Keadaan untuk salutan ion katod berongga

Keadaan berikut diperlukan untuk menyalakan cahaya arka katod berongga:

1. Pistol katod berongga yang diperbuat daripada tiub tantalum dipasang pada dinding ruang salutan dan boleh digunakan untuk mengeluarkan aliran elektron panas. Diameter dalaman tiub rata ialah φ 6~ φ 15mm, dengan ketebalan dinding 0.8-2mm.

1. Bekalan kuasa terdiri daripada bekalan kuasa permulaan arka dan bekalan kuasa penyengga arka secara selari. Voltan bekalan kuasa mencolok arka ialah 800-1000V, dan arus hentakan arka ialah 30-50A; Voltan arka ialah 40-70V, dan arus arka ialah 80-300A.

Proses nyahcas arka katod berongga mengikuti proses penukaran daripada nyahcas cahaya tidak normal kepada nyahcas arka dalam "lengkung ciri volt ampere". Pertama, bekalan kuasa diperlukan untuk menyediakan voltan permulaan 800V untuk menjana nyahcas cahaya dalam tiub tantalum. Ion argon berketumpatan tinggi di dalam tiub tantalum mengebom dan memanaskan tiub ke suhu di mana elektron panas dipancarkan, mengakibatkan sejumlah besar aliran elektron plasma dan peningkatan mendadak dalam arus arka katod berongga. Kemudian, bekalan kuasa arus tinggi juga diperlukan untuk mengekalkan nyahcas arka. Proses menukar daripada nyahcas cahaya kepada nyahcas arka adalah automatik, jadi ia perlu untuk mengkonfigurasi bekalan kuasa yang boleh mengeluarkan kedua-dua voltan tinggi dan arus tinggi.

Jika kedua-dua keperluan ini tertumpu pada satu sumber kuasa, hujung keluaran sekunder pengubah kuasa mesti dililit dengan wayar yang sangat tebal untuk banyak pusingan untuk mengeluarkan voltan tinggi dan arus tinggi, yang akan menjadi sumber kuasa volum yang besar. Selepas bertahun-tahun penambahbaikan, adalah mungkin untuk menyamakan bekalan kuasa permulaan arka kecil dengan bekalan kuasa arka penyelenggaraan. Bekalan kuasa permulaan arka menggunakan wayar nipis untuk memutar berbilang lilitan, yang boleh mengeluarkan voltan tinggi 800V untuk menyalakan tiub tantalum dan menjana nyahcas cahaya; Bekalan kuasa arka boleh mengeluarkan berpuluh-puluh volt dan beratus-ratus ampere arus dengan menggulung wayar tebal dengan pusingan yang lebih sedikit untuk mengekalkan kestabilan nyahcas arka katod berongga. Disebabkan sambungan selari dua bekalan kuasa pada tiub tantalum, semasa proses menukar daripada nyahcas cahaya yang tidak normal kepada nyahcas arka, kedua-dua bekalan kuasa akan menyambung dan bertukar secara automatik daripada voltan tinggi dan arus rendah kepada voltan rendah dan arus tinggi.

1. Laraskan tahap vakum dengan cepat. Paras vakum untuk nyahcas cahaya dalam tiub tantalum adalah sekitar 100Pa, dan struktur filem yang dimendapkan di bawah keadaan vakum yang rendah itu sudah pasti kasar. Oleh itu, selepas menyalakan nyahcas arka, perlu segera mengurangkan jumlah aliran udara dan dengan cepat melaraskan paras vakum kepada 8×10-1~2Pa untuk mendapatkan struktur filem awal yang halus.

1. Meja putar bahan kerja dipasang di sekeliling ruang salutan, dengan bahan kerja disambungkan ke kutub negatif bekalan kuasa pincang dan ruang vakum disambungkan ke kutub positif. Oleh kerana ketumpatan arus tinggi arka katod berongga, voltan pincang bahan kerja bersalut ion tidak perlu mencapai 1000V, biasanya 50-200V.

5. Tetapkan gegelung elektromagnet pemfokusan di sekeliling keruntuhan Gan, dan medan elektromagnet yang dihasilkan dengan menggunakan arus pada gegelung boleh memfokuskan pancaran elektron di tengah jongkong logam, meningkatkan ketumpatan kuasa aliran elektron.