Материалын шинжлэх ухаан, инженерчлэлийн хувьд нимгэн хальсан бүрхүүлийн салбар нь электроникоос эхлээд дэвшилтэт үйлдвэрлэл хүртэлх салбарт чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Боломжтой янз бүрийн технологиудын дотроос физик уурын хуримтлал (PVD) цацах нь нимгэн хальсыг субстрат дээр байрлуулах шинэлэг бөгөөд үр дүнтэй арга юм. Энэхүү нийтлэл нь PVD цацалтын ертөнцийг судлах бөгөөд түүний хэрэглээ, ашиг тус, хамгийн сүүлийн үеийн бүтээн байгуулалтын талаар ярилцах болно. Магнетрон цацах гэж нэрлэгддэг PVD цацах нь нимгэн хальсыг нимгэн хальсан дээр буулгахад хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд өргөн хэрэглэгддэг арга юм. Энэ нь зорилтот материалаас атомыг арилгахын тулд плазмыг ашиглахад оршино, дараа нь субстрат дээр байрлуулж, нимгэн хальс үүсгэдэг.
Уг процесс нь хальсны зузааныг нарийн хянах, маш сайн наалдамхай чанар, металл, исэл, нитрид зэрэг төрөл бүрийн материалыг хуримтлуулах чадвар зэрэг олон давуу талтай. PVD цацалтын хэрэглээ өргөн бөгөөд олон янз байдаг. Электроникийн үйлдвэрлэлд хөнгөн цагаан, зэс зэрэг дамжуулагч материалыг хуримтлуулахад ашигладаг бөгөөд энэ нь жижиг эд анги, нэгдсэн хэлхээ үйлдвэрлэх боломжийг олгодог. Нэмж дурдахад, PVD цацах нь гэрлийн дамжуулалтыг сайжруулахын тулд линз, толь дээр цацруулагчийн эсрэг бүрэх зэрэг оптик бүрэх үйлдвэрлэлд өргөн хэрэглэгддэг. PVD цацах технологийн сүүлийн үеийн дэвшил нь үүнийг улам бүр түгээмэл болгож байна. Сайжруулсан шинж чанар бүхий нэгдлүүдийн нимгэн хальсыг хуримтлуулах чадвартай реактив цацалтыг нэвтрүүлсэн нь анхаарал татахуйц хөгжил юм. Тунах явцад реактив хийг вакуум камерт оруулснаар үйлдвэрлэгчид хуримтлагдсан хальсны найрлага, стехиометрийг хянаж, гүйцэтгэл, ажиллагааг сайжруулж чадна.
Нэмж дурдахад зорилтот шинэчлэлүүд нь PVD цацах чадварыг өргөжүүлсэн. Жишээлбэл, олон материалаас бүрдсэн нийлмэл зорилтуудыг ашиглах нь өвөрмөц шинж чанартай, нарийн мэргэжлийн нимгэн хальсыг хуримтлуулах боломжтой. Энэ нь дэвшилтэт электроник, эрчим хүч хадгалах, биоанагаах ухааны төхөөрөмжүүдэд зориулсан шинэ материалыг хөгжүүлэх үүд хаалгыг нээж байна. Дүгнэж хэлэхэд, PVD шүрших нь өргөн хүрээний хэрэглээ, сүүлийн үеийн дэвшилттэй нимгэн хальс бүрэх хүчирхэг техник юм. Нимгэн хальсан бүрхүүлийг нарийн хянаж, янз бүрийн материалуудтай нийцдэг тул электроник, оптик гэх мэт салбаруудад гол бүтээгдэхүүн болсон. PVD цацах чиглэлээр үргэлжилсэн судалгаа, шинэчлэлтүүд нь түүний чадавхийг улам сайжруулж, шинэ материал бий болгож, технологийн дэвшлийн хил хязгаарыг давах болно.
-Энэ нийтлэлийг гаргасанвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчЖэнхуа вакуум.
Шуудангийн цаг: 2025-05-27