ah.
Nidaamku wuxuu bixiyaa faa'iidooyin badan, sida xakamaynta saxda ah ee dhumucda filimka, adhesion aad u fiican, iyo awoodda lagu kaydiyo agabyo kala duwan oo ay ku jiraan biraha, oxides, iyo nitrides. Codsiyada PVD sputtering waa ballaaran oo kala duwan. Warshadaha elektiroonigga ah, waxaa caadi ahaan loo isticmaalaa in lagu shubo agabka sida aluminium iyo naxaasta, taasoo awood u siinaysa soo saarista qaybo yaryar iyo wareegyo isku dhafan. Intaa waxaa dheer, sputtering PVD waxaa si ballaaran loo isticmaalaa in warshadaha daahan indhaha, sida daahan ka-hortagga ah ee muraayadaha iyo muraayadaha si kor loogu qaado waxqabadka gudbinta iftiinka. Horumarkii ugu dambeeyay ee tignoolajiyada wax-soo-saarka PVD ayaa ka dhigaysa mid aad iyo aad caan u ah. Horumarka la xusi karo waa soo bandhigida xafaayada falcelinta, kaas oo kaydin kara filimyo khafiif ah oo iskudhisyo leh oo la xoojiyay. Soo saarista gaasaska falceliska ah ee qolka faakuumka inta lagu jiro meel dhigista, soosaarayaashu waxay xakameyn karaan halabuurka iyo stoichiometry ee filimada la xareeyay, iyagoo siinaya waxqabadka iyo shaqeynta la hagaajiyay.
Intaa waxaa dheer, hal-abuurnimada bartilmaameedku waxay balaadhisay awoodda wax-soo-saarka PVD. Tusaale ahaan, isticmaalka bartilmaameedyo isku dhafan oo ka kooban walxo badan ayaa kaydin kara filimo khafiif ah oo aad u khaas ah oo leh sifooyin gaar ah. Tani waxay albaabka u furaysaa horumarinta qalab cusub oo loogu talagalay qalabka elektaroonigga ah ee horumarsan, kaydinta tamarta iyo qalabka biomedical. Marka la soo koobo, sputtering PVD waa farsamo daahan filim khafiif ah oo xoog leh oo leh codsiyo kala duwan iyo horumarradii ugu dambeeyay. Iyada oo si sax ah loo koontaroolay meel dhigista aflaanta khafiifka ah iyo la jaanqaadida agabyo kala duwan, waxay noqotay halbowle u ah warshadaha sida elektiroonigga iyo indhaha. Cilmi-baarista joogtada ah iyo hal-abuurnimada berrinka PVD sputtering ayaa la filayaa inay sii kordhiso awoodeeda, awood u yeelashada abuurista agab cusub iyo riixitaanka xuduudaha horumarinta tignoolajiyada.
–Maqaalkan waxa soo saaraysoo saaraha mashiinka daahan vacuumZhenhua Vacuum.
Waqtiga boostada: Meey-27-2025