Nan syans ak jeni materyèl, domèn kouch fim mens yo jwe yon wòl vital nan endistri ki sòti nan elektwonik rive nan fabrikasyon avanse. Pami diferan teknoloji ki disponib yo, pulverizasyon depo vapè fizik (PVD) te parèt kòm yon metòd inovatè ak efikas pou depoze fim mens sou substrats. Atik sa a pral fouye nan mond pulverizasyon PVD a, diskite sou aplikasyon li yo, benefis li yo ak dènye devlopman yo. Pulverizasyon PVD, ke yo rele tou pulverizasyon mayetron, se yon teknik ki lajman itilize nan endistri semi-kondiktè pou depoze fim mens sou waf. Li enplike itilizasyon plasma pou retire atòm nan yon materyèl sib, ki Lè sa a, depoze sou yon substrat, fòme yon fim mens.
Pwosesis la ofri anpil avantaj, tankou kontwòl presi sou epesè fim nan, ekselan adezyon, ak kapasite pou depoze yon varyete materyèl tankou metal, oksid, ak nitrid. Aplikasyon pulverizasyon PVD yo laj ak varye. Nan endistri elektwonik la, li souvan itilize pou depoze materyèl kondiktif tankou aliminyòm ak kwiv, sa ki pèmèt pwodiksyon ti konpozan ak sikui entegre. Anplis de sa, pulverizasyon PVD lajman itilize nan endistri kouch optik, tankou kouch anti-reflèktif sou lantiy ak miwa pou amelyore pèfòmans transmisyon limyè. Dènye pwogrè nan teknoloji pulverizasyon PVD ap fè li pi plis ak pi popilè. Yon devlopman remakab se entwodiksyon pulverizasyon reyaktif, ki ka depoze fim mens konpoze ki gen pwopriyete amelyore. Lè yo entwodui gaz reyaktif nan chanm vakyòm nan pandan depo a, manifaktirè yo ka kontwole konpozisyon ak stokiyometri fim depoze yo, sa ki bay pèfòmans ak fonksyonalite amelyore.
Anplis de sa, inovasyon sib yo te elaji kapasite pulverizasyon PVD a. Pa egzanp, lè l sèvi avèk sib konpoze ki gen plizyè materyèl, sa ka depoze fim mens trè espesyalize ak pwopriyete inik. Sa a ouvè pòt la pou devlopman nouvo materyèl pou elektwonik avanse, depo enèji ak aparèy byomedikal. An rezime, pulverizasyon PVD a se yon teknik pwisan pou kouvri fim mens ak yon pakèt aplikasyon ak avansman resan. Avèk yon kontwòl presi sou depo fim mens ak konpatibilite ak divès materyèl, li vin tounen yon eleman debaz nan endistri tankou elektwonik ak optik. Rechèch ak inovasyon kontinyèl nan domèn pulverizasyon PVD a espere amelyore kapasite li yo plis toujou, sa ki pèmèt kreyasyon nouvo materyèl epi pouse limit avansman teknolojik yo.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmAspiratè Zhenhua.
Dat piblikasyon: 27 me 2025