I mea fa'asaienisi ma fa'ainisinia, o le fanua o fa'alava ata manifinifi o lo'o faia se sao taua i alamanuia e amata mai i mea fa'aeletonika e o'o atu i le gaosiga o gaosiga. Faatasi ai ma tekinolosi eseese o loʻo maua, o le faʻaogaina o le ausa o le tino (PVD) ua faʻaalia o se auala fou ma lelei mo le teuina o ata manifinifi i luga o substrates. O lenei tusiga o le a suʻesuʻe i le lalolagi o le PVD sputtering, faʻatalanoaina ana talosaga, faʻamanuiaga ma atinaʻe lata mai. PVD sputtering, e lauiloa foi o le magnetron sputtering, o se auala e masani ona faʻaaogaina i le semiconductor alamanuia e teu ai ata manifinifi i luga o wafers. E aofia ai le faʻaaogaina o le plasma e aveese ai atoms mai se mea faʻatatau, ona teuina lea i luga o se mea faʻapipiʻi, e fai ai se ata manifinifi.
O le faagasologa e ofoina atu le tele o mea lelei, e pei o le pulea saʻo o le mafiafia ata, faʻapipiʻi lelei, ma le mafai ona teuina ni mea eseese e aofia ai metals, oxides, ma nitride. O faʻaoga o le PVD sputtering e lautele ma eseese. I totonu o le eletise, e masani ona faʻaaogaina e teu ai mea faʻataʻitaʻi e pei o le alumini ma le kopa, e mafai ai ona gaosia ni vaega laiti ma fesoʻotaʻiga tuʻufaʻatasia. E le gata i lea, o le PVD sputtering o loʻo faʻaaogaina lautele i totonu o le fale faʻapipiʻi faʻapipiʻi, e pei o faʻamaʻi faʻafefe i luga o tioata ma faʻata e faʻaleleia ai le faʻaogaina o le malamalama. O le alualu i luma lata mai i le PVD sputtering tekinolosi ua atili ai ona lauiloa. O se atina'e mata'ina o le fa'aofiina lea o le sputtering fa'afoliga, lea e mafai ona teu ai ata manifinifi o fa'aputuga ma mea fa'aleleia atili. E ala i le fa'aofiina o kasa fa'afoliga i totonu o le potu vacuum i le taimi o le teuina, e mafai e tagata gaosi oloa ona pulea le tu'ufa'atasiga ma le stoichiometry o ata na teuina, fa'aleleia atili le fa'atinoga ma le fa'atinoga.
E le gata i lea, o mea fou faʻatatau ua faʻalauteleina ai le gafatia o le PVD sputtering. Mo se fa'ata'ita'iga, o le fa'aogaina o fa'atatau tu'ufa'atasi e aofia ai mea e tele e mafai ona teu ai ata manifinifi fa'apitoa fa'apitoa ma mea fa'apitoa. O lenei mea e tatalaina ai le faitotoa i le atinaʻeina o mea fou mo mea faʻaeletonika faʻaeletonika, teuina o le malosi ma masini biomedical. I se aotelega, o le PVD sputtering o se faiga faʻapipiʻi ata manifinifi mamana ma le tele o faʻaoga ma faʻalauiloa lata mai. Faatasi ai ma le pulea sa'o i luga o le teuina o ata manifinifi ma le fetaui ma mea eseese, ua avea ma mea autu i alamanuia e pei o mea tau eletise ma optics. O suʻesuʻega faifaipea ma faʻafouga i le matata o le PVD sputtering e faʻamoemoe e faʻaleleia atili ai ona gafatia, mafai ai ona fausia ni mea fou ma tuleia tuaoi o le alualu i luma tekinolosi.
–O lenei tusiga ua tatalaina emasini fa'apipi'i gaogao gaosimeaZhenhua Vacuum.
Taimi meli: Me-27-2025