PVD sputtering: Ọganihu na teknụzụ mkpuchi mkpuchi ihe nkiri dị mkpa

Na ihe sayensị na injinia, ubi mkpuchi ihe nkiri dị mkpa na-arụ ọrụ dị mkpa na ụlọ ọrụ sitere na ngwa elektrọn ruo n'ichepụta ihe dị elu. N'ime teknụzụ dị iche iche dịnụ, nsị anụ ahụ (PVD) sputtering apụtala dị ka usoro ọhụrụ na arụ ọrụ nke ọma maka itinye ihe nkiri ndị dị mkpa na mkpụrụ. Edemede a ga-abanye n'ime ụwa nke PVD sputtering, na-atụle ngwa ya, uru na ihe ọhụrụ. PVD sputtering, makwaara dị ka magnetron sputtering, bụ usoro a na-ejikarị na ụlọ ọrụ semiconductor iji tinye ihe nkiri dị mkpa na wafers. Ọ na-agụnye iji plasma wepụ atom n'ime ihe a na-achọsi ike, bụ nke a na-etinye na ya na mkpụrụ osisi, na-emepụta ihe nkiri dị mkpa.

Usoro a na-enye ọtụtụ uru, dị ka njikwa nke ọma nke ọkpụrụkpụ ihe nkiri, ezigbo adhesion, na ike itinye ihe dị iche iche gụnyere ọla, oxides, na nitrides. Ngwa nke PVD sputtering dị obosara ma dị iche iche. N'ụlọ ọrụ eletrọnịkị, a na-ejikarị echekwa ihe ndị na-eduzi ihe dị ka aluminom na ọla kọpa, na-eme ka mmepụta nke obere ihe na sekit jikọtara ọnụ. Tụkwasị na nke ahụ, a na-eji sputtering PVD eme ihe na ụlọ ọrụ mkpuchi anya, dị ka mkpuchi mkpuchi na-egbuke egbuke na lenses na enyo iji welie ọrụ nnyefe ọkụ. Ọganihu ndị na-adịbeghị anya na teknụzụ sputtering PVD na-eme ka ọ na-ewu ewu karị. Ihe a ma ama bụ iwebata sputtering na-emeghachi omume, nke nwere ike itinye ihe nkiri ndị dị mkpa nke ogige nwere ihe ndị dị mma. Site n'iwebata gas na-emeghachi omume n'ime oghere oghere n'oge nkwụnye ego, ndị na-emepụta nwere ike ijikwa ihe mejupụtara na stoichiometry nke ihe nkiri echekwara, na-enye arụmọrụ na arụmọrụ ka mma.

Ọzọkwa, ihe ọhụrụ ezubere iche agbasawanyela ike nke PVD sputtering. Dịka ọmụmaatụ, iji ebumnuche agwakọta nwere ọtụtụ ihe nwere ike idobe ihe nkiri dị mkpa pụrụ iche nwere ihe pụrụ iche. Nke a na-emepe ụzọ maka ịmepụta ihe ọhụrụ maka ngwá electronic dị elu, nchekwa ike na ngwaọrụ biomedical. Na nchịkọta, PVD sputtering bụ ike mkpa film mkpuchi Usoro na a dịgasị iche iche nke ngwa na-adịbeghị anya ọganihu. Site na njikwa nke ọma na ntinye ihe nkiri dị gịrịgịrị yana ndakọrịta na ihe dị iche iche, ọ bụrụla nnukwu ihe na ụlọ ọrụ dịka ngwa elektrọnik na ngwa anya. Nnyocha na ihe ọhụrụ na-aga n'ihu n'ọhịa nke PVD sputtering na-atụ anya na ọ ga-eme ka ike ya dịkwuo elu, na-eme ka ịmepụta ihe ọhụrụ na ịkwanye ókè nke ọganihu nkà na ụzụ.

–E wepụtara akụkọ aonye na-emepụta igwe mkpuchi ikukuZhenhua Vacuum.