I. Преглед
Голем планарен оптички уред за обложување е уред за рамномерно нанесување на тенок филм на површината на планарен оптички елемент. Овие филмови често се користат за подобрување на перформансите на оптичките компоненти, како што се рефлексија, трансмисија, антирефлексија, антирефлексија, филтер, огледало и други функции. Опремата главно се користи во оптички, ласерски, дисплеи, комуникации, воздухопловни и други индустрии.
Второ, основниот принцип на оптичкиот слој
Оптичкото премачкување е техника што ги менува оптичките својства на оптички елемент (како што се леќа, филтер, призма, оптичко влакно, дисплеј итн.) со нанесување на еден или повеќе слоеви материјал (обично метал, керамика или оксид) на неговата површина. Овие слоеви на филм можат да бидат рефлективен филм, трансмисивен филм, антирефлективен филм итн. Вообичаени методи на премачкување се физичко таложење со пареа (PVD), хемиско таложење со пареа (CVD), распрскувачко таложење, испарувачко премачкување и така натаму.
Трето, составот на опремата
Големата рамна оптичка опрема за обложување обично ги вклучува следните главни делови:
Комора за премачкување: Ова е основниот дел од процесот на премачкување и обично е вакуумска комора. Обложувањето се врши со контролирање на вакуумот и атмосферата. За да се подобри квалитетот на облогата и да се контролира дебелината на филмот, потребно е прецизно да се контролира околината на комората за обложување.
Извор на испарување или извор на распрскување:
Извор на испарување: Материјалот што треба да се депонира се загрева до испарена состојба, обично со испарување со електронски сноп или термичко испарување, а потоа се депонира на оптичкиот елемент во вакуум.
Извор на распрскување: Со удар врз целта со јони со висока енергија, атомите или молекулите на целта се распрснуваат, кои на крајот се таложат на оптичката површина за да формираат филм.
Ротирачки систем: Оптичкиот елемент треба да се ротира за време на процесот на обложување за да се обезбеди рамномерно распределување на филмот по неговата површина. Ротирачкиот систем обезбедува конзистентна дебелина на филмот во текот на целиот процес на обложување.
Вакуумски систем: Вакуумскиот систем се користи за обезбедување средина со низок притисок, обично преку систем на пумпа за вакуумирање на комората за обложување, осигурувајќи дека процесот на обложување не е нарушен од нечистотии во воздухот, што резултира со висококвалитетен филм.
Системи за мерење и контрола: вклучувајќи сензори за следење на дебелината на филмот (како што се QCM сензори), контрола на температурата, регулирање на моќноста итн., за прецизно контролирање на процесот на обложување.
Систем за ладење: Топлината генерирана за време на процесот на обложување може да влијае на квалитетот на филмот и интегритетот на оптичкиот елемент, па затоа е потребен ефикасен систем за ладење за одржување на стабилна температурна средина.
4. Поле на примена
Производство на оптички компоненти: Опремата за премачкување е широко користена во производството на оптички компоненти како што се оптички леќи, микроскопи, телескопи и леќи за камери. Преку различни видови премази, оптичките елементи можат да се оптимизираат за антирефлексија, антирефлексија, спекуларна рефлексија, филтрирање итн., за да се подобри квалитетот на сликата, осветленоста и контрастот.
Технологија на дисплеј: Во процесот на производство на дисплеи со течни кристали (LCD), органски диоди што емитуваат светлина (OLED) и други дисплеи, технологијата на обложување се користи за подобрување на ефектот на дисплејот, подобрување на бојата, контрастот и антирефлексната способност.
Ласерска опрема: Во процесот на производство на ласери и ласерски оптички компоненти (како што се ласерски леќи, огледала итн.), технологијата на обложување се користи за прилагодување на карактеристиките на рефлектирање и пренос на ласерот за да се обезбеди излезна енергија и квалитет на пренос на ласерот.
Соларна фотоволтаична енергија: Во производството на соларни панели, оптичкиот слој се користи за подобрување на ефикасноста на фотоелектричната конверзија. На пример, премачкувањето на слој од антирефлексен филм на површината на фотоволтаичните материјали може да го намали губењето на светлина, со што се подобруваат перформансите на сончевите ќелии.
Воздухопловна индустрија: Во воздухопловната област, оптичките леќи, оптичките сензори, телескопите и другата опрема треба да бидат обложени за да се зголеми нивната отпорност на зрачење, отпорност на висока температура и ефект на антирефлексија за да се обезбеди нормално функционирање на опремата во сурови средини.
Сензори и инструменти: Се користат за прецизни инструменти, инфрацрвени сензори, оптички сензори и друга опрема за производство, а облогата може да ги подобри нивните перформанси. На пример, инфрацрвените сензори честопати бараат специфичен филмски облог за да можат ефикасно да филтрираат и да пропуштаат низ специфични бранови должини на светлината.
V. Технолошки предизвици и развојни трендови
Контрола на квалитетот на филмот: Кај големата опрема за рамно оптичко обложување, обезбедувањето униформност и конзистентност на филмот е технички проблем. Малите температурни флуктуации, промените во составот на гасот или флуктуациите на притисокот за време на процесот на обложување можат да влијаат на квалитетот на филмот.
Технологија на повеќеслојно обложување: Високо-перформансните оптички компоненти честопати бараат повеќеслојни филмски системи, а опремата за обложување мора да биде способна прецизно да ја контролира дебелината и составот на материјалот на секој филм за да се постигне посакуваниот оптички ефект.
Интелигентна и автоматизација: Со напредокот на технологијата, идната опрема за обложување ќе биде поинтелигентна и автоматизирана, способна да ги следи и прилагодува различните параметри во процесот на обложување во реално време, да ја подобри ефикасноста на производството и квалитетот на производот.
Заштита на животната средина и заштеда на енергија: Со строгите барања на еколошките прописи, опремата за оптички премази треба да ја намали потрошувачката на енергија и да ја намали емисијата на штетни супстанции. Во исто време, развојот на поеколошки материјали и процеси за премази е исто така важна насока на тековните истражувања.
SOM2550 опрема за оптички премази со континуирано магнетронско распрскување
Предности на опремата:
Висок степен на автоматизација, голем капацитет за вчитување, одлични перформанси на филмот
Пропустливоста на видливата светлина е до 99%
Супертврда AR + AF тврдост до 9H
Примена: Главно произведува AR/NCVM+DLC+AF, како и интелигентни ретровизори, стакло за екран/екран на допир за автомобили, ултра-тврда AR камера, IR-CUT и други филтри, препознавање лица и други производи.
– Оваа статија е објавена одпроизводител на машина за вакуумско обложувањеГуангдонг Женхуа
Време на објавување: 24 јануари 2025 година
