De folgjende betingsten binne nedich om it ljocht fan 'e holle katode bôge te ûntstekken:
- In hol katodegewear makke fan tantaalbuis is ynstalleare op 'e muorre fan' e coatingkeamer en kin brûkt wurde om hjitte elektronenstream út te stjoeren. De binnendiameter fan 'e platte buis is φ 6 ~ φ 15 mm, mei in wanddikte fan 0.8-2 mm.
- De stroomfoarsjenning bestiet út in bôgestartstroomfoarsjenning en in bôgebehâldstroomfoarsjenning parallel. De spanning fan 'e bôge-oanstekkende stroomfoarsjenning is 800-1000V, en de bôge-oanstekkende stroom is 30-50A; De bôgespanning is 40-70V, en de bôgestroom is 80-300A.
It proses fan 'e holle katodebôge-ûntlading folget it proses fan it konvertearjen fan abnormale gloeiûntlading nei bôge-ûntlading yn 'e "volt-ampère karakteristike kromme". Earst is in stroomfoarsjenning nedich om in startspanning fan 800V te leverjen om gloeiûntlading yn 'e tantaalbuis te generearjen. De argon-ionen mei hege tichtheid yn 'e tantaalbuis bombardearje en ferwaarmje de buis oant de temperatuer wêr't waarme elektroanen útstjoerd wurde, wat resulteart yn in grutte hoemannichte plasma-elektronenstream en in hommelse tanimming fan 'e stroom fan 'e holle katodebôge. Dan is ek in hege stroomfoarsjenning nedich om de bôge-ûntlading te behâlden. It proses fan it konvertearjen fan gloeiûntlading nei bôge-ûntlading is automatysk, dus it is needsaaklik om in stroomfoarsjenning te konfigurearjen dy't sawol hege spanning as hege stroom kin útfiere.
As dizze twa easken konsintrearre binne op ien stroomboarne, moat it sekundêre útfierein fan 'e stroomtransformator mei tige dikke triedden foar in protte windingen wûn wurde om hege spanning en hege stroom út te fieren, wat in grutte stroomboarne sil wêze. Nei jierren fan ferbettering is it mooglik om in lytse bôgestartstroomfoarsjenning parallel te meitsjen mei in ûnderhâldsbôgestroomfoarsjenning. De bôgestartstroomfoarsjenning brûkt tinne triedden om meardere windingen te winden, dy't in hege spanning fan 800V kinne útjaan om tantaalbuizen te ûntstekken en gloeiûntlading te generearjen; De bôgestroomfoarsjenning kin tsientallen volt en hûnderten ampère stroom útjaan troch in dikke tried mei minder windingen te winden om de stabiliteit fan 'e holle katodebôgeûntlading te behâlden. Troch de parallelle ferbining fan twa stroomfoarsjenningen op tantaalbuizen, sille tidens it proses fan it konvertearjen fan abnormale gloeiûntlading nei bôgeûntlading, de twa stroomfoarsjenningen automatysk ferbine en wikselje fan hege spanning en lege stroom nei lege spanning en hege stroom.
- Pas it fakuümnivo fluch oan. It fakuümnivo foar glimûntlading yn tantaalbuizen is om de 100 Pa hinne, en de ôfsette filmstruktuer ûnder sokke lege fakuümomstannichheden is ûnûntkomber grof. Dêrom is it, nei it ûntstekken fan 'e bôgeûntlading, nedich om de hoemannichte luchtstream direkt te ferminderjen en it fakuümnivo fluch oan te passen nei 8 × 10-1 ~ 2 Pa om in fyn begjinfilmstruktuer te krijen.
- De draaitafel fan it wurkstik wurdt om 'e coatingkeamer hinne ynstalleare, wêrby't it wurkstik ferbûn is mei de negative poal fan 'e bias-stroomfoarsjenning en de fakuümkeamer ferbûn is mei de positive poal. Fanwegen de hege stroomtichtens fan 'e holle katodebôge hoecht de biasspanning fan it ioncoated wurkstik net 1000V te berikken, meastal 50-200V.
5. Set in fokussearjende elektromagnetyske spoel om 'e Gan-ynstoarting hinne, en it elektromagnetyske fjild dat generearre wurdt troch stroom oan te bringen op 'e spoel kin de elektronenstriel fokusje op it sintrum fan 'e metalen ingot, wêrtroch't de krêftdichtheid fan 'e elektronenstream tanimt.
Pleatsingstiid: 20 july 2023