TUOTTEEN KUVAUS

Pinnoituslinja on modulaarinen, joten kammiota voidaan suurentaa prosessin ja tehokkuusvaatimusten mukaan. Se voidaan pinnoittaa molemmilta puolilta, mikä on joustavaa ja kätevää. Ionipuhdistusjärjestelmällä, nopealla lämmitysjärjestelmällä ja DC-magnetroniruiskutusjärjestelmällä varustettu linja mahdollistaa yksinkertaisen metallipinnoitteen tehokkaan kerrostamisen. Laitteessa on nopea syke, kätevä kiinnitys ja korkea hyötysuhde.

Päällystyslinja on varustettu ionipuhdistuksella ja korkean lämpötilan paistojärjestelmällä, joten kerrostetun kalvon tarttuvuus on parempi. Pienikulmainen sputterointi pyörivällä maalilla on suotuisa kalvon kerrostumiselle pienen aukon sisäpinnalle.

1. Laitteella on kompakti rakenne ja pieni lattiapinta-ala.
2. Tyhjiöjärjestelmä on varustettu molekyylipumpulla ilman poistoa varten, ja sen energiankulutus on alhainen.
3. Materiaalitelineen automaattinen palautus säästää työvoimaa.
4. Prosessiparametrit voidaan jäljittää ja tuotantoprosessia voidaan seurata koko prosessissa tuotantovirheiden seurannan helpottamiseksi.
5. Pinnoituslinjalla on korkea automaatioaste. Sitä voidaan käyttää manipulaattorin kanssa etu- ja takaprosessien yhdistämiseen ja työvoimakustannusten vähentämiseen.