Déi folgend Konditioune sinn erfuerderlech fir d'Entzündung vum Huelkathode-Bogenliicht:
- Eng huel Kathodenkanoun aus Tantalröhrchen ass op der Beschichtungskammerwand installéiert a kann benotzt ginn fir waarmen Elektronestroum ofzesetzen. Den banneschten Duerchmiesser vum flaache Röhrchen ass φ 6 ~ φ 15 mm, mat enger Wanddicke vun 0,8-2 mm.
- D'Stroumversuergung besteet aus enger parallel ugeschalter Stroumversuergung fir de Bou unzefänken an enger parallel ugeschalter Stroumversuergung fir de Bou z'erhalen. D'Spannung vun der Stroumversuergung fir de Bou z'aktivéieren ass 800-1000V, an de Stroum fir de Bou z'aktivéieren ass 30-50A; d'Spannung vum Bou ass 40-70V, an de Stroum fir de Bou ass 80-300A.
De Prozess vun der Entladung vum Bou vun der hueler Kathod follegt dem Prozess vun der Ëmwandlung vun anormaler Glüh-Entladung zu Bougenentladung an der "Volt-Ampere-Charakteristikkurve". Als éischt ass eng Stroumversuergung noutwendeg, déi eng Startspannung vun 800 V liwwert, fir eng Glüh-Entladung am Tantalröhrchen ze generéieren. Déi héichdicht Argonionen am Tantalröhrchen bombardéieren an erhëtzen d'Röhrchen op d'Temperatur, wou waarm Elektronen emittéiert ginn, wat zu engem groussen Plasma-Elektronestroum an enger plötzlecher Erhéijung vum Stroum vum huelere Kathodenbou féiert. Dann ass och eng Stroumversuergung mat héijem Stroum noutwendeg, fir d'Bogenentladung z'erhalen. De Prozess vun der Ëmwandlung vu Glüh-Entladung zu Bougenentladung ass automatesch, dofir ass et néideg, eng Stroumversuergung ze konfiguréieren, déi souwuel héich Spannung wéi och héije Stroum ausginn kann.
Wann dës zwou Ufuerderunge sech op eng eenzeg Stroumquell konzentréieren, muss den zweeten Ausgangsende vum Stroumtransformator mat ganz décke Drot fir vill Windungen gewéckelt ginn, fir eng héich Spannung an en héije Stroum auszeginn, wat eng grouss Stroumquell wäert sinn. No Jore vun Verbesserungen ass et méiglech, eng kleng Boustart-Stroumversuergung mat enger Maintenance-Bou-Stroumversuergung parallel ze verbannen. D'Boustart-Stroumversuergung benotzt dënn Drot fir verschidde Windungen ze wéckelen, déi eng héich Spannung vun 800V ausginn kënnen, fir Tantalröhren ze entzünden an eng Glühentladung ze generéieren; D'Bou-Stroumversuergung kann Zénger Volt an Honnerte vun Ampere Stroum ausginn, andeems se en décke Drot mat manner Windungen wéckelt, fir d'Stabilitéit vun der hueler Kathod-Bouentladung ze erhalen. Wéinst der paralleler Verbindung vun zwou Stroumversuergungen op Tantalröhren, während dem Prozess vun der Ëmwandlung vun anormaler Glühentladung an eng Bouentladung, verbannen sech déi zwou Stroumversuergungen automatesch a wiesselen vun Héichspannung an Niddrege Stroum op Niddrege Spannung an héije Stroum.
- Passt de Vakuumniveau séier un. De Vakuumniveau fir Glüh-Entladung an Tantalréier läit bei ongeféier 100 Pa, an déi ofgesate Filmstruktur ënner sou niddrege Vakuumbedingungen ass onvermeidbar grob. Dofir ass et néideg, nodeems d'Bogentladung ugefaangen huet, direkt d'Quantitéit vum Loftstroum ze reduzéieren an de Vakuumniveau séier op 8×10-1~2 Pa unzepassen, fir eng fein initial Filmstruktur ze kréien.
- Den Drehtisch vum Werkstück ass ronderëm d'Beschichtungskammer installéiert, wouduerch d'Werkstück mam negativen Pol vun der Bias-Stroumversuergung an d'Vakuumkammer mam positiven Pol verbonnen ass. Wéinst der héijer Stroumdicht vum Hohlkathodenbou muss d'Biasspannung vum ionenbeschichteten Werkstück net 1000V erreechen, normalerweis 50-200V.
5. Setzt eng fokusséierend elektromagnetesch Spule ronderëm de Gan-Kollaps, an dat elektromagnetescht Feld, dat duerch d'Uleeë vu Stroum op d'Spule generéiert gëtt, kann den Elektronestrahl an d'Mëtt vum Metallbarr fokusséieren, wouduerch d'Leeschtungsdicht vum Elektronestroum erhéicht gëtt.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 20. Juli 2023