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Principio principale di sgonfiaggio della pompa per vuoto e intervallo di funzionamento

Fonte dell'articolo:Zhenhua vacuum
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Pubblicato: 22-11-08

Tipo

Nome

Principio

intervallo di pressione di lavoro

Pompa meccanica

Pompa meccanica con guarnizione oleodinamica singola Compressione e sgonfiaggio del gas mediante macchinari 105--101
Pompa meccanica con doppio paraolio per macchina 105--102
Pompa molecolare 101--108
Pompa di radici 103--102

Pompa di iniezione di vapore

Pompa di iniezione dell'olio Trasportando via il gas con la spinta del getto di vapore 101--107
Pompa a diffusione d'olio 101--106
Pompa a diffusione di mercurio 101--105

Pompa a secco

Pompa ionica a sputtering Assorbimento e rimozione dei gas mediante una pellicola assorbente, formata per sublimazione o sputtering 101--108
Pompa a sublimazione in titanio 101--109
Pompa di adsorbimento Rimozione del gas mediante adsorbimento fisico su superfici a bassa temperatura 106--102
Pompa di condensa 102--1011
Pompa di adsorbimento della condensa 102--1010

Data di pubblicazione: 08-11-2022