TOOTE KIRJELDUS

Katteliinil on modulaarne struktuur, mis võimaldab kambrit vastavalt protsessi ja efektiivsuse nõuetele suurendada ning katta mõlemalt poolt, mis on paindlik ja mugav. Ioonpuhastussüsteemi, kiirküttesüsteemi ja alalisvoolu magnetroni pihustussüsteemiga saab tõhusalt peale kanda lihtsat metallkatet. Seadmel on kiire tempo, mugav kinnitus ja kõrge efektiivsus.

Katteliin on varustatud ioonpuhastuse ja kõrgtemperatuurse küpsetussüsteemiga, mis parandab pealekantud kile nakkuvust. Väikese nurga all pihustamine pöörleva märklauaga soodustab kile sadestamist väikese ava sisepinnale.

1. Seadmel on kompaktne konstruktsioon ja väike põrandapind.
2. Vaakumsüsteem on varustatud õhu väljavõtmiseks mõeldud molekulaarpumbaga, millel on madal energiatarve.
3. Materjaliriiuli automaatne tagastamine säästab tööjõudu.
4. Protsessi parameetreid saab jälgida ja tootmisprotsessi saab kogu protsessi vältel jälgida, et hõlbustada tootmisdefektide jälgimist.
5. Katteliinil on kõrge automatiseerituse aste. Seda saab manipulaatoriga kasutada esi- ja tagaprotsesside ühendamiseks ning tööjõukulude vähendamiseks.