ເງື່ອນໄຂດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນຈໍາເປັນເພື່ອ ignite the hollow cathode arc light:
- ປືນ cathode ເປັນຮູທີ່ເຮັດດ້ວຍທໍ່ tantalum ຖືກຕິດຕັ້ງຢູ່ເທິງຝາຫ້ອງເຄືອບແລະສາມາດໃຊ້ເພື່ອປ່ອຍກະແສໄຟຟ້າຮ້ອນ. ເສັ້ນຜ່າສູນກາງພາຍໃນຂອງທໍ່ຮາບພຽງແມ່ນφ 6 ~ φ 15mm, ມີຄວາມຫນາຂອງກໍາແພງ 0.8-2mm.
- ການສະຫນອງພະລັງງານແມ່ນປະກອບດ້ວຍການສະຫນອງພະລັງງານເລີ່ມຕົ້ນ arc ແລະ arc ຮັກສາການສະຫນອງພະລັງງານໃນຂະຫນານ. ແຮງດັນຂອງການສະຫນອງພະລັງງານຂອງ Arc striking ແມ່ນ 800-1000V, ແລະກະແສໄຟຟ້າຂອງ arc striking ແມ່ນ 30-50A; ແຮງດັນ Arc ແມ່ນ 40-70V, ແລະກະແສໄຟຟ້າ Arc ແມ່ນ 80-300A.
ຂະບວນການໄຫຼຂອງໂຄ້ງ cathode arc ປະຕິບັດຕາມຂະບວນການຂອງການປ່ຽນຈາກການໄຫຼຂອງແສງສະຫວ່າງຜິດປົກກະຕິໄປສູ່ການໄຫຼຂອງ arc ໃນ "ເສັ້ນໂຄ້ງລັກສະນະຂອງ volt ampere". ກ່ອນອື່ນ ໝົດ, ການສະ ໜອງ ໄຟຟ້າແມ່ນ ຈຳ ເປັນເພື່ອສະຫນອງແຮງດັນໄຟຟ້າເລີ່ມຕົ້ນ 800V ເພື່ອສ້າງການປ່ອຍອາຍພິດໃນທໍ່ tantalum. ໄອອອນ Argon ທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງພາຍໃນທໍ່ tantalum bombard ແລະໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຂອງທໍ່ກັບອຸນຫະພູມທີ່ເອເລັກໂຕຣນິກຮ້ອນຖືກປ່ອຍອອກມາ, ເຊິ່ງກໍ່ໃຫ້ເກີດການໄຫຼຂອງເອເລັກໂຕຣນິກໃນ plasma ຈໍານວນຫຼວງຫຼາຍແລະການເພີ່ມຂື້ນຢ່າງກະທັນຫັນຂອງກະແສໄຟຟ້າຂອງ cathode arc ເປັນຮູ. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, ການສະຫນອງພະລັງງານໃນປະຈຸບັນສູງຍັງມີຄວາມຈໍາເປັນເພື່ອຮັກສາການໄຫຼຂອງ arc. ຂະບວນການປ່ຽນຈາກການໄຫຼຂອງແສງເປັນກະແສໄຟຟ້າອັດຕະໂນມັດ, ສະນັ້ນມັນຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ກໍາຫນົດຄ່າການສະຫນອງພະລັງງານທີ່ສາມາດອອກໄດ້ທັງແຮງດັນສູງແລະກະແສໄຟຟ້າສູງ.
ຖ້າຄວາມຕ້ອງການສອງຢ່າງນີ້ແມ່ນສຸມໃສ່ແຫຼ່ງພະລັງງານດຽວ, ປາຍຜົນຜະລິດຂັ້ນສອງຂອງຫມໍ້ແປງໄຟຟ້າຕ້ອງຖືກບາດແຜດ້ວຍສາຍໄຟຫນາຫຼາຍສໍາລັບການຫັນຫຼາຍເພື່ອໃຫ້ອອກແຮງດັນສູງແລະກະແສໄຟຟ້າສູງ, ເຊິ່ງຈະເປັນແຫຼ່ງພະລັງງານທີ່ມີປະລິມານຫຼາຍ. ຫຼັງຈາກປີຂອງການປັບປຸງ, ມັນເປັນໄປໄດ້ທີ່ຈະຂະຫນານ arc ຂະຫນາດນ້ອຍເລີ່ມຕົ້ນການສະຫນອງພະລັງງານທີ່ມີການສະຫນອງພະລັງງານ arc ບໍາລຸງຮັກສາ. ການສະຫນອງພະລັງງານຂອງ Arc ເລີ່ມໃຊ້ສາຍໄຟບາງໆເພື່ອລົມຫຼາຍໆຄັ້ງ, ເຊິ່ງສາມາດອອກແຮງດັນສູງຂອງ 800V ເພື່ອເຜົາໄຫມ້ທໍ່ tantalum ແລະສ້າງການໄຫຼຂອງແສງ; ການສະຫນອງພະລັງງານ arc ສາມາດອອກຫຼາຍສິບ volts ແລະຫຼາຍຮ້ອຍ amperes ຂອງປະຈຸບັນໂດຍການ winding ເປັນສາຍຫນາທີ່ມີ turns ຫນ້ອຍເພື່ອຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງ hollow cathode arc discharge ໄດ້. ເນື່ອງຈາກການເຊື່ອມຕໍ່ຂະຫນານຂອງສອງເຄື່ອງສະຫນອງພະລັງງານໃນທໍ່ tantalum, ໃນໄລຍະຂະບວນການປ່ຽນຈາກການໄຫຼຂອງແສງສະຫວ່າງຜິດປົກກະຕິໄປສູ່ການໄຫຼຂອງ arc, ເຄື່ອງສະຫນອງພະລັງງານທັງສອງຈະເຊື່ອມຕໍ່ອັດຕະໂນມັດແລະປ່ຽນຈາກແຮງດັນສູງແລະກະແສໄຟຟ້າຕ່ໍາໄປສູ່ແຮງດັນຕ່ໍາແລະກະແສໄຟຟ້າສູງ.
- ປັບລະດັບສູນຍາກາດຢ່າງໄວວາ. ລະດັບສູນຍາກາດສໍາລັບການໄຫຼອອກຂອງ glow ໃນທໍ່ tantalum ແມ່ນປະມານ 100Pa, ແລະໂຄງສ້າງຂອງຮູບເງົາທີ່ຝາກໄວ້ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂສູນຍາກາດຕ່ໍາດັ່ງກ່າວແມ່ນຫຍາບຢ່າງແນ່ນອນ. ດັ່ງນັ້ນ, ຫຼັງຈາກການເຜົາໄຫມ້ arc, ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງຫຼຸດຜ່ອນການໄຫຼຂອງອາກາດທັນທີແລະປັບລະດັບສູນຍາກາດຢ່າງໄວວາເປັນ 8 × 10-1 ~ 2Pa ເພື່ອໃຫ້ໄດ້ໂຄງສ້າງຮູບເງົາເບື້ອງຕົ້ນທີ່ດີ.
- turntable workpiece ໄດ້ຖືກຕິດຕັ້ງອ້ອມຮອບສະພາການເຄືອບ, ມີ workpiece ໄດ້ເຊື່ອມຕໍ່ກັບ pole ລົບຂອງການສະຫນອງພະລັງງານ bias ແລະຫ້ອງສູນຍາກາດເຊື່ອມຕໍ່ກັບ pole ບວກ. ເນື່ອງຈາກຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງປະຈຸບັນສູງຂອງ arc cathode ເປັນຮູ, ແຮງດັນ bias ຂອງ workpiece ເຄືອບ ion ບໍ່ຈໍາເປັນຕ້ອງບັນລຸ 1000V, ປົກກະຕິແລ້ວ 50-200V.
5. ກໍານົດເປັນທໍ່ແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າທີ່ສຸມໃສ່ປະມານ Gan ຍຸບ, ແລະພາກສະຫນາມແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າທີ່ສ້າງຂຶ້ນໂດຍການສະຫມັກຂໍເອົາປະຈຸບັນກັບ coil ສາມາດສຸມໃສ່ beam ເອເລັກໂຕຣນິກຢູ່ໃຈກາງຂອງ ingot ໂລຫະ, ເພີ່ມຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງພະລັງງານຂອງກະແສໄຟຟ້າ.
ເວລາປະກາດ: ກໍລະກົດ-20-2023