Tha structar modúlach aig an loidhne-chòmhdaich, a dh’ fhaodas an seòmar a mheudachadh a rèir riatanasan a’ phròiseis agus an èifeachdais, agus faodar a chòmhdach air gach taobh, rud a tha sùbailte agus goireasach. Air a uidheamachadh le siostam glanaidh ian, siostam teasachaidh luath agus siostam sputtering magnetron DC, faodaidh e còmhdach meatailt sìmplidh a thasgadh gu h-èifeachdach. Tha buille luath, clampadh goireasach agus èifeachdas àrd aig an uidheamachd.
Tha an loidhne-chòmhdaich uidheamaichte le siostam glanaidh ian agus bèicearachd aig teòthachd àrd, agus mar sin tha greamachadh nas fheàrr aig an fhilm a tha air a thasgadh. Tha an sputtering aig ceàrn beag leis an targaid rothlach fàbharach airson film a thasgadh air uachdar a-staigh toll beag.
1. Tha structar teann agus farsaingeachd làir bheag aig an uidheamachd.
2. Tha pumpa moileciuil aig an t-siostam falamh airson èadhair a thoirt a-mach, le caitheamh lùtha ìosal.
3. Bidh tilleadh fèin-ghluasadach raca stuthan a’ sàbhaladh cumhachd-obrach.
4. Faodar paramadairean a’ phròiseis a leantainn, agus faodar sùil a chumail air a’ phròiseas toraidh tron phròiseas gu lèir gus dèanamh nas fhasa uireasbhaidhean cinneasachaidh a leantainn.
5. Tha ìre àrd de fèin-ghluasad aig an loidhne còtaidh. Faodar a chleachdadh leis an inneal-làimhseachaidh gus na pròiseasan aghaidh is cùil a cheangal ri chèile agus cosgais saothair a lughdachadh.
Faodaidh e clò-bhualadh pasgain airgid a chur an àite ann am pròiseas saothrachaidh capacitor, le èifeachdas nas àirde agus cosgais nas ìsle.
Tha e iomchaidh airson Ti, Cu, Al, Cr, Ni, Ag, Sn agus meatailtean sìmplidh eile. Chaidh a chleachdadh gu farsaing ann an co-phàirtean dealanach leth-chonnsachaidh, leithid fo-stratan ceirmeag, capacitors ceirmeag, taicean ceirmeag LED, msaa.