Kondisi ing ngisor iki dibutuhake kanggo nyalakake lampu busur katoda kothong:
- Pistol katoda kothong sing digawe saka tabung tantalum dipasang ing tembok kamar lapisan lan bisa digunakake kanggo ngetokake aliran elektron panas. Dhiameter njero tabung datar yaiku φ 6 ~ φ 15mm, kanthi kekandelan tembok 0.8-2mm.
- Sumber daya dumadi saka sumber daya wiwitan busur lan sumber daya sing njaga busur kanthi paralel. Tegangan saka sumber daya busur striking punika 800-1000V, lan busur striking saiki punika 30-50A; Tegangan busur yaiku 40-70V, lan arus busur yaiku 80-300A.
Proses discharge busur katoda kothong nderek proses konversi saka discharge glow abnormal menyang discharge busur ing "kurva karakteristik volt ampere". Kaping pisanan, sumber daya dibutuhake kanggo nyedhiyakake voltase wiwitan 800V kanggo ngasilake discharge cemlorot ing tabung tantalum. Ing-Kapadhetan dhuwur argon ion nang tabung tantalum bombard lan panas tabung kanggo suhu ngendi elektron panas dipancaraké, asil ing jumlah gedhe saka aliran elektron plasma lan Tambah dumadakan ing saiki saka busur katoda kothong. Banjur, sumber daya saiki dhuwur uga dibutuhake kanggo njaga discharge busur. Proses ngowahi saka discharge cemlorot kanggo discharge busur otomatis, supaya iku perlu kanggo ngatur sumber daya sing bisa output loro voltase dhuwur lan saiki dhuwur.
Yen syarat loro iki klempakan ing sumber daya siji, mburi output secondary trafo daya kudu tatu karo kabel banget nglukis kanggo akeh dadi kanggo output dhuwur voltase lan saiki dhuwur, kang bakal dadi sumber daya volume gedhe. Sawise taun dandan, iku bisa kanggo parallelize sumber daya wiwitan busur cilik karo sumber daya busur pangopènan. Sumber daya wiwitan busur nggunakake kabel tipis kanggo angin kaping pirang-pirang, sing bisa ngasilake tegangan dhuwur 800V kanggo ngobong tabung tantalum lan ngasilake discharge cemlorot; Sumber daya busur bisa ngasilake puluhan volt lan arus atusan ampere kanthi nggulung kabel sing kandel kanthi giliran sing luwih sithik kanggo njaga kestabilan discharge busur katoda kothong. Amarga sambungan podo saka loro sumber daya ing tabung tantalum, sak proses ngowahi saka discharge cemlorot abnormal kanggo discharge busur, loro daya Penyetor bakal kanthi otomatis nyambung lan ngalih saka voltase dhuwur lan saiki kurang kanggo kurang voltase lan dhuwur saiki.
- Cepet nyetel tingkat vakum. Tingkat vakum kanggo discharge cemlorot ing tabung tantalum watara 100Pa, lan struktur film setor ing kahanan vakum kurang kuwi mesthi coarse. Mulane, sawise igniting discharge busur, iku perlu kanggo langsung ngurangi jumlah aliran online lan cepet nyetel tingkat vakum kanggo 8 × 10-1 ~ 2Pa kanggo diwenehi struktur film dhisikan nggoleki.
- Turntable workpiece wis diinstal watara kamar nutupi, karo workpiece disambungake menyang kutub negatif saka sumber daya bias lan kamar vakum disambungake menyang kutub positif. Amarga Kapadhetan saiki dhuwur saka busur katoda kothong, voltase bias saka workpiece dilapisi ion ora perlu kanggo tekan 1000V, biasane 50-200V.
5. Nyetel coil elektromagnetik fokus watara Gan ambruk, lan lapangan elektromagnetik kui dening nglamar saiki kanggo coil bisa fokus Beam elektron ing tengah ingot logam, nambah Kapadhetan daya saka aliran elektron.
Wektu kirim: Jul-20-2023