Қуыс катодты ионды жабу шарттары

Қуыс катодты доға шамын тұтандыру үшін келесі шарттар қажет:

1. Тантал түтігінен жасалған қуыс катодты пистолет қаптау камерасының қабырғасына орнатылған және оны ыстық электрон ағынын шығару үшін пайдалануға болады. Тегіс түтіктің ішкі диаметрі φ 6~ φ 15мм, қабырғасының қалыңдығы 0,8-2мм.

1. Қуат көзі доғалық қосылатын қуат көзінен және қуат көзін параллель ұстайтын доғадан тұрады. Доғаның соқтығысты қоректендіру көзінің кернеуі 800-1000В, ал доғаның соқтығыс тогы 30-50А; Доғалық кернеу 40-70В, ал доға тогы 80-300А.

Қуыс катодты доғалық разряд процесі «вольт амперлік сипаттамалық қисықтағы» қалыптан тыс жарқыраудан доғалық разрядқа түрлендіру процесінен кейін жүреді. Біріншіден, тантал түтігінде жарқырауды генерациялау үшін 800 В бастапқы кернеуді қамтамасыз ету үшін қуат көзі қажет. Тантал түтігінің ішіндегі тығыздығы жоғары аргон иондары түтікті бомбалап, ыстық электрондар шығарылатын температураға дейін қыздырады, нәтижесінде плазмалық электрондардың көп ағыны пайда болады және қуыс катод доғасының тогы кенет артады. Содан кейін доғаның разрядын ұстап тұру үшін жоғары ток қуат көзі де қажет. Жарқырау разрядынан доғалық разрядқа түрлендіру процесі автоматты түрде жүреді, сондықтан жоғары кернеуді де, жоғары токты да шығара алатын қуат көзін конфигурациялау қажет.

Егер бұл екі талап бір қуат көзіне шоғырланған болса, үлкен көлемді қуат көзі болатын жоғары кернеу мен жоғары токты шығару үшін күштік трансформатордың қайталама шығыс ұшын көптеген айналымдар үшін өте қалың сымдармен орау керек. Көптеген жылдар бойы жетілдірілгеннен кейін доғаның шағын қуат көзін техникалық қызмет көрсету доғасының қуат көзімен параллельдеуге болады. Доғаны іске қосу қуат көзі бірнеше айналымдарды орау үшін жұқа сымдарды пайдаланады, олар тантал түтіктерін тұтандыру және жарқырау разрядын жасау үшін 800 В жоғары кернеуді шығара алады; Доғалық қуат көзі қуыс катод доғасының разрядының тұрақтылығын сақтау үшін қалың сымды аз айналыммен орау арқылы ондаған вольт пен жүздеген ампер ток шығара алады. Тантал түтіктеріндегі екі қуат көзінің параллель қосылуына байланысты қалыпты емес жарқыраудан доғалық разрядқа түрлендіру процесі кезінде екі қуат көзі автоматты түрде қосылып, жоғары кернеу мен төмен токтан төмен кернеу мен жоғары токқа ауысады.

1. Вакуум деңгейін жылдам реттеңіз. Тантал түтіктеріндегі жарқырау разрядының вакуумдық деңгейі шамамен 100Па құрайды және мұндай төмен вакуум жағдайында тұндырылған пленка құрылымы сөзсіз өрескел болады. Сондықтан доғалық разрядты тұтандырғаннан кейін ауа ағынының мөлшерін дереу азайтып, жұқа бастапқы пленка құрылымын алу үшін вакуум деңгейін 8×10-1~2Па дейін жылдам реттеу керек.

1. Дайындаманың айналмалы табағы қаптама камерасының айналасына орнатылады, дайындама ығысу қорек көзінің теріс полюсіне және вакуумдық камера оң полюске жалғанған. Қуыс катод доғасының токтың жоғары тығыздығына байланысты иондармен қапталған дайындаманың ығысу кернеуі 1000В, әдетте 50-200В жетудің қажеті жоқ.

5. Ган ыдыраған жердің айналасында фокустау электромагниттік катушкасын орнатыңыз және катушкаға ток қолдану арқылы пайда болатын электромагниттік өріс электрондар ағынының қуат тығыздығын арттыра отырып, металл құймасының ортасына электронды сәулені фокустай алады.