ද්රව්ය විද්යාව හා ඉංජිනේරු විද්යාවේදී, ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණවල සිට දියුණු නිෂ්පාදන දක්වා කර්මාන්තවල තුනී පටල ආලේපන ක්ෂේත්රය වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. පවතින විවිධ තාක්ෂණයන් අතර, භෞතික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (PVD) ස්පුටරින් කිරීම උපස්ථර මත තුනී පටල තැන්පත් කිරීම සඳහා නව්ය හා කාර්යක්ෂම ක්රමයක් ලෙස මතු වී තිබේ. මෙම ලිපිය PVD ස්පුටරින් ලෝකයට ගැඹුරට ගොස් එහි යෙදුම්, ප්රතිලාභ සහ නවතම වර්ධනයන් සාකච්ඡා කරනු ඇත. මැග්නට්රෝන ස්පුටරින් ලෙසද හැඳින්වෙන PVD ස්පුටරින් යනු අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ වේෆර් මත තුනී පටල තැන්පත් කිරීම සඳහා බහුලව භාවිතා වන තාක්ෂණයකි. ඉලක්කගත ද්රව්යයකින් පරමාණු ඉවත් කිරීම සඳහා ප්ලාස්මා භාවිතා කිරීම ඇතුළත් වන අතර, පසුව එය උපස්ථරයක් මත තැන්පත් කර තුනී පටලයක් සාදයි.
මෙම ක්රියාවලිය මඟින් බොහෝ වාසි ලබා දෙයි, එනම් පටල ඝණකම නිවැරදිව පාලනය කිරීම, විශිෂ්ට ඇලවීම සහ ලෝහ, ඔක්සයිඩ් සහ නයිට්රයිඩ් ඇතුළු විවිධ ද්රව්ය තැන්පත් කිරීමේ හැකියාව. PVD ස්පුටරින් වල යෙදීම් පුළුල් හා විවිධාකාර වේ. ඉලෙක්ට්රොනික කර්මාන්තයේ දී, ඇලුමිනියම් සහ තඹ වැනි සන්නායක ද්රව්ය තැන්පත් කිරීම සඳහා එය බහුලව භාවිතා වන අතර එමඟින් කුඩා සංරචක සහ ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදනය කිරීමට හැකි වේ. ඊට අමතරව, ආලෝක සම්ප්රේෂණ කාර්ය සාධනය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා කාච සහ දර්පණ මත ප්රති-පරාවර්තක ආලේපන වැනි දෘශ්ය ආලේපන කර්මාන්තයේ PVD ස්පුටරින් බහුලව භාවිතා වේ. PVD ස්පුටරින් තාක්ෂණයේ මෑත කාලීන දියුණුව එය වඩ වඩාත් ජනප්රිය කරයි. කැපී පෙනෙන වර්ධනයක් වන්නේ ප්රතික්රියාශීලී ස්පුටරින් හඳුන්වාදීමයි, එමඟින් වැඩිදියුණු කළ ගුණාංග සහිත සංයෝගවල තුනී පටල තැන්පත් කළ හැකිය. තැන්පත් කිරීමේදී රික්ත කුටියට ප්රතික්රියාශීලී වායූන් හඳුන්වා දීමෙන්, නිෂ්පාදකයින්ට තැන්පත් කළ පටලවල සංයුතිය සහ ස්ටොයිකියෝමිතිය පාලනය කළ හැකි අතර, වැඩිදියුණු කළ කාර්ය සාධනය සහ ක්රියාකාරීත්වය සපයයි.
මීට අමතරව, ඉලක්කගත නවෝත්පාදනයන් PVD ස්පුටරින් කිරීමේ හැකියාවන් පුළුල් කර ඇත. නිදසුනක් ලෙස, බහු ද්රව්ය වලින් සමන්විත සංයුක්ත ඉලක්ක භාවිතා කිරීමෙන් අද්විතීය ගුණාංග සහිත ඉතා විශේෂිත තුනී පටල තැන්පත් කළ හැකිය. මෙය උසස් ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ, බලශක්ති ගබඩා කිරීම සහ ජෛව වෛද්ය උපාංග සඳහා නව ද්රව්ය සංවර්ධනය සඳහා දොර විවර කරයි. සාරාංශයක් ලෙස, PVD ස්පුටරින් යනු පුළුල් පරාසයක යෙදුම් සහ මෑත කාලීන දියුණුව සහිත බලවත් තුනී පටල ආලේපන තාක්ෂණයකි. තුනී පටල තැන්පත් කිරීම පිළිබඳ නිවැරදි පාලනය සහ විවිධ ද්රව්ය සමඟ අනුකූලතාවය සමඟ, එය ඉලෙක්ට්රොනික හා දෘෂ්ටි විද්යාව වැනි කර්මාන්තවල ප්රධාන අංගයක් බවට පත්ව ඇත. PVD ස්පුටරින් ක්ෂේත්රයේ සිදුවෙමින් පවතින පර්යේෂණ සහ නවෝත්පාදනයන් එහි හැකියාවන් තවදුරටත් වැඩිදියුණු කරනු ඇතැයි අපේක්ෂා කෙරේ, එමඟින් නව ද්රව්ය නිර්මාණය කිරීමට සහ තාක්ෂණික දියුණුවේ සීමාවන් තල්ලු කිරීමට හැකි වේ.
–මෙම ලිපිය ප්රකාශයට පත් කර ඇත්තේරික්ත ආලේපන යන්ත්ර නිෂ්පාදකයාෂෙන්හුවා රික්තකය.
පළ කිරීමේ කාලය: 2025 මැයි-27