Xeta pêçandinê avahiyek modular qebûl dike, ku dikare li gorî pêvajo û hewcedariyên karîgeriyê odeyê mezin bike, û dikare ji her du aliyan ve were pêçandin, ku nerm û rehet e. Bi pergala paqijkirina îyonan, pergala germkirina bilez û pergala sputterkirina magnetronê ya DC ve hatî çêkirin, ew dikare bi bandor pêçandina metalê ya hêsan bike. Amûr xwedî lêdana bilez, girtina rehet û karîgeriya bilind in.
Xeta pêçandinê bi sîstema paqijkirina îyonan û pijandina germahiya bilind ve hatiye sazkirin, ji ber vê yekê zeliqandina fîlma razandî çêtir e. Sputterkirina goşeya piçûk bi hedefa zivirî ji bo danîna fîlmê li ser rûyê hundurîn ê vebûnên piçûk guncan e.
1. Amûr xwedî avahiyek kompakt û qadek piçûk e.
2. Sîstema valahiyê bi pompeya molekulî ji bo derxistina hewayê ve hatî çêkirin, bi xerckirina enerjiyê ya kêm.
3. Vegera otomatîkî ya refika materyalê hêza mirovî xilas dike.
4. Parametreyên pêvajoyê dikarin werin şopandin, û pêvajoya hilberînê dikare di tevahiya pêvajoyê de were şopandin da ku şopandina kêmasiyên hilberînê hêsan bike.
5. Xeta pêçandinê xwedî pileya bilind a otomasyonê ye. Ew dikare bi manipulatorê re were bikar anîn da ku pêvajoyên pêş û paş ve girêbide û lêçûna kedê kêm bike.
Ew dikare di pêvajoya çêkirina kapasîtorê de şûna çapkirina pasta zîv bigire, bi karîgeriya bilindtir û lêçûnek kêmtir.
Ji bo Ti, Cu, Al, Cr, Ni, Ag, Sn û metalên din ên hêsan tê sepandin. Bi berfirehî di pêkhateyên elektronîkî yên nîvconductor de, wek substratên seramîk, kapasîtorên seramîk, piştgirên seramîk ên led, û hwd. hatiye bikar anîn.