Baldintza hauek behar dira katodo hutseko arku-argia pizteko:
- Tantalo hodiz egindako katodo hutseko pistola bat estaldura-ganberaren horman instalatuta dago eta elektroi beroen fluxua igortzeko erabil daiteke. Hodi lauaren barne-diametroa φ 6 ~ φ 15 mm da, eta 0,8-2 mm-ko lodiera du hormak.
- Elikatze-iturria arkua abiarazteko elikatze-iturri batez eta arkua mantentzeko elikatze-iturri batez osatuta dago, paraleloan. Arkua pizteko elikatze-iturriaren tentsioa 800-1000V da, eta arkua pizteko korrontea 30-50A; arkuaren tentsioa 40-70V da, eta arkuaren korrontea 80-300A.
Katodo hutseko arku-deskarga prozesuak "volt ampere kurba karakteristikoan" distira-deskarga anormal batetik arku-deskargara bihurtzeko prozesua jarraitzen du. Lehenik eta behin, elikatze-iturri bat behar da tantalio-hodian distira-deskarga sortzeko 800V-ko hasierako tentsioa emateko. Tantalo-hodiaren barruko dentsitate handiko argon ioiek hodia bonbardatzen eta berotzen dute elektroi beroak igortzen diren tenperaturara iritsi arte, eta horrek plasma-elektroi-fluxu handia eta katodo hutseko arkuaren korrontea bat-batean handitzen du. Ondoren, korronte handiko elikatze-iturri bat ere behar da arku-deskarga mantentzeko. Distira-deskargatik arku-deskargara bihurtzeko prozesua automatikoa da, beraz, tentsio altua eta korronte altua eman ditzakeen elikatze-iturri bat konfiguratu behar da.
Bi eskakizun hauek energia-iturri bakarrean kontzentratzen badira, energia-transformadorearen bigarren mailako irteera-muturra hari oso lodiekin bildu behar da bira askotan tentsio altua eta korronte altua emateko, eta horrek bolumen handiko energia-iturria izango du. Urteetako hobekuntzaren ondoren, posible da arku txiki baten abiarazte-energia-iturri bat mantentze-arku baten energia-iturri batekin paraleloan jartzea. Arkuaren abiarazte-energia-iturriak hari meheak erabiltzen ditu hainbat bira biltzeko, eta horrek 800V-ko tentsio altua eman dezake tantalio-hodiak pizteko eta dirdira-deskarga sortzeko; Arkuaren energia-iturriak hamarnaka volt eta ehunka ampere korronte eman ditzake bira gutxiagoko hari lodi bat bilduz, katodo hutsaren arku-deskargaren egonkortasuna mantentzeko. Tantalio-hodietan bi energia-iturri paraleloan konektatzen direnez, dirdira-deskarga anormaletik arku-deskargara bihurtzeko prozesuan, bi energia-iturriak automatikoki konektatuko dira eta tentsio altutik eta korronte baxutik tentsio baxura eta korronte altuara aldatuko dira.
- Azkar doitu hutsune maila. Tantalo hodietan distira deskargatzeko hutsune maila 100 Pa ingurukoa da, eta hutsune baxuko baldintzetan metatutako filmaren egitura zakarra da nahitaez. Beraz, arku deskarga piztu ondoren, beharrezkoa da berehala aire-fluxuaren kopurua murriztea eta azkar doitu hutsune maila 8 × 10-1 ~ 2 Pa-ra hasierako film-egitura fina lortzeko.
- Lan-piezen biraketa-plataforma estaldura-ganberaren inguruan instalatzen da, lan-pieza polarizazio-iturriaren polo negatiboari konektatuta eta huts-ganbera polo positiboari konektatuta. Katodo-arku hutsaren korronte-dentsitate handia dela eta, ioi-estaldurako lan-pieza polarizazio-tentsioak ez du 1000V-ra iritsi behar, normalean 50-200V-ra.
5. Jarri foku-bobina elektromagnetiko bat Gan kolapsoaren inguruan, eta bobinari korrontea aplikatuz sortutako eremu elektromagnetikoak elektroi-sorta metalezko lingotearen erdian fokatu dezake, elektroi-fluxuaren potentzia-dentsitatea handituz.
Argitaratze data: 2023ko uztailak 20