I roto i te pūtaiao rauemi me te miihini, he mea nui te waahi o te paninga kiriata angiangi i roto i nga umanga mai i te hikohiko tae noa ki nga mahi whakangao. I roto i nga momo hangarau e waatea ana, ko te kohu kohu tinana (PVD) kua puta ake he tikanga hou, pai hoki mo te whakatakoto kiriata kikokore ki runga i nga taputapu. Ka rukuhia e tenei tuhinga te ao o te PVD sputtering, te korero mo ona tono, painga me nga whanaketanga hou. Ko te PVD sputtering, e mohiotia ana ko te magnetron sputtering, he tikanga e whakamahia nuitia ana i roto i te ahumahi semiconductor ki te whakatakoto i nga kiriata angiangi ki runga angiangi. Ko te whakamahi i te plasma hei tango i nga ngota mai i tetahi mea i whaaia, ka tukuna ki runga i te tïpako, ka hanga he kiriata angiangi.
He maha nga painga o te mahinga, penei i te mana tika o te matotoru o te kiriata, te pai o te piri, me te kaha ki te whakatakoto i nga momo rauemi tae atu ki nga konganuku, nga waikura, me nga nitrides. Ko nga tono o te PVD sputtering he whanui me te rereke. I roto i te ahumahi hikohiko, ka whakamahia te nuinga ki te whakatakoto i nga taonga whakahaere penei i te konumohe me te parahi, e taea ai te hanga i nga waahanga iti me nga waahanga whakauru. I tua atu, ko te PVD sputtering e whakamahia nuitia ana i roto i te ahumahi whakakikorua matapihi, penei i nga whakakikorua anti-reflective i runga i nga arotahi me nga whakaata hei whakarei ake i nga mahi tuku marama. Ko nga ahunga whakamua i roto i nga hangarau PVD sputtering kua piki ake te rongonui. Ko tetahi whanaketanga rongonui ko te whakaurunga o te pupuhi tauhohenga, ka taea te whakatakoto i nga kiriata angiangi o nga pūhui me nga taonga whakarei. Ma te whakauru i nga hau hohenga ki roto i te ruuma korehau i te wa e tuku ana, ka taea e nga kaihanga te whakahaere i te hanganga me te stoichiometry o nga kiriata kua penapena, ka pai ake te mahi me te mahi.
I tua atu, ko nga kaupapa hou kua whakawhānuihia nga kaha o te PVD sputtering. Hei tauira, ma te whakamahi i nga whaainga hiato kei roto i nga rawa maha ka taea te whakatakoto i nga kiriata kikokore tino motuhake me nga taonga ahurei. Ko tenei ka whakatuwhera i te kuaha ki te whanaketanga o nga rauemi hou mo te hikohiko matatau, te rokiroki hiko me nga taputapu koiora. Hei whakarāpopototanga, ko te PVD sputtering he tikanga whakakikorua kiriata angiangi kaha me te whānuitanga o nga tono me nga ahunga whakamua. Ma te mana tika mo te whakatakoto kiriata angiangi me te hototahitanga ki nga momo taonga, kua noho hei matua mo nga umanga penei i te hikohiko me te mata. Ko nga rangahau me nga mahi hou i roto i te waahi o te PVD sputtering e tika ana kia whakanui ake i ona kaha, ka taea te hanga rauemi hou me te turaki i nga rohe o te ahunga whakamua hangarau.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauZhenhua Vacuum.
Te wa tuku: Mei-27-2025
