Материалтану мен техникада жұқа қабықшалар саласы электроникадан озық өндіріске дейінгі салаларда маңызды рөл атқарады. Қолжетімді әртүрлі технологиялардың ішінде жұқа қабықшаларды субстраттарға қоюдың инновациялық және тиімді әдісі ретінде физикалық бумен тұндыру (PVD) шашырауы пайда болды. Бұл мақала PVD шашырату әлемін зерттеп, оның қолданбаларын, артықшылықтарын және соңғы әзірлемелерін талқылайды. PVD шашырату, магнетронды шашырату деп те аталады, жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде пластинкаларға жұқа қабықшаларды қою үшін кеңінен қолданылатын әдіс. Ол мақсатты материалдан атомдарды жою үшін плазманы пайдалануды қамтиды, содан кейін ол жұқа қабықшаны құра отырып, субстратқа қойылады.
Процесс пленка қалыңдығын дәл бақылау, тамаша адгезия және металдарды, оксидтерді және нитридтерді қоса алғанда, әртүрлі материалдарды тұндыру мүмкіндігі сияқты көптеген артықшылықтарды ұсынады. PVD тозаңдату қолдану аясы кең және әр түрлі. Электроника өнеркәсібінде ол алюминий және мыс сияқты өткізгіш материалдарды орналастыру үшін қолданылады, бұл ұсақ бөлшектер мен интегралды схемаларды өндіруге мүмкіндік береді. Сонымен қатар, PVD шашырауы оптикалық жабын өнеркәсібінде кеңінен қолданылады, мысалы, линзалар мен айналардағы шағылысқа қарсы жабындар жарық беру өнімділігін арттыру үшін. PVD шашырату технологиясындағы соңғы жетістіктер оны барған сайын танымал етуде. Белгілі жаңалық - қасиеттері жақсартылған қосылыстардың жұқа қабықшаларын тұндыра алатын реактивті шашыратқышты енгізу. Шөгу кезінде вакуумдық камераға реактивті газдарды енгізу арқылы өндірушілер өнімділігі мен функционалдығын жақсартуды қамтамасыз ете отырып, тұндырылған пленкалардың құрамы мен стехиометриясын басқара алады.
Сонымен қатар, мақсатты инновациялар PVD шашырату мүмкіндіктерін кеңейтті. Мысалы, бірнеше материалдардан тұратын композициялық нысандарды пайдалану бірегей қасиеттері бар жоғары мамандандырылған жұқа қабыршақтарды қоюға болады. Бұл озық электроника, энергия сақтау және биомедициналық құрылғылар үшін жаңа материалдарды әзірлеуге есік ашады. Қорытындылай келе, PVD шашырату - кең ауқымды қолданбалы және соңғы жетістіктері бар қуатты жұқа қабықпен жабу әдісі. Жұқа қабықшаның тұндырылуын және әртүрлі материалдармен үйлесімділігін дәл бақылау арқылы ол электроника және оптика сияқты салаларда негізгі өнімге айналды. PVD шашырату саласындағы үздіксіз зерттеулер мен инновациялар оның мүмкіндіктерін одан әрі арттырып, жаңа материалдарды жасауға мүмкіндік береді және технологиялық прогрестің шекараларын ілгерілетеді деп күтілуде.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіЧжэнхуа вакуумы.
Хабарлама уақыты: 27 мамыр 2025 ж