Ann an saidheans agus innleadaireachd stuthan, tha raon chòtaichean film tana a’ cluich pàirt riatanach ann an gnìomhachasan bho electronics gu saothrachadh adhartach. Am measg nan diofar theicneòlasan a tha rim faighinn, tha sputtering tasgadh smùid corporra (PVD) air nochdadh mar dhòigh ùr-ghnàthach agus èifeachdach airson filmichean tana a thasgadh air bun-stuthan. Bidh an t-artaigil seo a’ sgrùdadh saoghal sputtering PVD, a’ beachdachadh air na tagraidhean aige, na buannachdan agus na leasachaidhean as ùire. Tha sputtering PVD, ris an canar cuideachd sputtering magnetron, na dhòigh-obrach a thathas a’ cleachdadh gu farsaing ann an gnìomhachas leth-chonnsachaidh gus filmichean tana a thasgadh air wafers. Tha e a’ toirt a-steach plasma a chleachdadh gus dadaman a thoirt air falbh bho stuth targaid, a thèid an uairsin a thasgadh air bun-stuth, a’ cruthachadh film tana.
Tha mòran bhuannachdan aig a’ phròiseas, leithid smachd mionaideach air tiugh film, greamachadh sàr-mhath, agus a’ chomas measgachadh de stuthan a thasgadh a’ gabhail a-steach meatailtean, ocsaidean, agus naitridean. Tha cleachdaidhean sputtering PVD farsaing agus eadar-dhealaichte. Anns a’ ghnìomhachas eileagtronaigeach, thathas ga chleachdadh gu cumanta gus stuthan giùlain leithid alùmanum agus copar a thasgadh, a’ comasachadh cinneasachadh phàirtean beaga bìodach agus cuairtean amalaichte. A bharrachd air an sin, tha sputtering PVD air a chleachdadh gu farsaing ann an gnìomhachas còmhdach optigeach, leithid còmhdach an-aghaidh meòrachadh air lionsan agus sgàthan gus coileanadh tar-chuir solais a leasachadh. Tha adhartasan o chionn ghoirid ann an teicneòlas sputtering PVD ga dhèanamh nas mòr-chòrdte. Is e leasachadh cudromach toirt a-steach sputtering ath-ghnìomhach, a dh’ fhaodas filmichean tana de choimeasgaidhean le feartan leasaichte a thasgadh. Le bhith a’ toirt a-steach gasaichean ath-ghnìomhach a-steach don t-seòmar falamh rè tasgadh, faodaidh luchd-saothrachaidh smachd a chumail air co-dhèanamh agus stoichiometry nam filmichean a chaidh a thasgadh, a’ toirt seachad coileanadh agus gnìomhachd nas fheàrr.
A bharrachd air sin, tha innleachdan targaid air comasan sputtering PVD a leudachadh. Mar eisimpleir, faodaidh targaidean co-dhèanta anns a bheil iomadh stuth filmichean tana gu math sònraichte a thasgadh le feartan sònraichte. Tha seo a’ fosgladh an dorais gu leasachadh stuthan ùra airson electronics adhartach, stòradh lùtha agus innealan bith-mheidigeach. Mar gheàrr-chunntas, tha sputtering PVD na dhòigh còmhdach film tana cumhachdach le raon farsaing de thagraidhean agus adhartasan o chionn ghoirid. Le smachd mionaideach air tasgadh film tana agus co-chòrdalachd le diofar stuthan, tha e air a thighinn gu bhith na phrìomh stàball ann an gnìomhachasan leithid electronics agus optics. Thathar an dùil gun leasaich rannsachadh agus innleachdas leantainneach ann an raon sputtering PVD na comasan aige tuilleadh, a’ comasachadh cruthachadh stuthan ùra agus a’ putadh crìochan adhartais teicneòlach.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhFalamh Zhenhua.
Àm puist: 27 Cèitean 2025