Kondisi berikut ini diperlukan untuk menyalakan lampu busur katode berongga:
- Pistol katode berongga yang terbuat dari tabung tantalum dipasang pada dinding ruang pelapis dan dapat digunakan untuk memancarkan aliran elektron panas. Diameter dalam tabung pipih adalah φ 6~ φ 15mm, dengan ketebalan dinding 0,8-2mm.
- Catu daya terdiri dari catu daya pemantik busur dan catu daya pemelihara busur secara paralel. Tegangan catu daya pemantik busur adalah 800-1000V, dan arus pemantik busur adalah 30-50A; Tegangan busur adalah 40-70V, dan arus busur adalah 80-300A.
Proses pelepasan busur katode berongga mengikuti proses konversi dari pelepasan pijar abnormal ke pelepasan busur dalam "kurva karakteristik volt ampere". Pertama-tama, catu daya diperlukan untuk menyediakan tegangan awal 800V untuk menghasilkan pelepasan pijar dalam tabung tantalum. Ion argon berdensitas tinggi di dalam tabung tantalum membombardir dan memanaskan tabung ke suhu di mana elektron panas dipancarkan, menghasilkan sejumlah besar aliran elektron plasma dan peningkatan tiba-tiba dalam arus busur katode berongga. Kemudian, catu daya arus tinggi juga diperlukan untuk mempertahankan pelepasan busur. Proses konversi dari pelepasan pijar ke pelepasan busur bersifat otomatis, sehingga perlu mengonfigurasi catu daya yang dapat menghasilkan tegangan tinggi dan arus tinggi.
Jika kedua persyaratan ini difokuskan pada satu sumber daya, ujung keluaran sekunder dari transformator daya harus dililit dengan kabel yang sangat tebal untuk banyak lilitan agar dapat menghasilkan tegangan tinggi dan arus tinggi, yang akan menjadi sumber daya bervolume besar. Setelah bertahun-tahun perbaikan, catu daya busur awal kecil dapat diparalelkan dengan catu daya busur perawatan. Catu daya busur awal menggunakan kabel tipis untuk melilitkan beberapa lilitan, yang dapat menghasilkan tegangan tinggi 800V untuk menyalakan tabung tantalum dan menghasilkan pelepasan pijar; catu daya busur dapat menghasilkan puluhan volt dan ratusan ampere arus dengan melilitkan kabel tebal dengan lilitan lebih sedikit untuk menjaga kestabilan pelepasan busur katode berongga. Karena koneksi paralel dari dua catu daya pada tabung tantalum, selama proses konversi dari pelepasan pijar abnormal ke pelepasan busur, kedua catu daya akan secara otomatis terhubung dan beralih dari tegangan tinggi dan arus rendah ke tegangan rendah dan arus tinggi.
- Sesuaikan level vakum dengan cepat. Level vakum untuk pelepasan busur dalam tabung tantalum adalah sekitar 100Pa, dan struktur film yang diendapkan dalam kondisi vakum rendah seperti itu pasti kasar. Oleh karena itu, setelah menyalakan pelepasan busur, perlu untuk segera mengurangi jumlah aliran udara dan segera menyesuaikan level vakum ke 8×10-1~2Pa untuk mendapatkan struktur film awal yang halus.
- Meja putar benda kerja dipasang di sekitar ruang pelapis, dengan benda kerja dihubungkan ke kutub negatif catu daya bias dan ruang vakum dihubungkan ke kutub positif. Karena kepadatan arus busur katoda berongga yang tinggi, tegangan bias benda kerja berlapis ion tidak perlu mencapai 1000V, biasanya 50-200V.
5. Pasang kumparan elektromagnetik pemfokus di sekitar keruntuhan Gan, dan medan elektromagnetik yang dihasilkan dengan menerapkan arus ke kumparan dapat memfokuskan berkas elektron di pusat batangan logam, meningkatkan kerapatan daya aliran elektron.
Waktu posting: 20-Jul-2023