Di zanist û endezyariya materyalan de, qada pêçandina fîlmên tenik di pîşesaziyan de, ji elektronîkê bigire heya çêkirina pêşketî, roleke girîng dilîze. Di nav teknolojiyên cûda yên berdest de, sputterkirina depoya buhara fîzîkî (PVD) wekî rêbazek nûjen û bibandor ji bo danîna fîlmên tenik li ser substratan derketiye holê. Ev gotar dê li cîhana sputterkirina PVD-ê kûr bibe, serîlêdanên wê, feydeyên wê û pêşkeftinên wê yên herî dawî nîqaş bike. Sputterkirina PVD-ê, ku wekî sputterkirina magnetronê jî tê zanîn, teknîkek e ku bi berfirehî di pîşesaziya nîvconductor de tê bikar anîn da ku fîlmên tenik li ser waferan were danîn. Ew karanîna plazmayê vedihewîne da ku atoman ji materyalek hedef were rakirin, ku dûv re li ser substratek tê danîn, fîlmek tenik çêdibe.
Ev pêvajo gelek avantajan pêşkêş dike, wek kontrolkirina rast a qalindahiya fîlmê, girêdana hêja, û şiyana danîna cûrbecûr materyalan, di nav de metal, oksîd û nîtrîd. Serlêdanên sputterkirina PVD fireh û cûrbecûr in. Di pîşesaziya elektronîkê de, ew bi gelemperî ji bo danîna materyalên guhêrbar ên wekî aluminium û sifir tê bikar anîn, ku dihêle ku pêkhateyên piçûk û çerxên entegre werin hilberandin. Wekî din, sputterkirina PVD di pîşesaziya pêçandina optîkî de bi berfirehî tê bikar anîn, wek pêçandinên dij-refleksîf li ser lens û neynikan da ku performansa veguhestina ronahiyê baştir bikin. Pêşketinên dawî di teknolojiya sputterkirina PVD de wê her ku diçe populertir dike. Pêşkeftinek girîng danasîna sputterkirina reaktîf e, ku dikare fîlmên zirav ên pêkhateyan bi taybetmendiyên pêşkeftî deyne. Bi danîna gazên reaktîf di odeya valahiyê de di dema danînê de, hilberîner dikarin pêkhate û stoîkyometriya fîlmên danîne kontrol bikin, performans û fonksiyoneliya çêtir peyda bikin.
Herwiha, nûjeniyên hedefan şiyanên sputterkirina PVD berfireh kirine. Bo nimûne, bikaranîna hedefên kompozît ên ku ji gelek materyalan pêk tên, dikare fîlmên tenik ên pir pispor bi taybetmendiyên bêhempa bispêre. Ev derî ji bo pêşxistina materyalên nû ji bo elektronîkên pêşkeftî, hilanîna enerjiyê û cîhazên biyomedikal vedike. Bi kurtasî, sputterkirina PVD teknîkek pêçandina fîlma tenik a bihêz e ku xwedan rêzek fireh ji sepanan û pêşkeftinên dawî ye. Bi kontrola rast li ser danîna fîlma tenik û lihevhatina bi materyalên cûrbecûr re, ew di pîşesaziyên wekî elektronîk û optîkê de bûye bingehek. Tê payîn ku lêkolîn û nûjeniya berdewam di warê sputterkirina PVD de şiyanên wê bêtir zêde bike, rê li ber afirandina materyalên nû veke û sînorên pêşkeftina teknolojîk berfireh bike.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêZhenhua Valahî.
Dema weşandinê: 27ê Gulana 2025an