Medžiagų moksle ir inžinerijoje plonasluoksnių dangų sritis vaidina gyvybiškai svarbų vaidmenį įvairiose pramonės šakose – nuo elektronikos iki pažangios gamybos. Tarp įvairių technologijų fizikinis garų nusodinimas (PVD) tapo novatorišku ir efektyviu plonų plėvelių nusodinimo ant substratų metodu. Šiame straipsnyje bus gilinamasi į PVD dulkinimo pasaulį, aptariant jo taikymą, privalumus ir naujausius pokyčius. PVD dulkinimas, dar žinomas kaip magnetroninis dulkinimas, yra puslaidininkių pramonėje plačiai naudojama technika plonoms plėvelėms nusodinti ant plokštelių. Tai apima plazmos naudojimą atomams pašalinti iš tikslinės medžiagos, kuri vėliau nusodinama ant substrato, sudarant ploną plėvelę.
Šis procesas suteikia daug privalumų, pavyzdžiui, tikslų plėvelės storio valdymą, puikų sukibimą ir galimybę nusodinti įvairias medžiagas, įskaitant metalus, oksidus ir nitridus. PVD purškimo pritaikymas yra platus ir įvairus. Elektronikos pramonėje jis dažniausiai naudojamas laidžioms medžiagoms, tokioms kaip aliuminis ir varis, nusodinti, o tai leidžia gaminti mažyčius komponentus ir integrinius grandynus. Be to, PVD purškimas plačiai naudojamas optinių dangų pramonėje, pavyzdžiui, lęšių ir veidrodžių antirefleksinėms dangoms, siekiant pagerinti šviesos pralaidumą. Naujausi PVD purškimo technologijos pasiekimai daro ją vis populiaresnę. Pastebima naujovė – reaktyviojo purškimo atsiradimas, kuriuo galima nusodinti plonas junginių, turinčių pagerintų savybių, plėveles. Nusodinimo metu į vakuuminę kamerą įvedant reaktyviąsias dujas, gamintojai gali kontroliuoti nusodintų plėvelių sudėtį ir stechiometriją, taip pagerindami našumą ir funkcionalumą.
Be to, taikinių inovacijos išplėtė PVD dulkinimo galimybes. Pavyzdžiui, naudojant sudėtinius taikinius, sudarytus iš kelių medžiagų, galima nusodinti labai specializuotas plonas plėveles, pasižyminčias unikaliomis savybėmis. Tai atveria duris naujų medžiagų, skirtų pažangiai elektronikai, energijos kaupimui ir biomedicinos prietaisams, kūrimui. Apibendrinant galima teigti, kad PVD dulkinimas yra galinga plonų plėvelių dengimo technika, turinti platų pritaikymo spektrą ir naujausius pasiekimus. Tiksliai kontroliuojant plonų plėvelių nusodinimą ir suderinamumą su įvairiomis medžiagomis, ji tapo pagrindine technika tokiose pramonės šakose kaip elektronika ir optika. Tikimasi, kad nuolatiniai tyrimai ir inovacijos PVD dulkinimo srityje dar labiau padidins šios srities galimybes, sudarys sąlygas kurti naujas medžiagas ir peržengti technologinės pažangos ribas.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasZhenhua dulkių siurblys.
Įrašo laikas: 2025 m. gegužės 27 d.